一种晶圆贴膜机制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆贴膜机，包括供料盒、收料盒、晶圆插放机械手和贴膜装置，贴膜装置包括拉膜机构、晶圆载台和切膜机构；供料盒和收料盒用于放置晶圆；晶圆插放机械手用于将供料盒的晶圆插放到晶圆载台，并将晶圆载台的晶圆插放到收料盒；拉膜机构包括供膜辊和收膜辊，供膜辊上卷绕有膜料，膜料由供膜辊放出，并在水平张紧经过晶圆载台上方后收卷至收膜辊；晶圆载台位于供膜辊和收膜辊之间的膜料下方，用于承载晶圆进行升降，以在升起时使晶圆贴合在膜料上；切膜机构位于供膜辊和收膜辊之间的膜料上方，且正对晶圆载台，用于沿晶圆载台上的晶圆边缘切割膜料。本实用新型专利技术实现晶圆的自动上料贴膜和回收，且设备简洁，布局节省空间。布局节省空间。布局节省空间。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆贴膜机


[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，特别涉及一种晶圆贴膜机。

技术介绍

[0002]晶圆在打磨前需要在表面粘贴一层膜片，以防止晶圆在打磨过程中断裂损坏。
[0003]当前部分采用人工贴膜，效率较为低下，虽然现有能够进行晶圆表面膜片粘贴的装置，但自动化程度不高，无法实现晶圆从取料到贴膜再到收料的全过程自动化，效率有待提升。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆贴膜机，克服上述缺陷，实现晶圆在贴膜过程中，从取料到贴膜再到收料的全过程自动化。
[0005]为达成上述目的，本技术的解决方案为：一种晶圆贴膜机，包括供料盒、收料盒、晶圆插放机械手和贴膜装置，所述贴膜装置包括拉膜机构、晶圆载台和切膜机构；
[0006]所述供料盒和收料盒用于放置晶圆；
[0007]所述晶圆插放机械手用于将供料盒的晶圆插放到晶圆载台，并将晶圆载台的晶圆插放到收料盒；
[0008]所述拉膜机构包括供膜辊和收膜辊，所述供膜辊上卷绕有膜料，所述膜料由供膜辊放出，并在水平张紧经过所述晶圆载台上方后收卷至所述收膜辊；
[0009]所述晶圆载台位于供膜辊和收膜辊之间的膜料下方，用于承载晶圆进行升降，以在升起时使晶圆贴合在膜料上；
[0010]所述切膜机构位于供膜辊和收膜辊之间的膜料上方，且正对所述晶圆载台，用于沿晶圆载台上的晶圆边缘切割膜料。
[0011]进一步，还包括定位相机、对位平台，所述定位相机用于采集晶圆在所述晶圆插放机械手上的位置，所述晶圆插放机械手能够将晶圆取放于所述对位平台上，所述对位平台通讯连接所述定位相机，所述对位平台用于带动其上放置的晶圆进行位移对位。
[0012]进一步，还包括机架，所述晶圆插放机械手安装在所述机架中央，所述供料盒、对位平台、贴膜装置、收料盒绕所述晶圆插放机械手外周依次布置安装在所述机架上。
[0013]进一步，所述晶圆插放机械手包括升降驱动机构、升降架、旋转驱动机构、转动架、伸缩驱动机构和晶圆插板，所述升降驱动机构安装在机架上，连接并驱动所述升降架进行升降，所述旋转驱动机构安装在所述升降架上，连接并驱动所述转动架水平旋转，所述伸缩驱动机构安装在所述转动架上，用于驱动所述晶圆插板水平外伸或内缩。
[0014]进一步，所述切膜机构包括切膜机构固定架、切膜升降驱动机构、切膜电机、切膜刀架、切膜刀片，所述切膜机构固定架通过所述切膜升降驱动机构升降安装在所述机架上，所述切膜电机固定在所述切膜机构固定架上，并连接驱动所述切膜刀架进行水平旋转，所述切膜刀片固定在所述切膜刀架上，且偏置于切膜刀架水平旋转的转轴，向下伸出到切膜
机构下方。
[0015]进一步，所述拉膜机构还包括压膜组件，所述压膜组件包括第一压膜辊、第二压膜辊、压膜辊平移驱动机构，所述第一压膜辊和第二压膜辊设置在相同高度，且均与供膜辊和收膜辊的转轴平行，所述供膜辊和收膜辊之间的膜料从所述第一压膜辊和第二压膜辊下方绕过，所述压膜辊平移驱动机构驱动所述第一压膜辊或第二压膜辊径向水平位移。
[0016]进一步，所述拉膜机构还包括离型纸收料辊，所述离型纸收料辊与所述供膜辊和收膜辊的转轴平行，用于收卷供膜辊放出膜料上的离型纸。
[0017]进一步，所述供料盒和收料盒在朝向所述晶圆插放机械手的一侧敞开形成料盒开口，所述供料盒和收料盒内纵向阵列设置有多层供晶圆水平插入的晶圆插槽。
[0018]采用上述方案后，本技术的有益效果在于：供料盒和收料盒用于放置晶圆，晶圆插放机械手用于将供料盒的晶圆插放到晶圆载台，以实现晶圆自动取料；晶圆载台位于供膜辊和收膜辊之间的膜料下方，用于承载晶圆升起，使晶圆贴合在供膜辊和收膜辊之间传送的膜料上，切膜机构位于供膜辊和收膜辊之间的膜料上方，且正对晶圆载台，用于沿晶圆载台上的晶圆边缘切割膜料，使膜料形成与晶圆轮廓吻合的膜片，从而自动实现对晶圆的贴膜；贴膜后再通过晶圆插放机械手将晶圆载台上的晶圆插放到收料盒，实现对贴膜后晶圆的自动收料，从而实现晶圆从上料到贴膜再到收料的全过程自动化。
附图说明
[0019]图1为本技术的立体结构示意图；
[0020]图2为本技术图1中A处的局部放大示意图；
[0021]图3为本技术的俯视结构示意图；
[0022]图4为本技术晶圆插放机械手的部分分解结构示意图；
[0023]图5为本技术供膜辊、收膜辊和离型纸收料辊传送膜料的立体结构示意图；
[0024]图6为本技术压膜组件的立体结构示意图；
[0025]图7为本技术切膜机构的立体结构示意图。
[0026]标号说明：1
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供料盒，2
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收料盒，3
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晶圆插放机械手，4
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贴膜装置，5
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拉膜机构，6
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晶圆载台，7
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切膜机构，8
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晶圆，9
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供膜辊，10
