一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜制造技术

本发明专利技术涉及显微镜技术领域，具体公开了一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜，包括连接物镜转塔机构与显微镜物镜座的转塔连接筒，转塔连接筒底部连接有转塔物镜机构，转塔物镜机构包括物镜转塔和设置在物镜转塔上的物镜

【技术实现步骤摘要】
一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜


[0001]本专利技术涉及显微镜领域，尤其涉及一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜
。

技术介绍

[0002]现阶段接触
、
接近式曝光机普遍配备与其曝光分辨率相适应的双目分离视场显微镜，目前的接触
、
接近式曝光机用双目分离视场显微镜普遍采用两物镜布局，例如，中国专利
CN202153274U
公开了双视场显微镜，该显微镜内部设计两路光路，两路光路互相独立，互不影响，三棱反射镜被两路光路所共用，通过物镜倍率调整
、
以及微调焦技术实现显微镜双视场对准观察，但是不能实现在曝光机设备上实现物镜切换
。
[0003]再例如，中国专利
CN102109672B
公开了一种物镜快速变倍分离视场显微镜，具体为一种物镜快速变倍分离视场显微镜
。
该专利技术由物镜快速变倍装置
、
物镜系统
、
目镜系统等构成
。
在物镜安装处增加了物镜快速变倍机构，该变倍机构旋转部分设置为下转盘的物镜定位面在同一水平面上的形式
。
虽然该专利技术能在进行粗对准和精细对准切换时，能够实现物镜快速变倍功能；但是两双目分离视场显微镜两物镜的中心距不能调节，物镜最小中心距很难保证对于较小曝光基片的标记点进行识别对准
。

