基板移送装置及其系统制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板移送装置及系统。为此，根据本发明专利技术的基板移送装置可以包括：多个真空吸盘，彼此以预定间隔隔开配置；连接构件，连接所述多个真空吸盘；以及多个减振部，分别位于所述多个真空吸盘之间并与所述连接构件结合，并且减少用于移送基板的机器人模块的多个手臂中的各个手臂的振动。个手臂中的各个手臂的振动。个手臂中的各个手臂的振动。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置及其系统


[0001]本专利技术涉及一种基板移送装置及其系统。

技术介绍

[0002]通常，有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes，OLED)是一种不需要向液晶面板提供光的后方照明，即背光(back light)的基于有机荧光化合物的发光器件。这种有机发光二极管不同于液晶，可以自行发光。由这种有机发光二极管制成的有机发光二极管面板(即，沉积有OLED物质的玻璃)用于显示装置。
[0003]为了防止制造过程中因颗粒造成不良，这种有机发光二极管以沉积面朝下的方式吸附于真空吸盘后，在面板下部进行确认。
[0004]例如，是一种当机器人将有机发光二极管以面朝下的状态移送至中小型面板并将其放置于特定模块，并且通过特定模块移动来进行附着的方式。然而，这种方式的问题在于，由于机器人、特定模块与面板的非成膜边缘部分接触后进行移送，因此，由于中央部分的下垂问题而不能使用大型面板。
[0005]因此，需要使用机器人模块，将大型面板直接吸附于真空吸盘，从而解决面板中央部分的下垂问题，而且通过减少动作时间来降低制造成本。
[0006]此外，需要通过消除在使用机器人将大型面板以面朝下的状态直接吸附到真空吸盘的过程中所产生的机器人手臂的振动，来防止大型面板由于机器人手臂的振动而掉落。