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收膜辊，11
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膜料，12
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定位相机，13
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对位平台，14
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机架，15
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升降驱动机构，16
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升降架，17
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旋转驱动机构，18
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转动架，19
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伸缩驱动机构，20
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圆插板，21
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切膜机构固定架，22
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切膜电机，23
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切膜刀架，24
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切膜刀片，25
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压膜组件，26
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第一压膜辊，27
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第二压膜辊，28
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压膜辊平移驱动机构，29
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离型纸收料辊，30
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离型纸，31
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料盒开口，32
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晶圆插槽，33
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门架。
具体实施方式
[0027]以下结合附图及具体实施例对本技术做详细的说明。
[0028]本技术提供一种晶圆贴膜机，如图1
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7所示，包括机架14，以及设置在所述机架14上方的供料盒1、收料盒2、晶圆插放机械手3和贴膜装置4；所述贴膜装置4包括拉膜机构5、晶圆载台6、切膜机构7；
[0029]所述供料盒1和收料盒2用于放置晶圆8，具体在本实施例中，所述供料盒1和收料盒2采用相同的结构，所述供料盒1和收料盒2在朝向所述晶圆插放机械手3的一侧敞开形成
料盒开口31，所述供料盒1和收料盒2内纵向阵列设置有多层供晶圆8水平插入的晶圆插槽32；
[0030]所述晶圆插放机械手3可以是现有的任意一种能够用来插放转移晶圆8的机械手，所述晶圆插放机械手3用于将供料盒1内的一片晶圆8插放到晶圆载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴膜机，其特征在于：包括供料盒(1)、收料盒(2)、晶圆插放机械手(3)和贴膜装置(4)，所述贴膜装置(4)包括拉膜机构(5)、晶圆载台(6)和切膜机构(7)；所述供料盒(1)和收料盒(2)用于放置晶圆(8)；所述晶圆插放机械手(3)用于将供料盒(1)的晶圆(8)插放到晶圆载台(6)，并将晶圆载台(6)的晶圆(8)插放到收料盒(2)；所述拉膜机构(5)包括供膜辊(9)和收膜辊(10)，所述供膜辊(9)上卷绕有膜料(11)，所述膜料(11)由供膜辊(9)放出，并在水平张紧经过所述晶圆载台(6)上方后收卷至所述收膜辊(10)；所述晶圆载台(6)位于供膜辊(9)和收膜辊(10)之间的膜料(11)下方，用于承载晶圆(8)进行升降，以在升起时使晶圆(8)贴合在膜料(11)上；所述切膜机构(7)位于供膜辊(9)和收膜辊(10)之间的膜料(11)上方，且正对所述晶圆载台(6)，用于沿晶圆载台(6)上的晶圆(8)边缘切割膜料(11)。2.如权利要求1所述一种晶圆贴膜机，其特征在于：还包括定位相机(12)、对位平台(13)，所述定位相机(12)用于采集晶圆(8)在所述晶圆插放机械手(3)上的位置，所述晶圆插放机械手(3)能够将晶圆(8)取放于所述对位平台(13)上，所述对位平台(13)通讯连接所述定位相机(12)，所述对位平台(13)用于带动其上放置的晶圆(8)进行位移对位。3.如权利要求2所述一种晶圆贴膜机，其特征在于：还包括机架(14)，所述晶圆插放机械手(3)安装在所述机架(14)中央，所述供料盒(1)、对位平台(13)、贴膜装置(4)、收料盒(2)绕所述晶圆插放机械手(3)外周依次布置安装在所述机架(14)上。4.如权利要求3所述一种晶圆贴膜机，其特征在于：所述晶圆插放机械手(3)包括升降驱动机构(15)、升降架(16)、旋转驱动机构(17)、转动架(18)、伸缩驱动机构(19)和晶圆插板(20)，所述升降驱动机构(15)安装在机...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢传播，
申请(专利权)人：厦门市弘瀚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：