光点数组扫描系统及其方法技术方案

本发明专利技术提供一种光点数组扫描系统及其方法，其以运算处理单元依据光学图形依序输出控制指令，同时，控制载台进行移动，及数字微反射镜数组装置开启或关闭该些个微反射镜，并于扫描过程中，透过控制投射数字光学影像的角度以及光源装置开启时间，达到大幅提升曝光精度的功效。功效。功效。

【技术实现步骤摘要】
光点数组扫描系统及其方法


[0001]本专利技术涉及一种光学装置，特别是涉及一种光点数组扫描系统及其方法。

技术介绍

[0002]电子产业日新月异，为因应印刷电路板、半导体与积体电路、平面显示器、发光二极管或光电通讯等产品的需求，其中，曝光制程技术于近年来逐渐成为电子产业的核心，为达更高分辨率的曝光及提高曝光质量，其关于光点数组扫描及对位校正的相关技术相当重要。
[0003]习知的对位校正方式，通常由须另外设置位置传感器以及透过基板或载台上的标记或基线，才能实现对位校正，惟此种方式需要另增设额外的传感器，而导致不确定性更高，且亦增加成本，另外，于光点数组扫描方式中，一般为持续性的投射数字光学影像，惟此种方式可能导致于周期时间中，由于载台以等速度进行移动，而具有无法处理高分辨率的光学图形的缺失。
[0004]为此，本专利技术提供一种光点数组扫描系统及其方法，其透过投射于基板的数字光学影像与基板之间具有一个特定的夹角，使得投射的数字光学影像可达成高精度的UV图形曝光，并于扫描过程中，其光源装置呈现固定的闪烁式开关，以实现高分辨率的扫描。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的，是提供一种光点数组扫描系统，其以光学成像装置所投射于基板上的数字光学影像与基板的扫描轴形成夹角，使得其光点数组扫描可曝光更高分辨率的光学图形。
[0006]本专利技术的另一目的，是提供一种光点数组扫描方法，其以光学数组扫描系统进行光学图形的扫描，而可于周期时间依序将数字光学影像投射于基板，而提升其曝光制程的效率。
[0007]为了达到上述的目的，本专利技术的一实施例是揭示一种光点数组扫描系统，包含:载台，承载基板；光学引擎，与该载台相对设置，包含:光源装置，发射光源；数字微反射镜数组装置，与该光源装置相对设置，该数字微反射镜数组装置包含多个微反射镜，该些个微反射镜用以接收并反射该光源；光学成像装置，与该数字微反射镜数组装置相对设置，该光学成像装置用以接收并投射该光源，以形成数字光学影像至该基板；及运算处理单元，分别与该载台及该光学引擎讯号连接，输入光学图形至该运算处理单元，该运算处理单元依据该光学图形于周期时间依序输出对应的控制指令，并传输至该载台及该光学引擎，使得该载台依据该控制指令移动至对应的预定位置，且，该光学引擎的该数字微反射镜数组装置依据该控制指令对应开启或关闭部分的该些个微反射镜，使得该光学成像装置于该周期时间依序形成不同的该数字光学影像；
[0008]其中，该数字光学影像是与该基板的扫描轴具有夹角。
[0009]于较佳实施例中，该夹角不小于arctan(1/N)，且，该夹角不大于100arctan(1/N)，
其中，N为该些个微反射镜于该扫描轴的数量。
[0010]于较佳实施例中，该载台依据该控制指令于该周期时间以等速度于该预定位置往该扫描轴移动。
[0011]于较佳实施例中，该光源装置是于该周期时间的部分时间发射该光源至该些个微反射镜。
[0012]于较佳实施例中，该部分时间与该周期时间的比例为1％
‑
90％。
[0013]为了达到上述的另一目的，本专利技术的一实施例是揭示一种光点数组扫描方法，步骤包含:输入光学图形至运算处理单元；该运算处理单元依据该光学图形于周期时间依序输出对应的控制指令，并分别传输至载台及光学引擎；该载台依据该控制指令移动至对应的预定位置，并以等速度于该预定位置往扫描轴移动；该光学引擎的数字微反射镜数组装置依据该控制指令对应开启或关闭部分的该些个微反射镜；该光学引擎的光源装置发射光源至该些个微反射镜，使得该些个微反射镜反射该光源至该光学成像装置；及该光学成像装置投射该光源，以形成数字光学影像至基板，该数字光学影像是于该周期时间依序于该基板形成部分的该光学图形，以进行曝光程序；其中，该数字光学影像是与该基板的该扫描轴具有夹角。
[0014]于较佳实施例中，该夹角不小于arctan(1/N)，且，该夹角不大于100arctan(1/N)，其中，N为该些个微反射镜于该扫描轴的数量。
[0015]于较佳实施例中，于该光学引擎的光源装置发射光源至该些个微反射镜，使得该些个微反射镜反射该光源至该光学成像装置的步骤中，该光源装置是于该周期时间的部分时间发射该光源至该些个微反射镜，其中，该部分时间与该周期时间的比例为1％
‑
90％。
