一种均匀冷却靶材的冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种均匀冷却靶材的冷却装置，属于靶材冷却装置技术领域，包括第一冷却组件和第二冷却组件，所述第一冷却组件与第二冷却组件围设形成浇铸腔，所述第一冷却组件的底部安装有支撑件，所述支撑件的底部安装有底板，所述第一冷却组件中开设有位于浇铸腔底部的第一空腔，所述第二空腔与第一空腔接通，所述第一冷却组件上安装有进水管，所述第二冷却组件上安装有出水管，所述浇铸腔和底板上安装有用于方便将浇铸腔内高温金属熔体冷却凝固成的靶材取出的脱模组件

【技术实现步骤摘要】
一种均匀冷却靶材的冷却装置


[0001]本技术属于靶材冷却装置
，具体涉及一种均匀冷却靶材的冷却装置
。

技术介绍

[0002]溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜
。
在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，对浇铸的靶材进行冷却使其成型，以备后续的使用
。
[0003]现有技术
CN218089769U
公开一种靶材冷却装置，包括冷却组件，所述冷却组件包括第一冷却组件和第二冷却组件，所述第二冷却组件设有贯穿其上端和下端的腔体，所述第一冷却组件连接于所述第二冷却组件的下端，且所述第一冷却组件与所述第二冷却组件围设形成底部密封
、
上端开口的浇铸腔；其中，所述第一冷却组件内设有设于所述浇铸腔底部的第一中空腔体，所述第一冷却组件设有与所述第一中空腔体相连通的第一冷却介质入口和第一冷却介质出口；所述第二冷却组件内设有围绕所述浇铸腔设置的第二中空腔体，所述第二冷却组件设有与所述第二中空腔体相连通的第二冷却介质入口和第二冷却介质出口
。
[0004]当高温金属熔体被浇铸到浇铸腔中，该装置通过向第一中空腔体
、
第二中空腔体中均通入冷却介质，从而对金属熔体的底部
、
侧部进行冷却，但是该装置的第一中空腔体
、
第二中空腔体中通入冷却介质后，冷却介质吸收高温金属熔体的热量导致冷却介质的温度升高，使得冷却介质对金属熔体的冷却速度越来越慢，冷却时间较长，同时，当高温金属熔体在浇铸腔中冷却凝固成靶材后，由于浇铸腔底部密封
、
上端开口，该装置无法快速将靶材从浇铸腔中取出，使用不方便，实用性低
。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种均匀冷却靶材的冷却装置，其目的在于解决现有的靶材冷却装置中冷却介质吸收高温金属熔体的热量导致冷却介质温度升高，使得冷却介质对金属熔体的冷却速度越来越慢，冷却时间较长，同时，当高温金属熔体在浇铸腔中冷却凝固成靶材后，该装置无法快速将靶材从浇铸腔中取出，使用不方便，实用性低的问题
。
[0006]本技术实施例提供了一种均匀冷却靶材的冷却装置，包括第一冷却组件和第二冷却组件，所述第一冷却组件固定连接于第二冷却组件的下端，所述第一冷却组件与第二冷却组件围设形成上端开口
、
底部边缘密封的浇铸腔，所述第一冷却组件的底部安装有支撑件，所述支撑件的底部安装有底板，所述第一冷却组件中开设有位于浇铸腔底部的第一空腔，所述第二冷却组件中开设有围绕浇铸腔设置的第二空腔，所述第二空腔与第一空腔接通，所述第一冷却组件上安装有进水管，所述进水管的一端与第一空腔接通，所述第二
冷却组件上安装有出水管，所述出水管的一端与第二空腔接通，所述进水管的另一端与出水管的另一端通过循环冷却组件相连，所述浇铸腔和底板上安装有用于方便将浇铸腔内高温金属熔体冷却凝固成的靶材取出的脱模组件
。
[0007]进一步地，所述出水管一端的端口与第二空腔的顶壁齐平
。
[0008]通过采用上述技术方案，确保第一空腔和第二空腔内的冷却液充分流动，有利于对高温金属熔体均匀冷却
。
[0009]进一步地，所述循环冷却组件包括设置在支撑件一侧的冷却箱和固定安装在所述冷却箱内的制冷机，所述冷却箱的底部与底板固定连接，所述冷却箱的侧壁上安装有水泵，所述水泵的出水端与进水管的另一端接通，所述水泵的吸水端接通有吸水管，所述吸水管另一端的端口和出水管另一端的端口均密封并延伸至冷却箱的内部，所述吸水管和出水管之间通过若干个均匀设置的冷却管接通，所述第一空腔
、
第二空腔
、
进水管
、
出水管
、
吸水管和冷却管中注满有冷却液，所述冷却管上套设有螺旋管，所述吸水管上安设有进气管，所述进气管与制冷机的冷气输出端接通，所述出水管上安设有出气管，所述出气管上开设有出气孔，所述螺旋管的两头分别与进气管和出气管接通
。
