一种间距可变的晶圆搬运器制造技术

本发明专利技术公开了一种间距可变的晶圆搬运器，包括：沿着第一方向堆叠设置

【技术实现步骤摘要】
一种间距可变的晶圆搬运器


[0001]本专利技术涉及多晶圆搬运的
，尤其涉及一种间距可变的晶圆搬运器
。

技术介绍

[0002]针对不同间距的晶圆存储单元，需要使用不同间距的末端手指以取放晶圆，为了使得晶圆搬运器能够适配不同间距的晶圆存储单元，需要设置晶圆搬运器中的末端手指之间的间距可调
。
[0003]现有技术公开了在每个末端手指设置不同导程的丝杠，通过丝杠的左旋右旋实现等间距变换；这种结构使用不同导程的丝杠拼接驱动，组装调试困难，拼接丝杆刚性差，成本高
。
[0004]现有技术还公开了利用连杆机构旋转时，连杆轴上各点在线性方向上移动长度等比的特性，将末端执行器固定于连杆上2：1：
‑1：
‑2的点位上，则可以实现等间距变换
。
这种结构变距时末端手指非匀速运动，抖动大，连杆关节多，精度差
。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一
。
为此，本专利技术的目的在于提供一种间距可变的晶圆搬运器，通过限位滑轨和凸轮滑槽同时限定末端手指的移动轨迹，以实现末端手指的平稳精准变距，进而适配不同尺寸的晶圆存储单元
。
[0006]为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种间距可变的晶圆搬运器，包括：
[0007]沿着第一方向堆叠设置
M
个末端手指，所述末端手指的前端设置有晶圆放置位，所述末端手指的后端滑动安装在限位导轨中；所述限位导轨沿着第一方向延伸；所述末端手指远离晶圆放置位的一端还设置有凸轮；
M
为大于1的整数；
[0008]凸轮槽板，位于所述凸轮远离末端手指的一侧，所述凸轮槽板中设置有
M
个不平行设置的凸轮滑槽，所述凸轮一一对应位于凸轮滑槽内部；
[0009]驱动件，连接所述凸轮滑槽；所述驱动件带动所述凸轮滑槽沿着第二方向滑动时，所述凸轮带动对应的末端手指同时沿着限位导轨和对应的凸轮滑槽滑动，使得相邻的末端手指之间的间距变化；第二方向垂直于第一方向
。
[0010]进一步的，还包括平行于第一方向和第二方向的安装主板，所述安装主板的后端沿着第一方向堆叠设置
M
个凸轮安装块，所述凸轮安装块与所述限位导轨滑动连接；所述凸轮安装块远离安装主板的一侧设置有凸轮；
[0011]所述安装主板的前端设置有
M
个与凸轮安装块一一固定连接的手指安装板，所述手指安装板中远离安装板的一侧设置有末端手指
。
[0012]进一步的，所述安装主板的顶端和底端分别设置有间距调整直线导轨，所述凸轮槽板的顶端和底端分别位于间距调整直线导轨中
。
[0013]进一步的，所述驱动件包括电机和滚珠丝杆，所述电机的输出端连接所述滚珠丝
杆，所述滚珠丝杆中设置有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述凸轮槽板
。
[0014]进一步的，所述驱动件位于安装主板的顶端或底端，所述电机的输出轴连接主动轮，所述主动轮通过同步带连接从动轮，所述从动轮连接所述滚珠丝杆的一端
。
[0015]进一步的，所述电机位于末端手指的下方，所述滚珠丝杆位于所述凸轮槽板的下方，且所述滚珠丝杆的两端分别与丝杆安装板转动连接
。
[0016]进一步的，当
M
为奇数时，中间位置处的凸轮滑槽平行于第二方向设置，位于中间位置两侧的
M
‑1个凸轮滑槽以中间位置的凸轮滑槽为中心，对称倾斜设置
。
[0017]进一步的，当
M
为偶数时，
M
个凸轮滑槽以凸轮滑槽的中间位置为中心，对称倾斜设置
。
[0018]进一步的，所述限位导轨为两个，末端手指的两端分别连接在两个限位导轨中
。
[0019]进一步的，所述限位导轨为四个，四个限位导轨沿着第一方向并列设置；其中，第一个限位导轨和第三个限位导轨构成一个限位组，第二个限位导轨和第四个限位导轨构成一个限位组；相邻的两个末端手指分别连接在不同的限位组中
。