[0016]于较佳实施例中，于该载台依据该控制指令移动至对应的预定位置，并以等速度于该预定位置往扫描轴移动的步骤前，更包含步骤:影像感测装置侦测并依据该数字光学影像输出第一对位信息至该运算处理单元；影像捕获设备撷取并依据位于该影像感测装置的第一标记输出第二对位信息至该运算处理单元；该运算处理单元依据该第一对位信息及该第二对位信息进行运算，取得定位信息；及该运算处理单元依据该定位信息传输该控制指令至该载台，使得该载台移动至该预定位置。
[0017]于较佳实施例中，于影像捕获设备撷取并依据位于该影像感测装置的第一标记输出第二对位信息至该运算处理单元的步骤中，该影像捕获设备撷取并依据该基板的第二标记输出第三对位信息，该运算处理单元接收并依据该第一对位信息、该第二对位信息及该第三对位信息进行运算，取得该定位信息。
[0018]本专利技术的有益功效在于解决高分辨率光学图形的曝光，并提升曝光制程的效率。
附图说明
[0019]图1A:其为本专利技术的一实施例的系统示意图；
[0020]图1B:其为本专利技术的一实施例的部分装置示意图；
[0021]图2A:其为本专利技术的一实施例的方法流程图；
[0022]图2B:其为本专利技术的一实施例的流程示意图；
[0023]图3A:其为本专利技术的一实施例的部分方法流程图；
[0024]图3B:其为本专利技术的一实施例的流程示意图；
[0025]图3C:其为本专利技术的一实施例的流程示意图；
[0026]图3D:其为本专利技术的一实施例的流程示意图；
[0027]图3E:其为本专利技术的一实施例的流程示意图；及
[0028]图3F:其为本专利技术的一实施例的流程示意图。
具体实施方式
[0029]为让本专利技术上述及/或其他目的、功效、特征更明显易懂，下文特举较佳实施方式，作详细说明于下：
[0030]请参阅图1A及图1B，其为本专利技术的一实施例的系统示意图及部分装置示意图。如图所示，本专利技术的光点数组扫描系统，包含:载台1、光学引擎2、光源装置21、数字微反射镜数组装置22、光学成像装置23及运算处理单元3，且，更进一步可包含影像感测装置4及影像捕获设备5，并详细说明如下:
[0031]载台1系承载欲进行曝光制程的基板Sb，于一实施例中，载台1是可沿于平面进行移动，如由X轴与Y轴所组成的平面，但不在此限。
[0032]光学引擎2是与载台1相对设置，且，于一实施例中，光学引擎2包含光源装置21、数字微反射镜数组装置22及光学成像装置23，其中，光源装置21是用以发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光点数组扫描系统，其特征在于，包含:载台，承载基板；光学引擎，与该载台相对设置，包含:光源装置，发射光源；数字微反射镜数组装置，与该光源装置相对设置，该数字微反射镜数组装置包含多个微反射镜，该些个微反射镜用以接收并反射该光源；光学成像装置，与该数字微反射镜数组装置相对设置，该光学成像装置用以接收并投射该光源至该基板，以形成数字光学影像；及运算处理单元，分别与该载台及该光学引擎讯号连接，输入光学图形至该运算处理单元，该运算处理单元依据该光学图形于周期时间依序输出对应的控制指令，并传输至该载台及该光学引擎，使得该载台依据该控制指令移动至对应的预定位置，且，该数字微反射镜数组装置依据该控制指令对应开启或关闭部分的该些个微反射镜，使得该光学成像装置于该周期时间依序形成不同的该数字光学影像；其中，该数字光学影像是与该基板的扫描轴具有夹角。2.根据权利要求1所述的光点数组扫描系统，其特征在于，该夹角不小于arctan(1/N)，且，该夹角不大于100arctan(1/N)，其中，N为该些个微反射镜于该扫描轴的数量。3.根据权利要求1所述的光点数组扫描系统，其特征在于，该载台依据该控制指令于该周期时间以等速度于该预定位置往该扫描轴移动。4.根据权利要求1所述的光点数组扫描系统，其特征在于，该光源装置是于该周期时间的部分时间发射该光源至该些个微反射镜。5.根据权利要求4所述的光点数组扫描系统，其特征在于，该部分时间与该周期时间的比例为1％
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90％。6.一种光点数组扫描方法，其特征在于，步骤包含:输入光学图形至运算处理单元；该运算处理单元依据该光学图形于周期时间依序输出对应的控制指令，并分别传输至载台及光学引擎；该载台依据该控制指令移动至对应的预定位置，并以等速度于该预定位置往扫描轴移动；该光学引擎的数字微反射镜数组装置依据该控制指令...

【专利技术属性】
技术研发人员：李永春，许永昕，吴俊颖，苗庭瑄，
申请(专利权)人：李永春，
类型：发明
国别省市：