一种制造技术

本发明专利技术提供一种

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS压电驱动薄膜制造环境监测调节系统


[0001]本专利技术涉及压电薄膜环境调节
，尤其涉及一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统
。

技术介绍

[0002]压电薄膜拥有独一无二的特性，作为一种动态应变传感器，非常适合应用于人体皮肤表面或植入人体内部的生命信号监测
。
一些薄膜元件灵敏到足以隔着外套探测出人体脉搏
。
[0003]现有技术中，在对压电薄膜进行制造过程中，对于压电薄膜在不同环境下的制造品质不同，在对压电薄膜制造过程中存在以下问题：问题
①
：压电薄膜在不同环境下的制造品质不同，在制造过程中不能够基于压电薄膜的制造环境进行监测，对制造环境进行调节，影响压电薄膜的品质，导致压电薄膜的合格率低；问题
②
：在压电薄膜生产过程中，通常根据原有的生产方案，对生产温度进行调节，不能够在压电薄膜生产过程中进行分析改进；因此本专利技术提出了一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，本专利技术在对压电薄膜进行生产过程中，对压电薄膜进行监测，对每一次生产过程中的数据信息以及测试信息进行获取，对多个压电薄膜生产完成后的测试信息进行分析，对压电薄膜的优劣进行判断，进而对压电薄膜的制造环境进行调节，提高了压电薄膜的合格率
。<br/>[0005]为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，所述监测调节系统包括监测端
、
分析端
、
测试端
、
调节端以及服务器；所述监测端对压电驱动薄膜制造过程中的环境信息以及制造信息进行获取，将环境信息以及制造信息进行获取输送至分析端；所述测试端对压电薄膜制造完成后进行测试，对测试结果进行记录，得到记录信息，将记录信息输送至分析端，存储单元对每组压电薄膜的记录信息进行存储；所述分析端包括数据排列单元
、
判定单元以及数据计算单元；所述数据排列单元对存储的环境信息以及制造信息进行获取，对测试端测试的记录信息进行分析，获取制造
n
个压电薄膜制造过程中的记录信息，对每个记录信息中的弯曲电信号偏差值以及拉伸电信号偏差值进行获取，所述数据计算单元根据获取的弯曲电信号偏差值以及拉伸电信号偏差值对测试比较值进行获取，对测试比较值进行分析得到标准制造信息；
将标准制造信息输送至调节端，所述调节端接收标准制造信息对压电薄膜的制造环境进行调节
。
[0006]进一步地，所述监测端包括环境监测单元；环境监测单元包括第一温度监测子单元
、
第二温度监测子单元以及第三温度子单元，第一温度子单元对压电薄膜制造过程中的内部环境温度进行获取，得到制造温度值；第二温度子单元对压电薄膜拉伸过程中的环境温度进行获取，得到拉伸温度值；第三温度子单元对压电薄膜冷却过程中的冷却温度进行获取，得到冷却温度值；分别对第一温度子单元监测过程中的制造时间
、
第二温度子单元监测过程中的拉伸温度时间以及第三温度子单元监测过程中的冷却时间进行获取，得到制造温度时间值
、
拉伸温度时间值以及冷却温度时间值；将获取的制造温度值
、
拉伸温度值
、
冷却温度值
、
制造温度时间值
、
拉伸温度时间值以及冷却温度时间值定义为环境信息
。
[0007]进一步地，所述监测端还包括制造监测单元以及存储单元，制造监测单元包括拉力监测子单元，拉力检测子单元对压电薄膜制造过程中的拉力进行获取，得到拉力数值，在对压电薄膜拉伸过程中，对拉伸时间进行获取，得到拉伸时间值；在对拉力进行获取过程中，在对压电薄膜进行拉伸过程中，拉力数值不断发生变化，得到多个拉力数值，将多个拉力数值以及拉伸时间值定义为制造信息；通过存储单元对环境信息以及制造信息进行存储
。
[0008]进一步地，所述测试端包括信号获取单元
、
测试单元
、
角度测量单元以及记录单元；测试单元对制造完成后的压电薄膜进行弯曲，角度测量单元对拉伸角度进行获取，得到弯曲角度值，信号获取单元对产生的电信号进行获取得到弯曲电信号数值；获取
a
次角度弯曲时的角度，第一次获取的角度为
b1
°
、
第二次获取的角度为
b2
°
、
……
、
第
a
次获取的角度为
ba
°
；获取每次弯曲角度对应的弯曲电信号数值，第一次获取的弯曲电信号数值为
q1、
第二次获取的弯曲电信号数值为
q2、
……
、
第
a
次获取的弯曲电信号数值为
qa
；对每次弯曲时的电信号平均值进行获取，得到弯曲电信号平均值；根据升序将求取的弯曲电信号平均值进行排序，若弯曲电信号平均值相同，则按照求取的顺序进行排列，求取最大弯曲电信号平均值与最小弯曲电信号平均值的差值，得到弯曲电信号偏差值
wpc。
[0009]进一步地，所述测试端包括还包括距离获取单元，测试单元对制造完成后的压电薄膜进行拉伸，距离获取单元对拉伸距离进行获取，得到拉伸距离值，信号获取单元对产生的电信号进行获取得到拉伸电信号数值；获取
a
次拉伸时的距离，第一次获取的拉伸距离为
L1、
第二次获取的拉伸距离为
L2、
……
、
第
a
次获取的拉伸距离为
La
