料盘夹紧机构及料盘搬运设备制造技术

本申请公开了一种料盘夹紧机构及料盘搬运设备

【技术实现步骤摘要】
料盘夹紧机构及料盘搬运设备


[0001]本申请涉及半导体生产领域，尤其涉及一种搬运机构
。

技术介绍

[0002]在半导体生产中，通常使用料盘存放半导体产品，通过搬运料盘实现对半导体产品的转移
。
[0003]在相关技术中，通常使用吸盘吸附料盘，利用气缸
、
电机以及其他传动结构带动吸盘，将料盘运送至目的位置
。
使用吸盘吸附料盘的方式，当料盘或吸盘表面有粉尘时，容易出现吸盘无法正常吸附料盘的情况
。
在搬运过程中，由于吸盘和料盘之间为单面接触，不够牢固，尤其是在气源波动时，有可能发生料盘坠落的事故，影响生产安全性和生产效率
。

技术实现思路

[0004]本申请实施例公开了一种料盘夹紧机构，能够提高抓取和搬运料盘过程中的可靠性，有利于提高生产安全性和生产效率
。
[0005]为了实现上述目的，第一方面，本专利技术公开了一种料盘夹紧机构，包括：
[0006]基座；
[0007]第一驱动件，所述第一驱动件设置于所述基座上；
[0008]夹爪，所述夹爪包括夹持主体部和延伸部，所述夹持主体部的一端与所述第一驱动件连接，所述延伸部连接于所述夹持主体部的背离所述第一驱动件的一端；
[0009]所述第一驱动件用于驱动所述夹爪沿所述基座的第一方向运动，以使所述夹持主体部沿所述第一方向上
、
以及使所述延伸部沿所述第二方向上分别夹持所述料盘；
[0010]其中，所述第二方向与所述第一方向相交
。
[0011]作为一种可选的实施方式，所述夹爪成对设置，并且沿所述第一方向对称地位于所述基座相对的两侧；
[0012]每个所述夹爪分别通过独立的所述第一驱动件驱动
。
[0013]作为一种可选的实施方式，
[0014]所述夹持主体部包括第一夹持面，所述第一夹持面的法向量与所述第一方向平行，所述第一夹持面用于与所述料盘连接以沿所述用于沿所述第一方向夹紧所述料盘；
[0015]所述延伸部包括第二夹持面和第三夹持面，所述第二夹持面与所述第一夹持面连接，且所述第二夹持面的法向量与所述第一方向共面，用于沿所述第二方向夹紧所述料盘；
[0016]所述第三夹持面与所述第二夹持面连接，沿所述第二方向辅助夹持所述料盘
。
[0017]作为一种可选的实施方式，所述基座包括沿所述第一方向上的第一表面和第二表面，所述第一驱动件设于所述第一表面上，所述第三夹持面平行于所述第二表面并与所述第二表面之间形成用于夹持所述料盘的夹持间距；
[0018]所述料盘夹紧机构还包括缓冲件，所述缓冲件设于所述基座的临近所述夹爪的边角处，所述缓冲件至少部分位于所述第二表面的所在侧，所述缓冲件用于与所述料盘接触
以缓冲所述基座对所述料盘的夹持冲击作用
。
[0019]作为一种可选的实施方式，所述料盘夹紧机构还包括限位结构，所述限位结构设于所述基座上，所述限位结构用于沿第三方向限制所述料盘的位置；
[0020]其中，所述第三方向与所述第一方向以及第二方向两两相交
。
[0021]作为一种可选的实施方式，所述料盘夹紧机构还包括传感器，所述传感器成对设置于所述基座的两端，所述传感器用于检测所述料盘的夹持情况
。
[0022]第二方面，本专利技术公开了一种料盘搬运设备，包括：
[0023]机架
、
第一搬运机构
、
第二搬运机构以及如上述中任一项所述的料盘夹紧机构，所述第一搬运机构设置于所述机架，且所述第一搬运机构可相对所述机架沿第三方向运动，所述第二搬运机构连接于所述第一搬运机构，且所述第二搬运机构可相对所述基座沿第二方向运动，所述料盘夹紧机构固定连接于所述第二搬运机构，以在所述第二搬运机构的带动下沿所述第二方向运动，以及在所述第一搬运机构的带动下沿第三方向运动
。
[0024]作为一种可选的实施方式，所述机架包括支架和安装板，所述安装板连接于所述支架；
[0025]所述第一搬运机构包括第二驱动件以及传动组件，所述第二驱动件设置于所述安装板，所述传动组件连接于所述第二驱动件，以在所述第二驱动件的驱动作用下沿所述第三方向运动；
[0026]所述第二搬运机构包括第三驱动件以及连接件，所述驱动结构连接于所述传动组件，所述料盘夹紧机构通过所述连接件与所述第三驱动件连接，所述第三驱动件用于驱动所述料盘夹紧机构沿所述第二方向运动
