一种硅棒尺寸自动检测中心制造技术

本发明专利技术公开了一种硅棒尺寸自动检测中心，包括在硅棒加工工位设置的加工检测装置，以及实现硅棒处于加工工位的滑台组件，所述滑台组件的前后端分别设置了上料输送机2和下料输送机5；输送机包括一个升降架

【技术实现步骤摘要】
一种硅棒尺寸自动检测中心


[0001]本专利技术涉及一种硅棒加工技术，更具体地说，涉及硅棒加工或检测时的硅棒在上料
、
加工
、
下料三个工位平台之间的转移机构
。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的发展，硅棒的加工技术日渐成熟，但现有针对硅棒加工，如何实现自动化生产，是一个需要解决的问题
。
尤其硅棒的输送，如何减少硅棒的颠簸；同时在具体加工工位，又能实现静止状态下的具体加工或检测，而同时进行的上料下料，在无需停机状态，持续进行上料和下料操作，最终达到高效生产的需要，是一个需要解决的问题
。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术提供了一种硅棒尺寸自动检测中心，其他改进在于
——
具体加工或检测时硅棒输送方式，具体说，在加工或检测工位，实现硅棒静止状态下的具体加工或检测，与此同时，其他硅棒的上料下料持续进行，在无需停机状态下达到高效生产的需要
。
同时，本专利技术还实现了硅棒在输送平台和检测平台之间的平稳转移
。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种硅棒尺寸自动检测中心，包括硅棒加工工位设置的加工检测装置，以及实现硅棒处于加工工位的滑台组件
。
其中，所述滑台组件的前后端分别设置了上料输送机和下料输送机；所述滑台组件
、
所述上料输送机和所述下料输送机均设置于一个底座上；所述上料输送机和所述下料输送机的原理一致，结构包括：一个升降架
、
在所述升降架两端设置的垂直导轨，以及所述升降架上设置的带传动机构；所述带传动机构包括由驱动电机驱动的主动轮，由所述主动轮带动的从动轮和传送带；其中，所述传送带为在水平面上平行设置的一对，两条所述传送带对应分别设置同步转动的所述主动轮和从动轮；所述升降架配设了升降机构；所述滑台组件包括检测滑台，和驱动所述检测滑台往复移动的驱动机构
。
[0005]其中，所述升降架与两端设置的垂直导轨之间保持一定的横向间隙或弹性，从而当升降架两端升降不同步时，不会因为刚性连接，发生损坏
。
此外，所述检测滑台的台面与所述传送带上表面相当，而所述传送带的高度由所述升降架的升降确定，在工作时，上料机构的传送带，其上的硅棒向检测滑台转移时，通过升降架调整为二者高度一致，从而实现平稳过渡
。
硅棒在下料传送带和检测滑台之间的转移，方式一致，从而达到平稳要求
。
[0006]所述升降架配设的升降机构，可以是任何是驱动架体升降的机构，由于本专利技术升降幅度较小，本专利技术提供了一个优选方式：所述升降架配设的升降机构包括沿所述升降架底部水平导轨滑动的楔形块
、
支撑于所述楔形块底部斜面的滚轮；所述楔形块连接了一个由气缸驱动的气缸拉杆，从而实现在所述水平导轨的滑动
。
[0007]其中，楔形块的滑动方向与所述带传动机构的传动方向一致
。
相应楔形块底部斜面的布置方式，根据需要，设置斜面方向
。
[0008]优选方式下，驱动所述检测滑台往复移动的驱动机构，包括一个用于给所述检测
滑台导向的直线导轨
、
驱动所述检测滑台移动的电机和传动用滚珠丝杠；所述电机配设减速机
。
[0009]优选方式下，所述检测滑台的表面铺设高摩擦系数的材料
。
[0010]优选方式下，所述加工检测装置为硅棒尺寸与精度的自动检测装置，包括由支架支撑由伺服模组驱动由滑台滑轨实现滑动的工业相机或传感器或激光测距设备
。
[0011]优选方式下，所述加工检测装置包括照明光源