；获取每次拉伸对应的拉伸电信号数值，第一次获取的拉伸电信号数值为
qs1、
第二次获取的拉伸电信号数值为
qs2、
……
、
第
a
次获取的拉伸电信号数值为
qsa
；对每次拉伸时的电信号平均值进行获取，得到拉伸电信号平均值；根据升序将求取的拉伸电信号平均值进行排序，若拉伸电信号平均值相同，则按照求取的顺序进行排列，求取最大拉伸电信号平均值与最小拉伸电信号平均值的差值，得
到拉伸电信号偏差值
lpc
；测试单元对制造完成后的压电薄膜进行拉伸，对压电薄膜的最大拉伸力进行获取，得到拉伸力临界值；记录单元对每次压电薄膜测试获取的弯曲电信号偏差值
、
拉伸电信号偏差值以及拉伸力临界值进行记录，得到记录信息
。
[0010]进一步地，分别对
n
个压电薄膜的测试比较值进行一一求取，得到
n
个测试比较值，将
n
个测试比较值按照从小到大的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，其特征在于，所述监测调节系统包括监测端
、
分析端
、
测试端
、
调节端以及服务器；所述监测端对压电驱动薄膜制造过程中的环境信息以及制造信息进行获取，将环境信息以及制造信息进行获取输送至分析端；所述测试端对压电薄膜制造完成后进行测试，对测试结果进行记录，得到记录信息，将记录信息输送至分析端，存储单元对每组压电薄膜的记录信息进行存储；所述分析端包括数据排列单元
、
判定单元以及数据计算单元；所述数据排列单元对存储的环境信息以及制造信息进行获取，对测试端测试的记录信息进行分析，获取制造
n
个压电薄膜制造过程中的记录信息，对每个记录信息中的弯曲电信号偏差值以及拉伸电信号偏差值进行获取，所述数据计算单元根据获取的弯曲电信号偏差值以及拉伸电信号偏差值对测试比较值进行获取，对测试比较值进行分析得到标准制造信息；将标准制造信息输送至调节端，所述服务器控制调节端接收标准制造信息对压电薄膜的制造环境进行调节
。2.
根据权利要求1所述的一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，其特征在于，所述监测端包括环境监测单元；环境监测单元包括第一温度监测子单元
、
第二温度监测子单元以及第三温度子单元，第一温度子单元对压电薄膜制造过程中的内部环境温度进行获取，得到制造温度值；第二温度子单元对压电薄膜拉伸过程中的环境温度进行获取，得到拉伸温度值；第三温度子单元对压电薄膜冷却过程中的冷却温度进行获取，得到冷却温度值；分别对第一温度子单元监测过程中的制造时间
、
第二温度子单元监测过程中的拉伸温度时间以及第三温度子单元监测过程中的冷却时间进行获取，得到制造温度时间值
、
拉伸温度时间值以及冷却温度时间值；将获取的制造温度值
、
拉伸温度值
、
冷却温度值
、
制造温度时间值
、
拉伸温度时间值以及冷却温度时间值定义为环境信息
。3.
根据权利要求2所述的一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，其特征在于，所述监测端还包括制造监测单元以及存储单元，制造监测单元包括拉力监测子单元，拉力检测子单元对压电薄膜制造过程中的拉力进行获取，得到拉力数值，在对压电薄膜拉伸过程中，对拉伸时间进行获取，得到拉伸时间值；在对拉力进行获取过程中，在对压电薄膜进行拉伸过程中，拉力数值不断发生变化，得到多个拉力数值，将多个拉力数值以及拉伸时间值定义为制造信息；通过存储单元对环境信息以及制造信息进行存储
。4.
根据权利要求1所述的一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，其特征在于，所述测试端包括信号获取单元
、
测试单元
、
角度测量单元以及记录单元；测试单元对制造完成后的压电薄膜进行弯曲，角度测量单元对拉伸角度进行获取，得到弯曲角度值，信号获取单元对产生的电信号进行获取得到弯曲电信号数值；获取
a
次角度弯曲时的角度，第一次获取的角度为
b1
°
、
第二次获取的角度为
b2
°
、
……
、
第
a
次获取的角度为
ba
°
；获取每次弯曲角度对应的弯曲电信号数值，第一次获取的弯曲电信号数值为
q1、
第二
次获取的弯曲电信号数值为
q2、
……
、
第
a
次获取的弯曲电信号数值为
qa
；对每次弯曲时的电信号平均值进行获取，得到弯曲电信号平均值；根据升序将求取的弯曲电信号平均值进行排序，若弯曲电信号平均值相同，则按照求取的顺序进行排列，求取最大弯曲电信号平均值与最小弯曲电信号平均值的差值，得到弯曲电信号偏差值
wpc。5.
根据权利要求4所述的一种
MEMS
压电驱动薄膜制造环境监测调节系统，其特征在于，所述测试端包括还包括距离获取单元，测试单元对制造完成后的压电薄膜进行拉伸，距离获取单元对拉伸距离进行获取，得到拉伸距离值，信号获取单元对产生的电信号进行获取得到拉伸电信号数值；获取
a
次拉伸时的距离...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立军，
申请(专利权)人：浙江数瞳智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：