技术实现思路

[0004]为解决上述现有技术中的问题，本专利技术提供了一种内扩转塔物镜机构以及分离视场显微镜
。
[0005]第一方面，本申请提供了一种内扩转塔物镜机构，包括连接物镜转塔机构与显微镜物镜座的转塔连接筒，所述转塔连接筒底部连接有转塔物镜机构，所述转塔物镜机构包括物镜转塔和设置在物镜转塔上的物镜
、
内扩物镜机构，通过旋转转塔物镜机构依次切换物镜
、
内扩物镜机构与转塔连接筒的配合；所述内扩物镜机构包括物镜筒和设置在物镜筒底部的物镜头，所述物镜头的光路入口偏置在物镜筒中轴线的内侧，所述物镜头内部设有光路调整件
。
[0006]进一步，所述物镜头通过卡槽可拆卸的固定在物镜筒底部，所述物镜头内部的光路调整件为菱形棱镜，通过菱形棱镜的两次偏折完成光路的平形偏移
。
[0007]进一步，所述物镜筒内部设置有由多个玻璃镜组成的光路玻璃镜体系统，各玻璃镜之间通过物镜隔圈固定，物镜筒的光路出口处还设有固定光路玻璃镜体系统的物镜压母
。
[0008]进一步，所述物镜转塔为圆形球面结构，在物镜转塔为圆形球面的虚拟圆环上等距的设置有内扩物镜机构和多个不同焦距的物镜
。
[0009]进一步，所述物镜转塔包括与塔连接筒固定连接的环形滑轨和承载物镜的转盘，所述转盘通过环形滑轨做圆周运动，从而依次切换所述转盘上的内扩物镜机构
、
多个物镜和转塔连接筒的配合
。
[0010]进一步，所述环形滑轨设置有定位槽，所述转盘设有和定位槽配合的弹性凸起，使
得物镜与转塔连接筒的配合更加精准
。
[0011]与现有技术相比，根据本申请第一方面的内扩转塔物镜机构，至少具有如下有益效果：
[0012]本申请解决了接触
、
接近式曝光机用双目分离视场显微镜无法切换物镜的问题，并且为接触
、
接近式曝光机提供了曝光更小尺寸基片的对准条件，达到了对较小基片的对准功能需求
。
[0013]第二方面，本申请提供了一种分离视场显微镜，包括上述所述的内扩转塔物镜机构，所述内扩转塔物镜机构为两个，对称设置在显微镜物镜座底部中轴线两侧
。
[0014]进一步，还包括设置在显微镜物镜座侧壁上的照明机构，所述照明机构包括与显微镜物镜座连接的照明镜座，照明镜座远离显微镜物镜座的一端连接有照明盖板，照明盖板上端设置有光纤座
。
[0015]进一步，照明镜座内部为中空结构，在靠近显微镜物镜座的一端依次设置有照明压母
、
照明光路玻璃镜体系统和滤光片，照明光路玻璃镜体系统的各玻璃镜中间通过照明隔圈固定
。
[0016]根据本申请第二方面的分离视场显微镜，至少具有如下有益效果：本申请的分离视场显微镜本优化了照明系统，实现对转塔物镜机构的最佳照明，可以适用因物镜转塔机构而提升的显微镜物镜的工作距离，实现更好的照明效果
。
通过将照明光纤头插入光纤座，照亮显微镜光路并最终实现照明光通过物镜照亮需求的明场对准
。
附图说明
[0017]图1是本专利技术的转塔物镜机构示意图；
[0018]图2是本专利技术的转塔物镜机构剖视图；
[0019]图3是本专利技术的内扩物镜机构；
[0020]图4是本专利技术的分离视场显微镜结构示意图；
[0021]图5是本专利技术的物镜转塔用显微镜照明机构示意图；
[0022]图6是本专利技术的物镜转塔用显微镜照明机构剖视图
。
[0023]图中：
1、
转塔物镜机构；
2、
物镜转塔用显微镜照明机构；
3、
内扩物镜机构；
4、
转塔连接筒；
5、
物镜转塔；
51、
环形滑轨；
52、
转盘；
6、
物镜；
7、
照明镜座；
8、
照明盖板；
9、
光纤座；
10、
照明压母；
11、
照明隔圈；
12、
滤光片；
13、
照明光路玻璃镜体系统；
14、
物镜头；
15、
物镜筒；
16、
物镜压母；
17、
内扩物镜光路玻璃镜体系统；
18、
物镜筒光路出口；
19、
物镜隔圈；
20、
光路调整件；
21、
物镜头光路入口
。
具体实施方式
[0024]为使本申请的上述目的
、
特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明
。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请
。
但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制
。
[0025]如图1‑4所示，一种内扩转塔物镜机构，包括转塔连接筒4，转塔连接筒4顶部设有外螺纹，并通过外螺纹与显微镜物镜座底部的螺孔固定连接；转塔连接筒4底部与转塔物镜
机构1固定连接
。
转塔物镜机构1包括物镜转塔5和设置在物镜转塔5上的物镜
6、
内扩物镜机构3，转塔连接筒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种内扩转塔物镜机构，其特征在于，包括连接物镜转塔机构与显微镜物镜座的转塔连接筒
(4)
，所述转塔连接筒
(4)
底部连接有转塔物镜机构
(1)
，所述转塔物镜机构
(1)
包括物镜转塔
(5)
和设置在物镜转塔
(5)
上的物镜
(6)、
内扩物镜机构
(3)
，通过旋转转塔物镜机构
(1)
依次切换物镜
(6)、
内扩物镜机构
(3)
与转塔连接筒的配合；所述内扩物镜机构
(3)
包括物镜筒
(15)
和设置在物镜筒
(15)
底部的物镜头
(14)
，所述物镜头
(14)
的光路入口
(21)
偏置在物镜筒
(15)
中轴线的内侧，所述物镜头
(14)
内部设有光路调整件
(20)。2.
根据权利要求1所述的内扩转塔物镜机构，其特征在于，所述物镜头
(14)
通过卡槽可拆卸的固定在物镜筒
(15)
底部，所述物镜头
(14)
内部的光路调整件
(20)
为菱形棱镜，通过菱形棱镜的两次偏折完成光路的平形偏移
。3.
根据权利要求1所述的内扩转塔物镜机构，其特征在于，所述物镜筒
(15)
内部设置有由多个玻璃镜组成的光路玻璃镜体系统
(17)
，各玻璃镜之间通过物镜隔圈
(19)
固定，物镜筒
(15)
的光路出口
(18)
处还设有固定光路玻璃镜体系统
(17)
的物镜压母
(16)。4.
根据权利要求1所述的内扩转塔物镜机构，其特征在于，所述物镜转塔
(5)
为圆形球面结构，在物镜转塔
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伯汉，刘冰鑫，王振宇，张光楷，周卓跃，
申请(专利权)人：三河建华高科有限责任公司，
类型：发明
国别省市：