单晶炉旋板阀结构及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶制造设备技术领域，具体涉及单晶炉旋板阀结构及单晶炉

【技术实现步骤摘要】
单晶炉旋板阀结构及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶制造设备
，具体涉及单晶炉旋板阀结构及单晶炉
。

技术介绍

[0002]目前，单晶炉上的旋板阀多采用全自动控制开启或关闭，无需人工手动切换，以提高旋板阀的开启或关闭效率
。
具体的，通过气缸直接驱动旋板阀升降以及旋转来打开或关闭旋板阀
。
[0003]上述方式存在以下缺陷：气缸直接驱动阀门升降，使得气缸的提力需要大于旋板阀的重力，则需要选用较大尺寸的驱动气缸，导致占用安装面积及空间
。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的旋板阀驱动气缸尺寸过大
、
占用安装面积及空间的缺陷，从而提供一种省力
、
节省安装面积及空间的单晶炉旋板阀结构及单晶炉
。
[0005]为了解决上述问题，本技术提供了一种单晶炉旋板阀结构，包括：基座；阀盖总成，包括阀轴和盖板，所述阀轴可升降地插接于所述基座内，所述盖板与所述阀轴连接；升降组件，包括升降驱动部和连杆机构，所述升降驱动部设置于所述基座上，所述连杆机构的一端与所述基座铰接，所述连杆机构的另一端与所述升降驱动部传动连接，所述阀轴与所述连杆机构的中部连接，所述中部位于所述连杆机构的所述一端和所述另一端之间
。
[0006]可选的，所述连杆机构包括：连杆，与所述基座铰接；连接头，与所述连杆铰接，所述连接头适于与所述升降驱动部传动配合；升降连接部，与所述连杆和所述阀轴均连接，所述升降连接部位于所述连杆与所述基座的铰接点和所述连接头之间
。
[0007]可选的，所述阀轴的外壁沿周向设有弧形卡槽，所述升降连接部可相对移动地卡接于所述弧形卡槽内
。
[0008]可选的，所述升降连接部为升降滚轮，所述升降滚轮可转动配合于所述弧形卡槽内
。
[0009]可选的，所述连杆为环形杆，所述环形杆套设于所述阀轴的外周，所述环形杆的相对两侧均设有与所述弧形卡槽配合的所述升降连接部
。
[0010]可选的，所述阀盖总成还包括与所述阀轴呈夹角设置的阀杆，所述阀杆连接于所述阀轴和所述盖板之间；所述单晶炉旋板阀结构还包括旋转组件，所述旋转组件与所述阀轴传动连接，以驱动所述阀轴沿自身轴线转动
。
[0011]可选的，所述旋转组件包括：旋转驱动部，设置于所述基座上；旋转凸轮，与所述旋转驱动部传动连接；旋转连接部，与所述旋转凸轮和所述阀轴均连接，所述旋转驱动部能够驱动所述旋转凸轮与所述阀轴一同转动
。
[0012]可选的，所述基座上设有旋转槽，所述旋转凸轮可转动地安装于所述旋转槽内，所述旋转凸轮套设于所述阀轴的外周；所述旋转组件还包括封板，所述封板与所述基座连接，
所述封板与所述旋转凸轮的顶部抵接配合
。
[0013]可选的，所述阀轴的外壁沿轴向设有滑槽，所述旋转连接部可相对移动地卡接于所述滑槽内
。
[0014]可选的，所述旋转连接部为旋转滚轮，所述旋转滚轮可转动配合于所述滑槽内
。
[0015]可选的，所述单晶炉旋板阀结构还包括冷却机构，所述冷却机构包括：进水通路和回水通路，间隔开设于所述阀轴内；进水管和回水管，所述进水管与所述进水通路和所述盖板上的循环冷却通路的入口均连通，所述回水管与所述回水通路和所述循环冷却通路的出口均连通
。
[0016]本技术还提供了一种单晶炉，其包括：炉体，具有开口；本技术的单晶炉旋板阀结构，所述盖板能够盖设于所述开口
。
[0017]本技术具有以下优点：
[0018]1、
本技术的单晶炉旋板阀结构，当盖板需要打开或关闭时，升降驱动部驱动连杆机构绕连杆机构与基座的铰接点转动，连杆机构带动阀轴相对基座上升以带动盖板打开或者带动阀轴相对基座下降以带动盖板关闭，因此，该单晶炉旋板阀结构的阀轴与连杆机构的连接点位于基座与连杆机构的铰接点以及升降驱动部与连杆机构的传动连接点之间，根据力学原理，此处的连杆机构形成省力杠杆结构，从而使得升降驱动部能够通过连杆机构提升起远大于自重的盖板，因此，相比于直接通过升降驱动部驱动盖板升降的方式，本申请驱动更省力
