【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备
[0001]本专利技术涉及退火脱氧
,具体为一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备
。
技术介绍
[0002]目前基板在进行加工的过程中需要对其进行退火工序,退火是一种金属热处理工艺,指的是将金属缓慢加热到一定温度,保持足够时间,然后以适宜速度冷却
。
目的是降低硬度,改善切削加工性;降低残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向;细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷
。
准确地说,退火是一种对材料的热处理工艺,包括金属材料
、
非金属材料
。
而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同
。
[0003]目前基板加工的腔室内部可能会存在氧气,当设备通过激光对基板表面进行退火加工时,此时氧气对基板表面进行氧化,从而会降低基板的质量或者改变其性质,进而导致基板质量出现问题
。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0005]为了解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,包括箱体,箱门,铰接于所述箱体一端,且所述箱门表面固定安装有观察窗,
X
移动导轨,固定安装于所述箱体内壁,且所述
X
移动导轨顶部固定安装有
Y
移动导轨,放置块,固定安装于所述
Y
移动导轨顶 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,包括箱体
(1)
;箱门
(2)
,铰接于所述箱体
(1)
一端,且所述箱门
(2)
表面固定安装有观察窗;
X
移动导轨
(3)
,固定安装于所述箱体
(1)
内壁,且所述
X
移动导轨
(3)
顶部固定安装有
Y
移动导轨
(4)
;放置块
(5)
,固定安装于所述
Y
移动导轨
(4)
顶部;激光加工装置
(6)
,固定安装于所述箱体
(1)
顶部内壁;其特征在于:所述箱体
(1)
一端固定连接有储气箱
(7)
,所述储气箱
(7)
一端固定连接有出气管
(8)
,所述箱体
(1)
一端固定连接有进气管
(9)
,所述进气管
(9)
外壁固定安装有吸气泵
(10)
,所述箱体
(1)
顶部设有脱氧箱
(11)
,所述脱氧箱
(11)
内部转动连接有第一转轴
(12)
,所述第一转轴
(12)
外壁固定连接有叶轮
(13)
,所述第一转轴
(12)
外壁固定连接有小齿轮
(14)
,所述脱氧箱
(11)
内部转动连接有第二转轴
(15)
,所述第二转轴
(15)
外壁固定连接有大齿轮
(16)
,所述脱氧箱
(11)
内部设有脱氧层
(17)
,所述脱氧层
(17)
外壁固定连接有固定块
(18)
,所述脱氧层
(17)
通过固定块
(18)
与脱氧箱
(11)
固定连接
。2.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,其特征在于:所述
Y
移动导轨
(4)
顶部设有集气箱
(19)
,所述集气箱
(19)
外壁等距固定安装有多个喷头
(20)
,所述集气箱
(19)
两端对称固定连接有两个支撑杆
(21)
,所述集气箱
(19)
通过支撑杆
(21)
与
Y
移动导轨
(4)
固定连接,所述出气管
(8)
一端固定连接有软管
(22)
,所述软管
(22)
与集气箱
(19)
固定连接,所述软管
(22)
与集气箱
(19)
相连通,所述出气管
(8)
外壁固定安装有阀门
(23)。3.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,其特征在于:所述进气管
(9)
另一端与脱氧箱
(11)
固定连接,所述进气管
(9)
另一端朝向叶轮
(13)
,所述脱氧箱
(11)
远离进气管
(9)
的一端固定连接有连通管
(24)
,所述连通管
(24)
另一端与储气箱
(7)
固定连接,所述储气箱
(7)
内部填充有惰性气体,所述连通管
(24)
外壁固定安装有单向进气阀
(25)。4.
根据权利要求1所述的一种准分子激光退火工序用便于脱氧的设备,其特征在于:所述固定块
(18)
内部开设有第一通槽
(26)
,所述固定块
(18)
内部开设有第一安装槽
(27)
,所述第一通槽
(26)
与第一安装槽
(27)
相连通,所述第一安装槽
(27)
内部设有挡板
(28)
,所述挡板
(28)
表面开设有第二通槽
(29)
,所述大齿轮
(16)
底部固定连接有挤压块
(30)
,所述挡板
(28)
一端贯穿且延伸至第一安装槽
(27)
外部,所述挡板
(28)
一端为弧形,所述挤压块
(30)
与挡板
(28)
...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱汪龙,朱玲,李磊,李耘,
申请(专利权)人:江苏先进技电半导体设备有限公司,
类型:发明
国别省市:
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