一种线源坩埚实时遮盖结构制造技术

本发明专利技术提供一种线源坩埚实时遮盖结构，包括有加热源本体，加热源本体开设有坩埚放置槽，加热源本体顶部连接有上盖总成，上盖总成包括有箱体，箱体包括有底板

【技术实现步骤摘要】
一种线源坩埚实时遮盖结构


[0001]本专利技术涉及显示面板蒸镀
，尤其涉及一种线源坩埚实时遮盖结构
。

技术介绍

[0002]当前
OLED
制备器件主要采用蒸镀的方式，通过加热装载在各型坩埚中的有机材料使其升华或气化后溢出坩埚，在沉积玻璃基板上遇冷凝结，形成所需要的功能膜层
。
[0003]通常一个蒸镀腔室内会同时放置2个或者多个坩埚进行加热使其内部材料升华或气化
。
之后会同时或者先后沉积在玻璃基板上
。
[0004]需先后沉积时即需要将部分坩埚将其遮盖，待其中一种材料蒸镀完成后，在将其遮盖关闭后打开另外一种坩埚的遮盖板，以实现先后顺顺序的蒸镀
。
[0005]现有的蒸镀设备切换坩埚挡板的示意图如图1所示，现有的蒸镀设备包括有蒸镀腔室
3、
加热源4以及由气缸或电缸机构组成的挡板切换机构5，蒸镀腔室分为切换区
31
以及工作区
32
，挡板切换机构5设置在蒸镀腔室3的外侧，用于放置坩埚，并且给坩埚加热保温的加热源4，在蒸镀腔室3内往复移动
。
在切换挡板时，需要暂停蒸镀，并将加热源移动到切换区
31
进行坩埚挡板的切换
。
[0006]目前蒸镀设备在切换该挡板均无法实现实时更换，每次切换挡板时，均需回归到固定位置进行切换，耗费过多时间，且在加热源回到切换区时的过程中，蒸镀材料还在持续蒸发，造成了蒸镀材料的浪费
。r/>
技术实现思路

