晶圆不良品分拣机制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆不良品分拣机，实现对晶圆上不良品的自动挑拣，操作更加方便，有效提升了工作效率，减少人工参与操作，减少对晶圆上晶粒不必要的损伤；具体的，通过输送组件将装载有晶圆的晶圆工装盘输送至加工位置，传动组件驱动吸嘴竖直方向上运动对上一工序已标记的晶圆上的不良品进行及时吸取去除；吸嘴将不良品吸取后放置在废料道上，然后通过废料箱对不良品进行集中收集

【技术实现步骤摘要】
晶圆不良品分拣机


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体涉及一种晶圆不良品分拣机
。

技术介绍

[0002]半导体晶圆生产过程中，晶圆是经过划片切割点测等工序后的成品，在加工过程中晶圆上会有少量的不良品，因此晶圆切割完成后需要对不良品进行挑除以保证整体的良品率
。
目前在不良品去除时，一般会在点测工序时对不良品进行打点处理或在不良品位置喷涂磁粉
、
喷涂其他的颜色等操作，方便人工挑拣，但是由于晶粒点位较小，人工去除的方式需要消耗较长的时间且操作难度较大，工作效率较低
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆不良品分拣机，以解决上述
技术介绍
中存在的现有技术问题
。
[0004]为解决上述的技术问题，本技术提供的技术方案为：提供了一种晶圆不良品分拣机，包括机架和承载台，所述承载台设置在机架上，还包括吸嘴以及传动组件，所述吸嘴设置在承载台上方且通过传动组件驱动在竖直方向上运动，所述吸嘴通过气管连接有气源
。
[0005]在上述技术方案基础上，所述吸嘴设置有多个且多个吸嘴之间相互独立设置
。
[0006]在上述技术方案基础上，所述传动组件包括传动电机
、
传动皮带
、
第一主动轮
、
第一从动轮
、
安装块以及吸嘴连接件，所述传动电机驱动第一主动轮转动，所述第一从动轮通过传动皮带由第一主动轮驱动转动，所述安装块固定设置在传动皮带上，所述吸嘴连接件固定设置在安装块上，所述吸嘴固定设置在吸嘴连接件的底端
。
[0007]在上述技术方案基础上，还包括
x
轴驱动组件以及
y
轴驱动组件，驱动吸嘴在
x
轴
、y
轴方向的运动；所述
x
轴驱动组件包括
x
轴电机
、x
轴丝杠以及
x
轴螺母，所述
x
轴电机设置在机架上，所述
x
轴丝杠由
x
轴电机驱动与机架转动连接，所述
x
轴螺母套设在
x
轴丝杠上且滑动连接；所述
y
轴驱动组件与
x
轴驱动组件结构组成相同，所述
y
轴驱动组件的
y
轴电机设置在
x
轴螺母上，所述传动组件设置在
y
轴驱动组件的
y
轴螺母上
。
[0008]在上述技术方案基础上，还包括视觉相机，所述视觉相机固定设置在
y
轴螺母上且位于传动组件的一侧
。
[0009]在上述技术方案基础上，所述承载台下方设置有支撑板，所述支撑板与承载台之间设置有自找正组件，所述自找正组件包括轴套
、
导柱以及弹簧，所述轴套固定设置在支撑板上且设置有多个，所述支撑板设置在机架上，所述导柱一端设置在承载台底端，另一端设置在轴套内且之间设置有间隙，所述弹簧套设在导柱上且一端固定设置在承载台底端，另一端固定设置在轴套上
。
[0010]在上述技术方案基础上，所述支撑板与机架之间设置有升降机构，所述支撑板固定设置在升降机构的输出端
。
[0011]在上述技术方案基础上，还包括输送组件，所述输送组件包括输送电机
、
输送带
、
第二主动轮以及第二从动轮，所述输送电机设置在机架上，所述第二主动轮由输送电机驱动转动，所述第二从动轮通过输送带由第二主动轮驱动转动
。
[0012]在上述技术方案基础上，所述输送组件对称设置有两组且均通过安装架设置在机架上，所述安装架上设置有多个定位压件
。
[0013]在上述技术方案基础上，所述安装架之间上还设置有调节组件，所述调节组件包括驱动机构以及螺母丝杠副，所述驱动机构设置在一侧安装架上且驱动螺母丝杠副中的丝杠转动，另一侧安装架固定设置在螺母丝杠副的螺母上
。
[0014]本技术提供的技术方案产生的有益效果在于：