技术实现思路

[0007]本专利技术要解决的技术问题
[0008]现有技术中，由于接触基板的边缘部分来进行移送，因此大型基板发生中央部分下垂，存在基板掉落的风险大的问题。
[0009]因此，本专利技术旨在提供一种基板移送装置及其系统，其解决移送大型基板时中央部分下垂的问题，并且消除基板掉落的风险。
[0010]此外，本专利技术旨在提供一种基板移送装置，其通过配置可将基板吸附于多个真空吸盘中的每个真空吸盘下部的多个真空垫来吸附基板。
[0011]此外，本专利技术还提供一种基板移送装置，其通过将推进式(push type)或夹紧式(clamping type)的减振装置分别配置于多个真空吸盘之间来减少基板的振动。
[0012]本专利技术的目的并不局限于所述目的，在上面未提及的本专利技术的其他目的和优点可以通过下述说明得到理解，并通过本专利技术的实施例得到更清楚的理解。此外，还显而易见的是，本专利技术的目的和优点可以通过权利要求范围中表示的手段和组合来实现。
[0013]技术方案
[0014]为了实现该目的，根据本专利技术的基板移送装置可以包括：多个真空吸盘，彼此以预定间隔隔开配置；连接构件，连接所述多个真空吸盘；以及多个减振部，分别位于所述多个真空吸盘之间并与所述连接构件结合，并且减少用于移送基板的机器人模块的多个手臂中
的各个手臂的振动。
[0015]此外，根据本专利技术的基板移送系统可以包括：机器人模块，用于将基板吸附并移动至基板移送装置的多个真空吸盘的下部；以及所述基板移送装置，其配置有多个减振部，所述减振部分别位于所述多个真空吸盘之间并与连接所述多个真空吸盘的连接构件结合，并且减少所述机器人模块的多个手臂中的各个手臂的振动。
[0016]有益效果
[0017]本专利技术可以通过减少分别位于多个真空吸盘之间并移送基板的机器人模块的多个手臂中的各个手臂的振动，来解决基板的中央部分下垂的问题，并从根本上消除基板掉落的风险。
[0018]此外，本专利技术可以通过将减振部配置在与机器人模块的手臂进行方向对应的位置，来有效地消除机器人模块的手臂的振动。
[0019]此外，本专利技术的推进式减振部包括：结合构件，一端结合到连接构件，另一端形成有至少一个孔；加压部，接触机器人模块的手臂并向下对手臂进行加压；以及缓冲部，贯通形成于结合构件的另一端的孔并与加压部结合，从而即使在机器人模块的多个手臂中的各个手臂的抖动不同的情况下也能够有效地减少多个手臂中的各个手臂的抖动。
[0020]此外，本专利技术的夹紧式减振部包括：固定部，与连接构件固定结合；旋转部，以旋转轴为中心在固定部上旋转规定角度；以及支撑部，基于旋转部的旋转移动至机器人模块的手臂下部并支撑基板，从而无论机器人手臂的长度多少，都能够减少机器人的多个手臂的抖动。
[0021]除了所述效果之外，本专利技术的具体效果将在说明以下用于实施本专利技术的具体细节的同时进行说明。
附图说明
[0022]图1是示出根据本专利技术一实施例的用于移动基板的机器人模块通过多个手臂吸附基板的状态的示例图。
[0023]图2a是示出根据本专利技术一实施例的结合有推进式减振部的真空吸盘模块的上表面的示例图。
[0024]图2b是示出根据本专利技术一实施例的结合有推进式减振部的真空吸盘模块的下表面的示例图。
[0025]图3a是示出根据本专利技术一实施例的结合到真空吸盘模块的夹紧式减振装置为关闭(OFF)状态的示例图。
[0026]图3b是示出根据本专利技术一实施例的结合到真空吸盘模块的夹紧式减振装置为开启(ON)状态的示例图。
[0027]图4a是示出根据本专利技术一实施例的夹紧式减振装置的旋转动作的示例图。
[0028]图4b是示出根据本专利技术一实施例的夹紧式减振装置支撑基板的状态的示例图。
[0029]图5是示出根据本专利技术一实施例的将基板移送至真空吸盘模块的机器人模块从真空吸盘模块分离的状态的示例图。
[0030]图6是示出根据本专利技术一实施例的基板移送系统的动作的流程图。
[0031]附图标记说明
[0032]100：机器人模块
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111、112、113：手臂
[0033]111a、111b、111n：真空垫
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120：主体
[0034]130：基板
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200：真空吸盘模块
[0035]211、212、213：真空吸盘
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220：连接构件
[0036]230：减振部
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231：结合构件
[0037]232：加压部
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233、234：缓冲部。
具体实施方式
[0038]稍后将参照附图详细描述所述目的、特征和优点，因此，本专利技术所属
的技术人员将能够容易地实现本专利技术的技术思想。在说明本专利技术时，如果判断与本专利技术相关的已知技术的具体说明可能不必要地模糊本专利技术的主题，将省略详细说明。在下文中，将参照附图详细说明根据本专利技术的优选的实施例。在附图中，相同的附图标记将用于表示相同或类似的构成要素。
[0039]尽管“第一”、“第二”等术语用于描述各种构成要素，但是这些构成要素当然不受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个构成要素和另一个构成要素，并且除非另有说明，否则第一构成要素当然可以是第二构成要素。
[0040]在下文中，将任意构成要素配置于构成要素的“上部(或下部)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板移送装置，其特征在于，包括：多个真空吸盘，彼此以预定间隔隔开配置；连接构件，连接所述多个真空吸盘；以及多个减振部，分别位于所述多个真空吸盘之间并与所述连接构件结合，并且减少用于移送基板的机器人模块的多个手臂中的各个手臂的振动，所述多个减振部中的至少一个配置在所述连接构件上与所述机器人模块的手臂的进行方向对应的位置，并且包括推进式减振装置或夹紧式减振装置中的任意一个。2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述推进式减振装置包括：结合构件，一端结合到所述连接构件，另一端形成有至少一个孔；加压部，接触所述机器人模块的手臂并向下对所述手臂进行加压；以及缓冲部，贯通形成于所述结合构件的另一端的孔并与所述加压部结合。3.根据权利要求2所述的基板移送装置，其特征在于，所述缓冲部包括用于减少所述机器人模块手臂的振动的缓冲构件。4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其特征在于，所述夹紧式减振装置包括：固定部，与所述连接构件固定结合；旋转部，以旋转轴为中心，在所述固定部上能够以规定角度旋转；以及支撑部，基于所述旋转部的旋转移动至所述机器人模块的手臂的下部并支撑所述基板。5.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于，所述支撑部根据与所述旋转部的活塞式动作向上或向下移动，并紧密接触到所述机器人模块的手臂的下部。6.根据权利要求5所述的基板移送装置，其特征在于，所述支撑部的上表面形成有凸起，所述凸起接触并支撑所述机器人模块的手臂下部。7.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相植，吴准昊，姜义锡，
申请(专利权)人：恒邦解决方案有限公司，
类型：发明
国别省市：