真空探针台制造技术

本申请涉及一种真空探针台

【技术实现步骤摘要】
真空探针台


[0001]本申请涉及新能源领域，具体涉及一种真空探针台，其制冷系统可以对真空探针台的样品台进行快速冷却
。

技术介绍

[0002]高低温真空探针台是一种用于信息科学与系统科学领域的工艺试验仪器，可用于不同环境下
、
不同温度条件下的半导体器件的电学表征和测量
。
为适应不同的检测条件，常见的真空探针台的制冷系统提供低温的方式包括开循环及闭循环，开循环即需要从外界不断向真空探针台内部加入冷媒，通过消耗冷媒达到制冷的作用，闭循环即在真空探针台内部对冷媒进行压缩或使冷媒膨胀，使冷媒在真空探针台内部不断循环而达到制冷的作用
。
其中，闭循环真空探针台的测试温度可低至
4.2K
，当所述真空探针台的样品台用于检测待检测样品且检测温度较低时，如何提高冷媒对样品台的冷却效率是亟待解决的问题
。

技术实现思路

[0003]鉴于此，本申请提供一种真空探针台，所述真空探针台中的冷媒对样品台具有较高的冷却效率
。
[0004]本申请提供了一种真空探针台，所述真空探针台包括：第一外壳
、
样品台
、
制冷系统以及多个第一导热件，所述第一外壳围合成探针腔；所述样品台设置于探针腔内，且安装于所述第一外壳，用于设置待检测样品；所述制冷系统包括冷媒柱，所述冷媒柱至少部分位于所述探针腔且穿设于所述第一外壳，所述冷媒柱位于所述样品台的一侧，用于设置冷媒以对所述样品台进行冷却；所述多个第一导热件间隔设置于所述样品台与所述冷媒柱之间，且分别连接所述样品台及所述冷媒柱
。
[0005]进一步地，所述真空探针台还包括探针组件及第二导热件，所述探针组件包括探针臂以及探针，所述探针设置于所述探针臂上，所述探针用于对待检测样品进行检测，所述第二导热件连接所述探针臂及所述冷媒柱，以对所述探针进行降温
。
[0006]进一步地，所述第二导热件的数量为多个，多个所述第二导热件中的一部分连接所述冷媒柱及所述探针臂远离所述探针的一端，多个所述第二导热件中的另一部分连接所述冷媒柱及所述探针臂靠近所述探针的一端
。
[0007]进一步地，所述第一导热件包括多根导热丝，多根所述导热丝编织为一体；所述第二导热件包括多根导热丝，多根所述导热丝编织为一体
。
[0008]进一步地，所述第一外壳具有第一窗口，所述第一窗口位于所述样品台背离所述冷媒柱的一侧，所述第一窗口用于穿设所述探针组件；所述真空探针台还包括阻热帘，所述阻热帘包括多个阻热部及连接部，所述连接部围设于所述多个阻热部的外周且所述连接部远离所述多个阻热部的一端连接所述第一外壳，所述多个阻热部环绕所述第一外壳的外周间隔设置于所述第一窗口，且每个所述阻热部沿所述样品台及所述冷媒柱的排布方向延伸，每个所述阻热部背离所述冷媒柱的一端连接所述连接部
。
[0009]进一步地，沿所述阻热部依次排布的方向，所述阻热部的宽度
L1
满足范围：
2mm≤L1≤4mm
；所述阻热部的厚度
L2
满足范围：
0.01mm≤L2≤0.03mm。
[0010]进一步地，所述样品台包括本体部及反射层，所述反射层设置于所述本体部背离所述冷媒柱的表面
。
[0011]进一步地，所述真空探针台还包括第二外壳，所述第二外壳环绕所述第一外壳的外周，且与所述第一外壳间隔设置，所述第二外壳与所述第一外壳围合成第一保温腔，所述第二外壳具有第二窗口，所述第二窗口用于穿设探针组件，部分所述探针臂位于所述第一保温腔，部分所述探针臂及所述探针位于所述探针腔
。
[0012]进一步地，所述真空探针台还包括第三外壳及第四外壳，所述第三外壳套设于所述冷媒柱的外周，所述第三外壳至少部分位于所述探针腔且穿设于所述第一外壳；所述第四外壳环绕所述第三外壳的外周，且与所述第三外壳间隔设置，所述第四外壳与所述第二外壳可拆卸连接，所述第三外壳及所述第四外壳围合成第二保温腔
。
[0013]进一步地，所述真空探针台还包括镀膜玻璃片，所述第二外壳包括相连的顶壳及侧壳，所述侧壳环绕所述第一外壳的外周且与所述第一外壳间隔设置，所述顶壳具有开孔，所述镀膜玻璃片封闭所述开孔
