【技术实现步骤摘要】
一种电子级柠檬酸的提纯方法
[0001]本专利技术涉及一种电子级化学品的生产方法,尤其涉及一种高纯度高收率电子级柠檬酸的生产方法
。
技术背景
[0002]柠檬酸生产方法简单,原料来源丰富,因而产能大,成本低,功耗的
、
无污染,对人体无害,因而广泛用于各个领域
。
因其物理性质稳定
、
有很强的络合能力,在半导体领域亦有大量应用
。
[0003]随半导体技术的不断提高,各类化学品的纯度要求也愈来愈高
。
柠檬酸作为一种重要的添加剂,广泛应用于各类半导体制造中的功能性湿电子化学品,如蚀刻液
、
清洗液等
。
因此,提高提纯技术增大收率
、
降低其金属和非金属杂质,让其能适用于
14nm、7nm
乃至未来更高端的制成则尤为重要
。
技术实现思路
[0004]为解决上述问题,本专利技术提供了一种纯度非常高的电子级柠檬酸的提纯方法,通过降温结晶提纯的方式制备超高纯的电子级柠檬酸,将金属降至将各金属含量均降至
1ppb
以下,
SO
42
‑
、Cl
‑
、NO3‑
等阴离子含量降至
5ppb
以下;通过多次蒸发结晶提高成品收率,可将收率提高至
70
%以上
。
[0005]具体的,本专利技术提供了一种高纯度高收率电子级柠檬酸的生产方 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种电子级柠檬酸的提纯方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将无水柠檬酸与超纯水混合后搅拌至完全溶解;步骤2:将步骤1的柠檬酸溶液通过混床树脂纯化除杂;步骤3:除杂后升温并浓缩至
65%
及以上;步骤4:将浓缩后的柠檬酸溶液降温至
25
‑
29℃
;步骤5:加入晶种后降温至
20℃
以下,再升温至
25℃
及以上;步骤6:将步骤5的柠檬酸溶液离心,分离出一次母液和晶体,将一次母液升温并浓缩至
65%
及以上;步骤7:重复上述步骤
4~6
过程直至母液质量低于初始溶液质量的
10
‑
20%
;步骤8:将多次结晶的晶体集中
、
洗涤过滤
、
溶解配成电子级柠檬酸
。2.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法,其特征在于,步骤1中柠檬酸稀溶液的质量浓度为
30
‑
35%。3.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法,其特征在于,步骤2中的树脂为强酸强碱型混床树脂,优选:
ZGNR8410、ZGNR8420、ZGNR8715、ZGNR8720、ZGNR6010、ZGNR6020、MB10、MB20、MB30、MB1301、MB1401、SEPLITE
@
Monojet
TM 6040U、 SEPLITE
@
Monojet
TM
6150U
中的任意一种
。4. 根据权利要求1所述的电子级草酸的提纯方法,其特征在于,通过混床树脂的速率为
10~50Bv/h
,优选为
10 BV/h、20 BV/h、30 BV/h、40 BV/h、
或
50 BV/h
中的任意一种
。5.
根据权利要求1所述的电子级柠檬酸的提纯方法,其特征在于,步骤3中的升温终点为
32
‑
35℃
,优选为<...
【专利技术属性】
技术研发人员:王荣,贺兆波,叶瑞,张庭,欧阳克银,吴昊,彭俊杰,苗茁,章玲,吴文静,李琴,
申请(专利权)人:湖北兴福电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。