一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统技术方案

本发明专利技术公开了一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，属于光伏电池湿法刻蚀反应槽结构技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统


[0001]本专利技术属于湿法刻蚀反应槽结构
，尤其涉及一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统
。

技术介绍

[0002]刻蚀方法通常分为干法刻蚀和湿法刻蚀
。
其中，湿法刻蚀是将被刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术，这是各向同性的刻蚀方法，利用化学反应过程去除待刻蚀区域的薄膜材料
。
表面纹理工艺被视为太阳能光伏电池制作中非常重要的因素之一
。
[0003]进行湿法刻蚀的反应槽是太阳能光伏电池湿法刻蚀工艺中非常重要的设备之一
。
如，在公开号为
CN217822683U
的中国技术专利中公开的一种湿法刻蚀装置，此技术方案中包括循环槽，所述的循环槽包括内槽和包围于内槽外侧的外槽，且外槽的底壁高于内槽的底壁；循环管路，分别连通外槽和内槽，配置为将内槽溢出至外槽的刻蚀液循环至内槽，且循环管路连通内槽的一端连接有进液段，进液段伸入至内槽底部并沿内槽底壁延伸，且进液段上布置有多个出液孔，让刻蚀的药液通过内槽底部进液段的多个出液孔进入内槽
。
基于以上，本案的专利技术人认为，采用这种通过刻蚀药液在内槽底部冒出的方式实现均匀内槽内各区域药液浓度和温度时，内槽底部的出液孔区域药液流速扰动大，内槽内远离出液孔区域药液流速慢，特别是在靠近内槽的槽体内壁或角落处，会形成区域性涡流，引起内槽内各区域药液浓度和温度不均匀，这都导致每次配液补液后需等待较长的药液混合流动时间以保证内槽槽体内刻蚀药液浓度
、
温度尽可能稳定，实际操作中，配液后的前几批硅片常因刻蚀药液浓度
、
温度不均匀导致刻蚀均匀性差，在电池端表现绒面出绒率不均匀
、
抛光效果不理想等瑕疵，往往需要进一步返工处理，造成了生产成本的浪费
。
[0004]为此，需要设计出一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统
。