[0015]1、
本技术中提供了一种晶圆不良品分拣机，实现对晶圆上不良品的自动挑拣，操作更加方便，有效提升了工作效率，减少人工参与操作，减少对晶圆上晶粒不必要的损伤；具体的，通过输送组件将装载有晶圆的晶圆工装盘输送至加工位置，传动组件驱动吸嘴竖直方向上运动对上一工序已标记的晶圆上的不良品进行及时吸取去除；吸嘴将不良品吸取后放置在废料道上，然后通过废料箱对不良品进行集中收集
。
[0016]2、
通过在机架上设置有多个相互独立的吸嘴，同时每个吸嘴连接有独立的气路并设置有各自的传动组件，也即使用过程中可以单独地控制每个吸嘴进行动作，对特定位置的不良品进行吸取，提升工作效率的同时还可以减少多个吸嘴共同动作造成的浪费，使用更加方便
。
附图说明
[0017]图1是本技术的立体结构示意图；
[0018]图2是本技术另一角度的立体结构示意图；
[0019]图3是本技术中传动组件与吸嘴的结构示意图；
[0020]图4是本技术中传动组件
、x
轴驱动组件以及
y
轴驱动组件的立体结构示意图；
[0021]图5是本技术中输送组件的立体结构示意图；
[0022]图6是本技术中输送组件另一角度的立体结构示意图；
[0023]图7是本技术中自找正组件的结构示意图；
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明：
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、
等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
[0027]如图1至图7所示，晶圆不良品分拣机于，包括机架1和承载台
12
，所述承载台
12
设置在机架1上，还包括吸嘴3以及传动组件4，所述吸嘴3设置在承载台
12
上方且通过传动组件4驱动在竖直方向上运动，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆不良品分拣机，包括机架
(1)
和承载台
(12)
，所述承载台
(12)
设置在机架
(1)
上，其特征在于，还包括吸嘴
(3)
以及传动组件
(4)
，所述吸嘴
(3)
设置在承载台
(12)
上方且通过传动组件
(4)
驱动在竖直方向上运动，所述吸嘴
(3)
通过气管连接有气源
。2.
根据权利要求1所述的晶圆不良品分拣机，其特征在于，所述吸嘴
(3)
设置有多个且多个吸嘴
(3)
之间相互独立设置
。3.
根据权利要求1所述的晶圆不良品分拣机，其特征在于，所述传动组件
(4)
包括传动电机
(41)、
传动皮带
(42)、
第一主动轮
(43)、
第一从动轮
(44)、
安装块
(45)
以及吸嘴连接件
(46)
，所述传动电机
(41)
驱动第一主动轮
(43)
转动，所述第一从动轮
(44)
通过传动皮带
(42)
由第一主动轮
(43)
驱动转动，所述安装块
(45)
固定设置在传动皮带
(42)
上，所述吸嘴连接件
(46)
固定设置在安装块
(45)
上，所述吸嘴
(3)
固定设置在吸嘴连接件
(46)
的底端
。4.
根据权利要求1所述的晶圆不良品分拣机，其特征在于，还包括
x
轴驱动组件
(8)
以及
y
轴驱动组件
(9)
，驱动吸嘴
(3)
在
x
轴
、y
轴方向的运动；所述
x
轴驱动组件
(8)
包括
x
轴电机
(81)、x
轴丝杠
(82)
以及
x
轴螺母
(83)
，所述
x
轴电机
(81)
设置在机架
(1)
上，所述
x
轴丝杠
(82)
由
x
轴电机
(81)
驱动与机架
(1)
转动连接，所述
x
轴螺母
(83)
套设在
x
轴丝杠
(82)
上且滑动连接；所述
y
轴驱动组件
(9)
与
x
轴驱动组件
(8)
结构组成相同，所述
y
轴驱动组件
(9)
的
y
轴电机
(91)
设置在
x
轴螺母
(83)
上，所述传动组件
(4)
设置在
y
轴驱动组件
(9)
的<...

【专利技术属性】
技术研发人员：任培玉，李一丁，王希远，赵龙龙，蓝海唐，
申请(专利权)人：中特科技青岛股份有限公司，
类型：新型
国别省市：