一种气密性检测试验夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气密性检测试验夹具，属于金属外壳气密性检测相关技术领域，其包括基座

【技术实现步骤摘要】
一种气密性检测试验夹具


[0001]本技术涉及金属外壳气密性检测相关
，尤其涉及一种气密性检测试验夹具
。

技术介绍

[0002]高可靠微电子器件和半导体器件多采用可伐合金
、
钨铜合金
、
陶瓷
‑
金属一体化外壳进行气密性封装
。
特别是在具有内空腔的金属外壳制作过程中，涉及到可伐合金引线（外引线）和金属壳体的匹配封接
。
该工艺技术大多采用高硅硼硬玻璃在高温惰性或微氧化气氛中熔融
‑
再凝固，进而将外引线与金属外壳熔封在一起
。
出于高可靠微电子器件和半导体器件对内空腔金属外壳引线玻璃熔封的气密性控制要求，需要按照
GJB548B
‑
2005《
微电子器件试验方法和程序
》
中方法
《1014.2 密封
》
试验条件
A4
的相关要求对未封盖的内空腔金属外壳进行气密性检测
。
[0003]未封盖的内空腔金属外壳气密性检测，是通过示踪气体氦（
He
）进行检漏，所用仪器是氦质谱检漏仪
。
检漏时，需要先把金属外壳采用工装夹具密封在氦质谱检漏仪的真空接头处，再将封装内腔抽真空至小于或等于
0.01kPa。
现有技术中的检漏夹具为不锈钢托盘，外形尺寸
150~200mm
（参考），厚度
10~15mm
（参考），中心的气压通道尺寸为
φ
5~10mm
（参考），配合密封圈
、
真空脂
、
真空液等使用
。
该方式气密性检漏的精度低
、
一致性效果差，生产过程中同一只外壳需要反复检漏确认多次，产品的质量得不到保证
、
一致性差，且真空脂
、
真空液长时间的使用会严重污染损坏氦质谱检漏仪
。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种气密性检测试验夹具，旨在解决上述的技术缺陷
。
[0005]本技术提供的具体技术方案如下：
[0006]本技术提供的一种气密性检测试验夹具包括基座
、
安装在所述基座上的左立柱和右立柱
、
采用螺母固定在所述左立柱和所述右立柱上的支架横板
、
安装在所述支架横板上的施压螺柱
、
位于所述施压螺柱下方的内空腔金属外壳，所述内空腔金属外壳和所述基座之间设置有密封圈，所述基座的中心位置设置有抽气孔，所述基座的下方设置有抽气腔，所述基座的下端设置有连接头
。
[0007]可选的，所述左立柱和所述右立柱采用螺纹连接固定在所述基座上，所述抽气孔和所述抽气腔相互连通
。
[0008]可选的，所述抽气腔经所述抽气孔与所述内空腔金属外壳的内空腔相互连通，所述施压螺柱于所述支架横板之间螺纹连接
。
[0009]可选的，所述左立柱和所述右立柱上设置有凸台，所述支架横板采用螺母配合所述凸台固定在所述左立柱和所述右立柱上，所述施压螺柱的前端抵接在所述内空腔金属外壳上
。
[0010]可选的，所述内空腔金属外壳的中心与所述抽气孔的中心相互重合
。
[0011]本技术具有如下有益技术效果：
[0012]本技术实施例提供一种气密性检测试验夹具包括基座
、
安装在所述基座上的左立柱和右立柱
、
采用螺母固定在所述左立柱和所述右立柱上的支架横板
、
安装在所述支架横板上的施压螺柱
、
位于所述施压螺柱下方的内空腔金属外壳，所述内空腔金属外壳和所述基座之间设置有密封圈，所述基座的中心位置设置有抽气孔，所述基座的下方设置有抽气腔，所述基座的下端设置有连接头，可以用于对未封盖的内空腔金属外壳进行气密性检测，通过设置施压螺柱对内空腔金属外壳均匀施压，在检漏过程中增加其开口处的密封性，提高未封盖内空腔金属外壳检漏的精度，同时避免使用真空脂
、
真空液等，减少对氦质谱检漏仪的损坏风险
。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0014]图1为本技术实施例的一种气密性检测试验夹具的等轴侧结构示意图；
[0015]图2为本技术实施例的一种气密性检测试验夹具的剖视结构示意图
。
具体实施方式
[0016]为了使本技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本技术作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0017]下面将结合图
1~
图2对本技术实施例的一种气密性检测试验夹具进行详细的说明
。
[0018]参考图
1~
图2所示，本技术实施例提供的一种气密性检测试验夹具包括基座
1、
安装在基座1上的左立柱2和右立柱
3、
采用螺母4固定在左立柱2和右立柱3上的支架横板
11、
安装在支架横板
11
上的施压螺柱
5、
位于施压螺柱5下方的内空腔金属外壳6，内空腔金属外壳6和基座1之间设置有密封圈7，基座1的中心位置设置有抽气孔8，基座1的下方设置有抽气腔9，基座1的下端设置有连接头
10。
[0019]参考图
1、
图2所示，左立柱2和右立柱3上设置有凸台，支架横板
11
采用螺母4配合凸台固定在左立柱2和右立柱3上，施压螺柱5的前端抵接在内空腔金属外壳6上，其中，支架横板
11
上设置有螺纹孔，施压螺柱5安装在该螺纹孔内，由于支架横板
11
固定挂在左立柱2和右立柱3上，进而通过旋转施压螺柱5可以实现施压螺柱5相对支架横板
11
向上或向下运动，进而改变施压螺柱5的前端施加在内空腔金属外壳6上的作用力
。
[0020]参考图
1、
图2所示，左立柱2和右立柱3采用螺纹连接固定在基座1上，抽气孔8和抽气腔9相互连通
。
抽气腔9经抽气孔8与内空腔金属外壳6的内空腔相互连通，内空腔金属外壳6的中心与抽气孔8的中心相互重合，通过将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种气密性检测试验夹具，其特征在于，所述气密性检测试验夹具包括基座
、
安装在所述基座上的左立柱和右立柱
、
采用螺母固定在所述左立柱和所述右立柱上的支架横板
、
安装在所述支架横板上的施压螺柱
、
位于所述施压螺柱下方的内空腔金属外壳，所述内空腔金属外壳和所述基座之间设置有密封圈，所述基座的中心位置设置有抽气孔，所述基座的下方设置有抽气腔，所述基座的下端设置有连接头
。2.
根据权利要求1所述的气密性检测试验夹具，其特征在于，所述左立柱和所述右立柱采用螺纹连接固定在所述基座...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉达，荣振昭，李开岭，于海淼，罗家栋，徐可，邓昌雪，高靖，
申请(专利权)人：青岛智腾微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：