连续电解法制备三氟化氮工艺及设备制造技术

技术编号:3970495 阅读:552 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种连续电解法制备三氟化氮工艺及设备,以熔融的NH3(HF)X或加入少量NaF、KF、CsF或LiF中的一种或几种为电解质体系,连续或间歇通入无水HF和NH3以补充电解液以及调节其熔盐比;电解槽(1)电解产生的阳极粗品进入热解器(2),除去NxFy等不饱和氟氮化合物;经过热解的NF3粗品进入水洗塔(3),除去一部分从电解槽挥发出来的HF等酸性气体;水洗后的粗品进入碱洗塔(4),进一步除去酸性气体以及一些低氟化物等;碱洗后气体通过水环式真空泵(5),使气体收集于气柜(6)中。该生产工艺连续、安全稳定,常温收集气体降低了NF3的生产成本,为后续电子工业用气体NF3的提纯提供有利条件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种连续电解法制备三氟化氮工艺,以熔融的NH↓[3](HF)↓[x]或加入少量NaF、KF、CsF或LiF中的一种或几种为电解质体系,连续或间歇通入无水HF和NH↓[3]以补充电解液以及调节其熔盐比;电解槽电解产生的阳极粗品进入热解器,除去N↓[x]F↓[y]等不饱和氟氮化合物;经过热解的NF↓[3]粗品进入水洗塔,除去一部分从电解槽挥发出来的HF等酸性气体;水洗后的粗产品气进入碱洗塔,进一步除去酸性气体以及一些低氟化物等;碱洗后气体通过水环式真空泵,使气体收集于气柜中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张景利牛学坤汪建春魏磊王娟王新德赵纪峥高英武张绪瑞赵国辉酒坤
申请(专利权)人:黎明化工研究院
类型:发明
国别省市:41[中国|河南]

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