技术实现思路

[0005]专利技术人通过研究发现，采用这种通过刻蚀药液在内槽底部冒出的方式实现均匀内槽内各区域药液浓度和温度时，内槽内各区域无法在较短时间内实现药液浓度和温度均匀，这都导致每次配液补液后需较长的等待时间，而且实际操作中，配液后的前几批硅片常因刻蚀药液浓度
、
温度不均匀导致刻蚀均匀性差，在电池端表现绒面出绒率不均匀
、
抛光效果不理想等瑕疵
。
[0006]鉴于以上技术问题中的至少一项，本公开提供了一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，具体技术方案如下：一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，包括副槽，所述副槽槽腔的中部设有主槽；所述主槽的侧面设有连通所述副槽的液路流通路径，使用状态中，刻蚀药液可以通过所述液路流通路径实现在所述主槽和所述副槽间流通；所述主槽的槽壁均匀设有流道，所述流道与所述主槽的槽腔间连通有数个进液孔，所有的所述进液孔的内端口均匀设于所述主槽的槽壁的内侧表面；所述流道与所述副槽之间连通有循环管道，所述循
环管道配设有循环泵，使用状态中，通过所述循环泵实现将所述副槽内的刻蚀药液供入所述流道
。
[0007]在本公开的一些实施例中，所述副槽和所述主槽都为上方开口的盆式槽体，所述主槽与所述副槽共用底面，所述主槽槽腔内横置有匀流板，所述匀流板上设有数个匀流口，部分所述进液孔设置的高度低于所述匀流板的高度
。
[0008]在本公开的一些实施例中，所述主槽的上部和下部都设有连通副槽的液路流通路径，其中下部的所述液路流通路径低于所述匀流板
。
[0009]在本公开的一些实施例中，所述主槽的至少一侧槽壁低于所述副槽的槽壁，使用状态中，所述主槽内的刻蚀药液可以从此处溢流进入所述副槽，构成所述主槽上部的所述液路流通路径
。
[0010]在本公开的一些实施例中，所述流道为与所述主槽的槽壁外侧面一体设置的管道，所述管道的口径大于所述进液孔的口径，所述进液孔为直径
0.3
～
2cm
的孔
。
[0011]在本公开的一些实施例中，所述管道为盘绕于所述主槽的槽壁外侧面的单根管路
。
[0012]在本公开的一些实施例中，所述管道为数条等高环绕于所述主槽的槽壁外侧面的管路，各所述管路之间液路连通
。
[0013]在本公开的一些实施例中，所述管道的外表面为圆滑的曲面
。
[0014]在本公开的一些实施例中，所述管道的横截面为类半圆环形，所述类半圆环形的弦面即为所述主槽的槽壁外侧表面
。
[0015]在本公开的一些实施例中，所述循环管道还包括供液管，所述供液管液路连通所述循环泵的出液口和所述主槽的槽底，使用状态中，所述副槽内的刻蚀药液可以同时供入所述流道和所述主槽底部
。
[0016]相比较现有技术而言，本专利技术具有以下有益效果：通过均匀设于所述主槽的槽壁的内侧表面的所有的所述进液孔，当需要对太阳能光伏电池湿法刻蚀时候，只需要启动所述循环泵使得所述副槽内的刻蚀药液通过所述流道和所述进液孔均匀的周向进入所述主槽，实现改善所述主槽内注液时的液体扰动，可以快速实现刻蚀药液浓度和温度均匀，避免局部区域刻蚀药液浓度
、
流速
、
温度不一致引起的反应速率差异，进而提高太阳能光伏电池的成品合格率；通过均匀布局于所述主槽槽壁内侧表面的数个所述进液孔同步向所述主槽的槽腔内进液，规避了循环泵供液后单向对太阳能光伏电池表面输液的设计，保证供液量的同时，减小输出端的液压，柔化刻蚀药液对太阳能光伏电池表面的直接冲击力；此设计方案可以保证在配液补液过程中，不影响正常生产，可以快速实现药液浓度和温度均匀，避免首批药液均匀性差导致的出绒率差
、
抛光均匀性差的不良电池片产生；为制绒槽
、
水槽
、
酸槽
、
预清洗槽
、
后清洗槽等蚀刻方式适用的槽体结构提供了新的技术启示
。
附图说明
[0017]图1为本专利技术结构中实施例3的侧视角的示意图；图2为本专利技术结构中实施例3俯视角的示意图；
图3为本专利技术结构中实施例3中主槽的结构示意图；图中标号说明：
1、
副槽；
2、
主槽；
21、
匀流板；
3、
液路流通路径；
4、
流道；
41、
进液孔；
5、
循环管道；
51、
循环泵；
52、
供液管
。
具体实施方式
[0018]为了更好地了解本专利技术的目的
、
结构及功能，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，其特征在于：包括副槽（1），所述副槽（1）槽腔的中部设有主槽（2）；所述主槽（2）的侧面设有连通所述副槽（1）的液路流通路径（3），使用时，刻蚀药液能通过所述液路流通路径（3）实现在所述主槽（2）和所述副槽（1）间流通；所述主槽（2）的槽壁均匀设有流道（4），所述流道（4）与所述主槽（2）的槽腔间连通有数个进液孔（
41
），所有的所述进液孔（
41
）的内端口均匀设于所述主槽（2）的槽壁的内侧表面；所述流道（4）与所述副槽（1）之间连通有循环管道（5），所述循环管道（5）配设有循环泵（
51
），使用时通过所述循环泵（
51
）实现将所述副槽（1）内的刻蚀药液供入所述流道（4）
。2.
根据权利要求1所述的提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，其特征在于，所述副槽（1）和所述主槽（2）都为上方开口的盆式槽体，所述主槽（2）与所述副槽（1）共用底面，所述主槽（2）槽腔内横置有匀流板（
21
），所述匀流板（
21
）上设有数个匀流口，部分所述进液孔（
41
）设置的高度低于所述匀流板（
21
）的高度
。3.
根据权利要求2所述的提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，其特征在于，所述主槽（2）的上部和下部都设有连通所述副槽（1）的液路流通路径（3），其中下部的所述液路流通路径（3）低于所述匀流板（
21
）
。4.
根据权利要求3所述的提高太阳能光伏电池湿法刻蚀均匀性的反应槽系统，其特征在于，所述主槽（2）的至少一侧槽壁低于所述副槽（1）的槽壁，使用时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海翔，刘若玙，李力，
申请(专利权)人：江苏皓兮新能源技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：