。
[0012]本专利技术实现了硅棒尺寸的自动化测量，可以达到无人化操作，提高准确性；可以实现
24
小时连续自动检测，将检查结果上传
MAS
，提高工效，避免了手工输入与差错
。
减少了人工工位，提高了效率
。
本专利技术适用于检测硅棒的端面宽度为
150
～
240
毫米
、
长度
100
～
1000
毫米的范围
。
[0013]具体说，本专利技术最大的有益效果在于
——
具体加工或检测时硅棒输送方式，在加工或检测工位，实现硅棒静止状态下的具体加工或检测，与此同时，其他硅棒的上料下料持续进行，在无需上料和下料机构停机状态下，实现持续生产，达到高效生产的目的
。
同时，本专利技术还实现了硅棒在输送平台和检测平台之间的平稳转移
。
附图说明
[0014]图1是本专利技术硅棒尺寸自动检测中心的立体结构示意图；
[0015]图2是本专利技术硅棒尺寸自动检测中心的主视结构示意图；
[0016]图3是图2所示硅棒尺寸自动检测中心的俯视结构示意图；
[0017]图4是图2所示硅棒尺寸自动检测中心的侧视结构示意图；
[0018]图5是本专利技术硅棒尺寸自动检测中心其中检测滑台部分的结构示意图，其中右侧为剖视图；
[0019]图6是图3中
A
‑
A
向的投影图
[0020]图7是图6部分的俯视结构示意图；
[0021]图8是升降传送机构
(
上
、
下料输送机
)
的结构示意图；
[0022]图9是图8所示升降传送机构的俯视结构示意图；
[0023]图
10
是图8所示升降传送机构的侧视结构示意图；
[0024]图
11
是图8中
B
‑
B
向投影结构示意图
。
[0025]其中，
1.
底座；
2.
上料输送机；
3.
硅棒尺寸与精度的自动检测装置；
4.
检测滑台；5下料输送机；
6.
硅棒
(
被检测工件
)
；
10.
驱动电机；
11.
主动轮；
12.
从动轮；
13、
传送带；
15.
气缸拉杆；
16.
楔形块；
17.
支撑块；
18.
垂直导轨；
19
升降架；
21、
电机；
23.
减速机；
24.
滚珠丝杠；
25.
直线导轨；
63、
滚轮
、64
气缸
。
具体实施方式
[0026]如图1～4，结合图6和7所示，本专利技术硅棒尺寸自动检测中心，包括在硅棒加工工位设置的加工检测装置，以及实现硅棒处于加工工位的滑台组件<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅棒尺寸自动检测中心，包括在硅棒加工工位设置的加工检测装置，以及实现硅棒处于加工工位的滑台组件，其特征在于，所述滑台组件的前后端分别设置了上料输送机
(2)
和下料输送机
(5)
；所述滑台组件
、
所述上料输送机
(2)
和所述下料输送机
(5)
均设置于一个底座
(1)
上；其中，所述上料输送机
(2)
和所述下料输送机
(5)
的原理一致，结构包括：一个升降架
(19)、
在所述升降架
(19)
两端设置的垂直导轨
(18)
，以及所述升降架
(19)
上设置的带传动机构；所述带传动机构包括由驱动电机
(10)
驱动的主动轮
(11)
，由所述主动轮带动的从动轮
(12)
和传送带
(13)
；其中，所述传送带
(13)
为在水平面上平行设置的一对，两条所述传送带
(13)
对应分别设置同步转动的所述主动轮和从动轮
(12)
；所述升降架
(19)
配设了升降机构；所述滑台组件包括检测滑台
(4)
，和驱动所述检测滑台
(4)
往复移动的驱动机构
。2.
根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张天泽，徐亚明，
申请(专利权)人：大连昊霖智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：