。
[0027]作为一种可选的实施方式，所述机架还包括拖链以及托盘，所述托盘设置于所述安装板且沿所述第三方向延伸，所述拖链的一端连接于所述第三驱动件，所述拖链的另一端连接于所述托盘，以使所述拖链至少部分位于所述托盘上
。
[0028]作为一种可选的实施方式，所述第三驱动件包括固定端
、
滑动端以及弹性件；
[0029]所述固定端与所述传动组件连接，所述滑动端可滑动连接于所述固定端，所述料盘夹紧机构连接于所述滑动端，以在所述滑动端的带动下相对所述固定端沿所述第二方向运动；
[0030]所述弹性件连接于所述滑动端与所述固定端之间，所述弹性件用于限制所述滑动端相对所述固定端的滑动行程
。
[0031]与现有技术相比，本申请的有益效果是：
[0032]通过使用夹爪作为抓取料盘的方式，在抓取料盘时，利用夹爪的夹持主体部和延伸部，分别从第二方向和第一方向夹持料盘，从而能够增加对料盘的夹持点位，替代了相关技术中采用吸盘面吸附容易出现吸附不牢靠的方式，有效提高对料盘的夹持可靠性，进而有利于提高生产安全性和生产效率
。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附
图
。
[0034]图1为本申请实施例提供的料盘夹紧机构的轴测示意图；；
[0035]图2为本申请实施例提供的料盘夹紧机构的正视图；
[0036]图3为图1中夹爪的轴测示意图；
[0037]图4为本申请实施例提供的料盘搬运设备的示意图；
[0038]图5为图4中第三驱动件的示意图
。
[0039]附图标记说明：
[0040]第一方向
、Y
；第二方向
、Z
；第三方向
、X
；
[0041]基座
、1
；第一表面
、11
；第二表面
、12
；
[0042]第一驱动件
、2
；
[0043]夹爪
、3
；夹持主体部
、31
；第一夹持面...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种料盘夹紧机构，其特征在于，包括基座；第一驱动件，所述第一驱动件设置于所述基座上；夹爪，所述夹爪包括夹持主体部和延伸部，所述夹持主体部的一端与所述第一驱动件连接，所述延伸部连接于所述夹持主体部的背离所述第一驱动件的一端；所述第一驱动件用于驱动所述夹爪沿所述基座的第一方向运动，以使所述夹持主体部沿所述第一方向上
、
以及使所述延伸部沿所述第二方向上分别夹持所述料盘；其中，所述第二方向与所述第一方向相交
。2.
根据权利要求1所述的料盘夹紧机构，其特征在于，所述夹爪成对设置，并且沿所述第一方向对称地位于所述基座相对的两侧；每个所述夹爪分别通过独立的所述第一驱动件驱动
。3.
根据权利要求1所述的料盘夹紧机构，其特征在于，所述夹持主体部包括第一夹持面，所述第一夹持面的法向量与所述第一方向平行，所述第一夹持面用于与所述料盘连接以沿所述用于沿所述第一方向夹紧所述料盘；所述延伸部包括第二夹持面和第三夹持面，所述第二夹持面与所述第一夹持面
、
所述第三夹持面连接且位于所述第一夹持面和所述第三夹持面之间，所述第二夹持面的法向量与所述第一方向共面，用于沿所述第二方向夹紧所述料盘，所述第三夹持面沿所述第二方向辅助夹持所述料盘
。4.
根据权利要求3所述的料盘夹紧机构，其特征在于，所述基座包括沿所述第一方向上的第一表面和第二表面，所述第一驱动件设于所述第一表面上，所述第三夹持面平行于所述第二表面并与所述第二表面之间形成用于夹持所述料盘的夹持间距；所述料盘夹紧机构还包括缓冲件，所述缓冲件设于所述基座的临近所述夹爪的边角处，所述缓冲件至少部分位于所述第二表面的所在侧，所述缓冲件用于与所述料盘接触以缓冲所述基座对所述料盘的夹持冲击作用
。5.
根据权利要求1所述的料盘夹紧机构，其特征在于，所述料盘夹紧机构还包括限位结构，所述限位结构设于所述基座上，所述限位结构用于沿第三方向限制所述料盘的位置；其中，所述第三方向与所述第一方向以及第二方向两两相交
。6.
根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：林广满，范聚吉，陈兆林，
申请(专利权)人：深圳市深科达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：