[0007]本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种线源坩埚实时遮盖结构，使加热源在移动蒸镀过程中也能实现不同坩埚的切换，节省蒸镀时间，节约蒸镀材料，降低材料成本
。
[0008]本专利技术是这样实现的：
[0009]本专利技术提供了一种线源坩埚实时遮盖结构，包括有加热源本体，所述加热源本体开设有复数个用于放置坩埚的坩埚放置槽，所述加热源本体顶部连接有用于遮盖坩埚放置槽的上盖总成，所述上盖总成包括有一个顶部敞开的箱体，所述箱体包括有底板
、
设置在底板顶部的复数个隔板以及两个侧部限制板，两个所述侧部限制板分别安装在隔板的两侧，所述隔板使箱体内腔被分隔为复数个与坩埚放置槽相匹配的槽体，每一所述槽体底部均开设有与坩埚放置槽相连通的坩埚喷嘴口；
[0010]所述上盖总成还包括有复数个用于遮盖槽体的遮盖板，所述遮盖板与槽体一一对应设置，所述遮盖板与侧部限制板活动连接，所述上盖总成还包括有用于驱使遮盖板打开或关闭的开闭驱动机构
。
[0011]进一步的，所述隔板沿竖向方向开设有用于收纳遮盖板的收纳槽
。
[0012]进一步的，在所述侧部限制板与收纳槽相对应的位置处开设有滑道，每一所述遮盖板的两端部均设置有圆形凸起，所述圆形凸起相对应的滑道内滑动，且所述圆形凸起可在相对应的滑道内转动
。
[0013]进一步的，每一所述开闭驱动机构均包括有角度变更驱动源以及升降旋转驱动源，所述角度变更驱动源的下端与箱体铰接，所述角度变更驱动源的上端铰接在升降旋转驱动源的中部，所述升降旋转驱动源的下端与箱体铰接，所述升降旋转驱动源的上端与遮盖板铰接
。
[0014]进一步的，所述遮盖板的两端分别设置有转动部，所述升降旋转驱动源的上端通过万向节与转动部铰接
。
[0015]进一步的，所述角度变更驱动源和升降旋转驱动源均为电缸
。
[0016]进一步的，所述隔板上端设置有第一斜面，所述遮盖板设置有第二斜面，在所述遮盖板盖合在隔板上时，所述第一斜面和第二斜面相贴合
。
[0017]本专利技术的优点在于：通过本专利技术的线源坩埚实时遮盖结构，可解决现有线源坩埚在蒸镀过程中坩埚切换需暂停蒸镀并移至固定位置进行切换，造成蒸镀过程时间加长，影响生产效率
。
移动过程中蒸镀材料依旧不断的蒸发升华，浪费蒸镀有机材料，材料利用率低
。
[0018]通过本专利的结构，能有效的消除坩埚之间切换的时间，以及坩埚切换中材料的浪费
。
既降低了生产时间
、
材料成本，又改善了产品效果
。
[0019]另外降低了腔体气密性不佳的因素，使得腔体真空效果更好
。
同时由于无需预留遮盖板的更换位置，可使腔体长度变短，降低设备制造成本，或者在同等长度的蒸镀设备内，可以加大可蒸镀基板面积，提高设备产能
。
附图说明
[0020]下面参照附图结合实施例对本专利技术作进一步的说明
。
[0021]图1为现有技术中蒸镀设备切换坩埚挡板的示意图
。
[0022]图2为本专利技术线源坩埚实时遮盖结构结构示意图
。
[0023]图3为本专利技术上盖总成爆炸图
。
[0024]图4为本专利技术遮盖板结构示意图
。
[0025]图5为本专利技术箱体局部结构示意图
。
[0026]图6为本专利技术侧部限制板结构示意图
。
[0027]图7为本专利技术开闭驱动机构结构示意图
。
[0028]图8为本专利技术两个遮盖板打开，另一遮盖板闭合时的结构示意图
。
[0029]图9为图8中
A
‑
A
处剖视图
。
[0030]图
10
为本专利技术遮盖板从关闭状态进入打开状态的结构示意图
。
[0031]图
11
为本专利技术遮盖板打开过程中的结构示意图
。
[0032]图中标号说明：
[0033]1、
加热源本体；
11、
坩埚放置槽；
2、
上盖总成；
21、
箱体；
211、
底板；
212、
隔板；
2121、
收纳槽；
2122、
第一斜面；
213、
侧部限制板；
2131、
滑道；
214、
槽体；
215、
坩埚喷嘴口；
22、
遮盖板；
221、
圆形凸起；
222、
转动部；
223、
第二斜面；
23、
开闭驱动机构；
231、
角度变更驱动源；
232、
升降旋转驱动源；
3、
蒸镀腔室；
31、
切换区；
32、
工作区；
4、
加热源；
5、
挡板切换机构
。
具体实施方式
[0034]请参阅图1至图
11
，本专利技术提供了一种线源坩埚实时遮盖结构，包括有加热源本体1，所述加热源本体1开设有复数个用于放置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种线源坩埚实时遮盖结构，包括有加热源本体，所述加热源本体开设有复数个用于放置坩埚的坩埚放置槽，其特征在于：所述加热源本体顶部连接有用于遮盖坩埚放置槽的上盖总成，所述上盖总成包括有一个顶部敞开的箱体，所述箱体包括有底板
、
设置在底板顶部的复数个隔板以及两个侧部限制板，两个所述侧部限制板分别安装在隔板的两侧，所述隔板使箱体内腔被分隔为复数个与坩埚放置槽相匹配的槽体，每一所述槽体底部均开设有与坩埚放置槽相连通的坩埚喷嘴口；所述上盖总成还包括有复数个用于遮盖槽体的遮盖板，所述遮盖板与槽体一一对应设置，所述遮盖板与侧部限制板活动连接，所述上盖总成还包括有用于驱使遮盖板打开或关闭的开闭驱动机构
。2.
如权利要求1所述的一种线源坩埚实时遮盖结构，其特征在于：所述隔板沿竖向方向开设有用于收纳遮盖板的收纳槽
。3.
如权利要求2所述的一种线源坩埚实时遮盖结构，其特征在于：在所述侧部限制板与收纳槽相对应的位置处开设有滑道，每一所述遮盖板的两端...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴晟远，林志斌，林泽，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：