。
[0014]本实施例提供了一种真空探针台，当所述真空探针台应用于对待检测样品进行检测时，为提高对待检测样品进行检测的准确性，所述探针腔内通常为高真空环境，而高真空环境中的气体分子很少，热量在高真空环境下的传导速度特别慢
。
本申请实施例的制冷系统用于向所述探针腔提供低温环境，使得所述探针腔与所述制冷系统之间存在温度差，继而有利于所述冷媒柱吸收所述探针腔及所述探针腔内的样品台的热量，以降低所述探针腔及所述探针腔内的样品台的温度
。
此外，在本申请实施例中，所述真空探针台包括多个第一导热件，且所述多个第一导热件间隔设置于所述样品台及所述冷媒柱之间，所述第一导热件可快速地将所述样品台的热量传递至所述冷媒柱，以加快所述样品台与所述冷媒柱进行热交换的速度，相较于所述样品台与所述冷媒柱之间通过气体分子传递热量的方式，本申请实施例提供的真空探针台通过所述样品台与所述冷媒柱之间的第一导热件进行传热，使得所述冷媒柱能对所述样品台进行快速散热，则实现对所述探针腔进行快速散热，以提高所述冷媒对所述探针腔的样品台的冷却效率，继而提升所述冷媒对所述探针腔的冷却效率
。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0016]图1为本申请一实施例的真空探针台的结构示意图；图2为本申请一实施例的真空探针台的俯视结构示意图；图3为图2中
A
‑
A
方向的剖面结构示意图；图4为图3中
B
处的放大图；图5为本申请一实施例的探针组件的结构示意图；图6为图4中
C
处的放大图；
图7为图4中
D
处的放大图；图8为图5中
E
处的放大图；图9为图5中
F
处的放大图；图
10
为本申请一实施例的探针组件的部分爆炸结构示意图；图
11
为图
10
中
G
处的放大图；图
12
为图4中
H
处的放大图；图
13
为图2中
A
‑
A
方向的剖面立体结构示意图；图
14
为图
13
中
I
处的放大图；图
15
为本申请一实施例的阻热帘的结构示意图；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种真空探针台，其特征在于，所述真空探针台包括：第一外壳，所述第一外壳围合成探针腔；样品台，所述样品台设置于探针腔内，且安装于所述第一外壳，用于设置待检测样品；制冷系统，所述制冷系统包括冷媒柱，所述冷媒柱至少部分位于所述探针腔且穿设于所述第一外壳，所述冷媒柱位于所述样品台的一侧，用于设置冷媒以对所述样品台进行冷却；以及多个第一导热件，所述多个第一导热件间隔设置于所述样品台与所述冷媒柱之间，且分别连接所述样品台及所述冷媒柱
。2.
根据权利要求1所述的真空探针台，其特征在于，所述真空探针台还包括探针组件及第二导热件，所述探针组件包括探针臂以及探针，所述探针设置于所述探针臂上，所述探针用于对待检测样品进行检测，所述第二导热件连接所述探针臂及所述冷媒柱，以对所述探针进行降温
。3.
根据权利要求2所述的真空探针台，其特征在于，所述第二导热件的数量为多个，多个所述第二导热件中的一部分连接所述冷媒柱及所述探针臂远离所述探针的一端，多个所述第二导热件中的另一部分连接所述冷媒柱及所述探针臂靠近所述探针的一端
。4.
根据权利要求2所述的真空探针台，其特征在于，所述第一导热件包括多根导热丝，多根所述导热丝编织为一体；所述第二导热件包括多根导热丝，多根所述导热丝编织为一体
。5.
根据权利要求2所述的真空探针台，其特征在于，所述第一外壳具有第一窗口，所述第一窗口位于所述样品台背离所述冷媒柱的一侧，所述第一窗口用于穿设所述探针组件；所述真空探针台还包括阻热帘，所述阻热帘包括多个阻热部及连接部，所述连接部围设于所述多个阻热部的外周且所述连接部远离所述多个阻热部的一端连接所述第一外壳，所述多个阻热部环绕所述第一外壳的外周间隔设置于所述第一窗口...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：