接触式探针的触针制造技术

本公开说明一种接触式探针的触针，其强度优良且能够测量复杂形状的加工产品。接触式探针的触针具备：基端部，其呈沿着规定的第一方向延伸的柱形状；以及前端部，其连接于基端部。前端部呈随着从基端部朝向前端部的前端侧而尺寸收缩的三棱柱形状，包含：沿着第一方向延伸的第一主面、在与第一方向正交的第二方向上位于第一主面的相反侧且相对于第一方向倾斜延伸的第二主面、以及位于前端的触头。第一主面与第二主面所成的倾斜角是锐角。关于触头的表面，当从与第一方向及第二方向双方正交的第三方向观察时呈圆弧状。触头中的第一主面侧的部分相对于第一主面而言向从第二主面朝向第一主面的方向突出。一主面的方向突出。一主面的方向突出。

【技术实现步骤摘要】
接触式探针的触针


[0001]本公开涉及一种接触式探针的触针。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了一种用于测量利用机床加工的加工产品的形状及尺寸的探测装置。该装置具备：触针，其构成为与加工产品的表面接触来测量加工产品；以及输送装置，其构成为保持触针并使其移动。在触针的前端设置有大致球形状的触头(前端尖头)。输送装置使触针接近加工产品，获取触头与加工产品接触时的位置，从而测量加工产品的形状及尺寸。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2021
‑
181132号公报