[0010]通过采用上述技术方案，当需要对浇铸到浇铸腔中的高温金属熔体进行冷却时，启动水泵和制冷机，水泵带动第一空腔
、
第二空腔
、
进水管
、
出水管
、
吸水管和冷却管中的冷却液循环流动，冷却液吸收高温金属熔体的热量，从而对高温金属熔体进行均匀冷却，此时冷却液温度上升，制冷机工作输出的冷气进入进气管，再流入螺旋管，螺旋管内的冷气对经过冷却管的冷却液进行降温，最终从出气孔排出，随着水泵和制冷机的持续工作，降温后的冷却液再次进入第一空腔和第二空腔对高温金属熔体进行均匀冷却，并按照上述过程循环往复，实现对高温金属熔体的快速
、
均匀冷却
。
[0011]进一步地，所述冷却箱左右两侧壁对应制冷机处开设有若干个散热孔
。
[0012]通过采用上述技术方案，实现对制冷机通风散热，防止制冷机损坏
。
[0013]进一步地，所述浇铸腔的底壁面上均匀开设有若干个第一通孔，所述第一通孔与第一空腔对应处安装有适配的密封套，所述支撑件与第一通孔对应处开设有若干个第二通孔
。
[0014]通过采用上述技术方案，实现滑动杆的稳定活动，同时密封套的设置有效防止第一空腔内冷却液发生渗漏
。
[0015]进一步地，所述脱模组件包括若干个滑动安装在所述第一通孔和密封套内的滑动杆和固定安装在底板上的电动推杆，所述滑动杆的外周面与第一通孔和密封套的内周面接触，且所述滑动杆的上端面与浇铸腔的底壁面齐平，所述滑动杆的底端穿过第二通孔并固定连接有滑动板，所述电动推杆输出端的上端面与滑动板下端面的中心位置固定连接
。
[0016]通过采用上述技术方案，高温金属熔体冷却凝固成靶材后，当需要将靶材从浇铸腔内取出时，启动电动推杆，电动推杆的输出端带动滑动板和滑动杆上移，进而带动靶材上移，靶材的底端上移至浇铸腔的上端时便可取下靶材，实现靶材从浇铸腔中快速取出，使用方便，实用性高
。
[0017]本技术的有益效果为：
[0018]1、
本技术通过设置循环冷却组件，当需要对浇铸到浇铸腔中的高温金属熔体进行冷却时，启动水泵和制冷机，水泵带动第一空腔
、
第二空腔
、
进水管
、
出水管
、
吸水管和
接通，第一冷却组件1上安装有进水管7，进水管7的一端与第一空腔5接通，第二冷却组件2上安装有出水管8，出水管8的一端与第二空腔6接通，出水管8一端的端口与第二空腔6的顶壁齐平，确保第一空腔5和第二空腔6内的冷却液充分流动，有利于对高温金本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种均匀冷却靶材的冷却装置，其特征在于，包括第一冷却组件
(1)
和第二冷却组件
(2)
，所述第一冷却组件
(1)
固定连接于第二冷却组件
(2)
的下端，所述第一冷却组件
(1)
与第二冷却组件
(2)
围设形成上端开口
、
底部边缘密封的浇铸腔
(3)
，所述第一冷却组件
(1)
的底部安装有支撑件
(4)
，所述支撑件
(4)
的底部安装有底板
(11)
，所述第一冷却组件
(1)
中开设有位于浇铸腔
(3)
底部的第一空腔
(5)
，所述第二冷却组件
(2)
中开设有围绕浇铸腔
(3)
设置的第二空腔
(6)
，所述第二空腔
(6)
与第一空腔
(5)
接通，所述第一冷却组件
(1)
上安装有进水管
(7)
，所述进水管
(7)
的一端与第一空腔
(5)
接通，所述第二冷却组件
(2)
上安装有出水管
(8)
，所述出水管
(8)
的一端与第二空腔
(6)
接通，所述进水管
(7)
的另一端与出水管
(8)
的另一端通过循环冷却组件
(9)
相连，所述浇铸腔
(3)
和底板
(11)
上安装有用于方便将浇铸腔
(3)
内高温金属熔体冷却凝固成的靶材取出的脱模组件
(10)。2.
根据权利要求1所述的一种均匀冷却靶材的冷却装置，其特征在于：所述出水管
(8)
一端的端口与第二空腔
(6)
的顶壁齐平
。3.
根据权利要求2所述的一种均匀冷却靶材的冷却装置，其特征在于：所述循环冷却组件
(9)
包括设置在支撑件
(4)
一侧的冷却箱
(901)
和固定安装在所述冷却箱
(901)
内的制冷机
(902)
，所述冷却箱
(901)
的底部与底板
(11)
固定连接，所述冷却箱
(901)
的侧壁上安装有水泵
(903)
，所述水泵
(903)
的出水端与进水管
(7)
的另一端接通，所述水泵
(903)
的吸水端接通有吸水管
(904)
，所述吸水管
(904)
另一端的端口和出水管
(8)
另一端的端口均密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，扈百直，马贺，孔磊，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：