[0020]本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请
M
个末端手指沿着第一方向堆叠设置
。
末端手指的前端设置有晶圆放置位，后端滑动安装在限位导轨中，且限位导轨沿着第一方向延伸；末端手指远离晶圆放置位的一端还设置有凸轮
。
凸轮滑槽位于所述凸轮远离末端手指的一侧，所述凸轮滑槽中设置有
M
个不平行设置的凸轮滑槽，凸轮一一对应位于凸轮滑槽内部
。
当驱动件带动凸轮槽板沿着第二方向滑动时，凸轮被限位在限位导轨中，同时在凸轮滑槽的作用下沿着限位导轨进行移动，本申请可以通过设置凸轮滑槽的轨迹，以控制末端手指在限位导轨上的滑动距离，进而实现末端手指之间的间距调整
。
本申请基于凸轮的移动来实现末端手指之间的间距调整，确保末端手指在间距调整过程中运行稳定，调整精度高，进一步扩大了晶圆搬运器的适用范围
。
附图说明
[0021]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理
。
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0023]附图1为本专利技术中晶圆搬运装置的后端示意图；
[0024]附图2为本专利技术中晶圆搬运装置的前端示意图；
[0025]附图3为本申请凸轮槽板覆盖限位滑轨时的结构示意图；
[0026]附图4为本申请去除凸轮槽板之后的结构示意图
。
[0027]附图标记：
11、
第一限位导轨；
12、
第二限位导轨；
13、
第三限位导轨；
14、
第四限位导轨；
15、
第一凸轮安装块；
16、
第二凸轮安装块；
17、
第三凸轮安装块；
18、
第四凸轮安装块；
19、
第五凸轮安装块；
20、
电机安装板；
21、
间距调整直线导轨；
22、
电机；
23、
主动轮；
24、
从动轮；
25、
同步带；
26、
滚珠丝杆；
27、
丝杆螺母；
28、
丝杆安装板；
30、
安装主板；
31、
手指安装板；
32、
末端手指；
33、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种间距可变的晶圆搬运器，其特征在于，包括：沿着第一方向堆叠设置
M
个末端手指，所述末端手指的前端设置有晶圆放置位，所述末端手指的后端滑动安装在限位导轨中；所述限位导轨沿着第一方向延伸；所述末端手指远离晶圆放置位的一端还设置有凸轮；
M
为大于1的整数；凸轮槽板，位于所述凸轮远离末端手指的一侧，所述凸轮槽板中设置有
M
个不平行设置的凸轮滑槽，所述凸轮一一对应位于凸轮滑槽内部；驱动件，连接所述凸轮滑槽；所述驱动件带动所述凸轮滑槽沿着第二方向滑动时，所述凸轮带动对应的末端手指同时沿着限位导轨和对应的凸轮滑槽滑动，使得相邻的末端手指之间的间距变化；第二方向垂直于第一方向
。2.
根据权利要求1所述的一种间距可变的晶圆搬运器，其特征在于，还包括平行于第一方向和第二方向的安装主板，所述安装主板的后端沿着第一方向堆叠设置
M
个凸轮安装块，所述凸轮安装块与所述限位导轨滑动连接；所述凸轮安装块远离安装主板的一侧设置有凸轮；所述安装主板的前端设置有
M
个与凸轮安装块一一固定连接的手指安装板，所述手指安装板中远离安装板的一侧设置有末端手指
。3.
根据权利要求2所述的一种间距可变的晶圆搬运器，其特征在于，所述安装主板的顶端和底端分别设置有间距调整直线导轨，所述凸轮槽板的顶端和底端分别位于间距调整直线导轨中
。4.
根据权利要求1所述的一种间距可变的晶圆搬运器，其特征在于，所述驱动件包括电机和滚珠丝杆，所述电机的输出端连接所述滚...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贺明，刘恩龙，杨琦，武一鸣，中岛隆志，川辺哲也，曲泉铀，张平，周伟强，张菊，贾豪，李家璇，焦子洋，西超博，方指东，苗义，朱骏驰，王晨旭，张文磊，徐圳，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：