技术实现思路

(一)要解决的技术问题
[0004]本公开说明一种接触式探针的触针，其强度优良且能够测量复杂形状的加工产品。(二)技术方案
[0005]接触式探针的触针的一例具备：基端部，其呈沿着规定的第一方向延伸的柱形状；以及前端部，其连接于基端部。前端部呈随着从基端部朝向前端部的前端侧而尺寸收缩的三棱柱形状，且包含：沿着第一方向延伸的第一主面、在与第一方向正交的第二方向上位于第一主面的相反侧且相对于第一方向倾斜延伸的第二主面、以及位于前端的触头。第一主面与第二主面所成的倾斜角是锐角。当从与第一方向及第二方向双方正交的第三方向观察时，触头的表面呈圆弧状。触头中的第一主面侧的部分相对于第一主面而言向从第二主面朝向第一主面的方向突出。(三)有益效果
[0006]根据本公开的接触式探针的触针，强度优良且能够测量复杂形状的加工产品。
附图说明
[0007]图1是表示加工装置一例的立体图。图2是从背面侧观察接触式探针的触针一例的立体图。图3是从正面侧观察图2的触针的立体图。图4是沿着图2的IV－IV线的局部剖视图。图5是表示接触式探针的触针测量加工产品时的、触针前端的移动轨迹一例的图。
具体实施方式
[0008]在以下的说明中，对于相同要素或者具有相同功能的要素使用相同的附图标记，省略重复说明。在本说明书中，提及图中的上、下、右、左时以图中的附图标记的朝向为基准。在图1中例示了由X轴、Y轴以及Z轴规定的正交座标系。在该正交座标系中，Y轴铅垂向上(第一方向)延伸，X轴以与Y轴正交的方式沿水平方向(第二方向)延伸，Z轴以与X轴及Y轴双方正交的方式沿水平方向(第三方向)延伸。
[0009](加工装置的结构)首先，参照图1，对装设有接触式探针10的加工装置1进行说明。加工装置1具有：对加工对象物W(例如金属制的块等)进行加工的功能、和测量对加工对象物W进行加工所得到的加工产品P的形状及尺寸的功能。加工产品P例如可以是模具部件。该模具部件例如可以是构成冲裁装置的部件，所述冲裁装置对片状的母材(金属板等)进行冲裁。加工产品P的形状例如可以是长方体形状、圆柱形状、多棱柱形状、其他的异型形状。
[0010]如图1所示，加工装置1具备：基座单元2、加工单元3、测量单元4、显示器5、以及控制器Ctr(控制部)。加工装置1可以还具备框体(未图示)，该框体构成为能够收纳上述各部的一部分或全部。
[0011]基座单元2包含：基座2a、引导机构2b、载置台2c。基座2a构成为从下侧支撑引导机构2b及载置台2c。引导机构2b安装于基座2a上。引导机构2b例如可以是线性致动器。引导机构2b例如可以包含导轨2d、块(未图示)。该块可以构成为，能够基于来自控制器Ctr的指示沿着导轨2d(Z轴)往复移动。
[0012]载置台2c构成为对上表面(载置面)载置的加工对象物W或加工产品P进行吸附保持。载置台2c例如可以是磁力吸盘，也可以是真空吸盘。载置台2c至少可以保持一个加工对象物W或加工产品P，也可以保持多个加工对象物W或加工产品P。载置台2c可以连接于引导机构2b的块。因此，当块沿着导轨2d往复移动时，保持于载置台2c的加工对象物W或加工产品P也一起沿着导轨2d(Z轴)往复移动。
[0013]加工单元3具有如下功能，即：对加工对象物W进行加工以使得加工对象物W成为规定形状的加工产品P。加工单元3可以配置于基座单元2的上方。加工单元3包含：工具3a、轴3b、罩盖部件3c、驱动机构3d。
[0014]工具3a构成为以与加工对象物W接触的状态对加工对象物W进行加工。例如，在加工装置1是磨削装置的情况下，工具3a可以是对加工对象物W进行磨削加工的砂轮。该砂轮例如可以是在旋转轮上设置有磨粒层的磨轮等。该磨轮的形状例如可以是在JIS B4141：1998中规定的形状记号“4B2”(所谓的单V面)(参照图1)，也可以是“1EE1”(所谓的V面)。对于该磨轮的前端直径而言，当用于精加工时例如可以是30μm～60μm的程度，当用于粗加工时可以是50μm～200μm的程度。该磨轮的前端角度例如可以是10
°
～40
°
的程度。
[0015]轴3b沿着X轴延伸。在轴3b的一端安装有工具3a。轴3b的中心轴与工具3a的中心轴可以大致一致。在轴3b的另一端安装有驱动机构3d。
[0016]罩盖部件3c构成为可抑制当利用工具3a对加工对象物W进行加工时产生的切屑、粉尘向周围飞散。罩盖部件3c以覆盖工具3a的周围的方式经由板3e安装于驱动机构3d。如图1例示的那样，罩盖部件3c可以包含：背板，其覆盖工具3a的背面；以及一对侧板，其分别覆盖工具3a的各侧面，当从Y轴方向观察时，罩盖部件3c呈大致C字形状。在罩盖部件3c及板
3e上可以设置有轴3b能够插通的贯通孔或者缺口部。
[0017]驱动机构3d构成为基于来自控制器Ctr的指示而支撑轴3b并使其旋转。伴随着轴3b的旋转，工具3a也以轴3b的中心轴为旋转轴进行旋转。驱动机构3d构成为基于来自控制器Ctr的指示而使轴3b及罩盖部件3c沿Y轴上下运动。此时，安装于轴3b的工具3a也一起沿上下方向往复移动。驱动机构3d构成为基于来自控制器Ctr的指示而使轴3b及罩盖部件3c沿X轴进退。此时，安装于轴3b的工具3a也一起在水平方向上往复移动。对于利用驱动机构3d进行的轴3b、罩盖部件3c的动作时机、动作速度、轴3b的转速等，例如可以根据控制器Ctr所存储的加工产品P的设计数据(例如，CAD数据等)来进行设定。
[0018]测量单元4构成为测量：利用加工单元3进行加工的加工对象物W即加工产品P的形状及尺寸。测量单元4包含：支撑部件4a、接触式探针10。
[0019]支撑部件4a安装于板3e。这样在刚性比较高的板3e上设置支撑部件4a，从而使振动不易向支撑部件4a传递，因此提高了测量单元4的测量精度。如图1例示的那样，支撑部件4a可以在罩盖部件3c的侧方相邻设置。支撑部件4a以悬挂接触式探针10的状态进行支撑。因此，接触式探针10位于载置台2c的上方。
[0020]支撑部件4a可以构成为，包含未图示的驱动机构，并基于来自控制器Ctr的指示，使接触式探针10上下运动。支撑部件4a例如可以当利用加工单元3对加工对象物W进行加工时使接触式探针10上升，当不是利用加工单元3对加工对象物本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接触式探针的触针，具备：基端部，其呈沿着规定的第一方向延伸的柱形状；以及前端部，其连接于所述基端部，所述前端部呈随着从所述基端部朝向所述前端部的前端侧而尺寸收缩的三棱柱形状，且包含：沿着所述第一方向延伸的第一主面、在与所述第一方向正交的第二方向上位于所述第一主面的相反侧且相对于所述第一方向倾斜延伸的第二主面、以及位于前端的触头，所述第一主面与所述第二主面所成的倾斜角是锐角，当从与所述第一方向及所述第二方向双方正交的第三方向观察时，所述触头的表面呈圆弧状，所述触头中的所述第一主面侧的部分相对于所述第一主面而言向从所述第二主面朝向所述第一主面的方向突出。2.根据权利要求1所述的触针，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：永田淳士，
申请(专利权)人：株式会社三井高科技，
类型：发明
国别省市：