、
可选用较小尺寸的升降驱动部，从而节省占用面积及安装空间，提升结构布置的紧凑性
。
[0019]2、
本技术的单晶炉旋板阀结构，连杆机构包括连杆
、
连接头和升降连接部，连杆与基座铰接，连接头与连杆铰接，连接头适于与升降驱动部传动配合，升降连接部与连杆和阀轴均连接，升降连接部位于连杆与基座的铰接点和连接头之间
。
上述设置，升降连接部与连接头传动配合，从而驱动连杆相对基座转动，同时连接头相对连杆自适应转动，进而带动升降连接部和阀轴一同升降运动，实现盖板的打开或关闭
。
[0020]3、
本技术的单晶炉旋板阀结构，阀轴的外壁沿周向设有弧形卡槽，升降连接部可相对移动地卡接于弧形卡槽内
。
按此设置，升降连接部随连杆升降时，可卡在弧形卡槽内对阀轴进行支撑并带动阀轴升降运动，同时在阀轴需要绕自身轴线旋转时升降连接部可沿弧形卡槽移动，从而使得阀轴得以旋转
、
不影响阀轴的旋转运动
。
[0021]4、
本技术的单晶炉旋板阀结构，升降连接部为升降滚轮，升降滚轮可转动配合于弧形卡槽内，使升降连接部与阀轴之间滚动接触，以减小阀轴的旋转阻力
。
[0022]5、
本技术的单晶炉旋板阀结构，阀盖总成还包括与阀轴呈夹角设置的阀杆，阀杆连接于阀轴和盖板之间，单晶炉旋板阀结构还包括旋转组件，旋转组件与阀轴传动连接，以驱动阀轴沿自身轴线转动
。
在需要将盖板进行水平移动时，旋转组件驱动阀轴沿自身轴线转动，由于阀杆与阀轴呈夹角设置，从而使得盖板能够进行水平移动，即将盖板由原位置挪至旁边实现打开或者将盖板移动复位，实现盖板关闭
。
[0023]6、
本技术的单晶炉旋板阀结构，旋转组件包括旋转驱动部
、
旋转凸轮和旋转连接部，旋转驱动部设置于基座上，旋转凸轮与旋转驱动部传动连接，旋转连接部与旋转凸轮和阀轴均连接，旋转驱动部能够驱动旋转凸轮与阀轴一同转动
。
按此设置，旋转驱动部驱动旋转凸轮转动，进而通过旋转连接部带动阀轴转动，从而实现带动与阀轴连接的阀杆及
盖板一同旋转，实现盖板的移动打开或者复位关闭，此过程中，升降连接部沿弧形卡槽移动，以自适应阀轴的旋转，因此，本实施例的旋转组件和升降组件独立设置
、
互不干涉，即盖板可根据需要选择升降或旋转运动
。
[0024]7、
本技术的单晶炉旋板阀结构，旋转凸轮可转动地安装于旋转槽内，旋转凸轮套设于阀轴的外周，旋转组件还包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶炉旋板阀结构，其特征在于，包括：基座
(1)
；阀盖总成
(2)
，包括阀轴
(21)
和盖板
(22)
，所述阀轴
(21)
可升降地插接于所述基座
(1)
内，所述盖板
(22)
与所述阀轴
(21)
连接；升降组件
(3)
，包括升降驱动部
(31)
和连杆机构
(32)
，所述升降驱动部
(31)
设置于所述基座
(1)
上，所述连杆机构
(32)
的一端与所述基座
(1)
铰接，所述连杆机构
(32)
的另一端与所述升降驱动部
(31)
传动连接，所述阀轴
(21)
与所述连杆机构
(32)
的中部连接，所述中部位于所述连杆机构
(32)
的所述一端和所述另一端之间
。2.
根据权利要求1所述的单晶炉旋板阀结构，其特征在于，所述连杆机构
(32)
包括：连杆
(322)
，与所述基座
(1)
铰接；连接头
(323)
，与所述连杆
(322)
铰接，所述连接头
(323)
适于与所述升降驱动部
(31)
传动配合；升降连接部
(324)
，与所述连杆
(322)
和所述阀轴
(21)
均连接，所述升降连接部
(324)
位于所述连杆
(322)
与所述基座
(1)
的铰接点和所述连接头
(323)
之间
。3.
根据权利要求2所述的单晶炉旋板阀结构，其特征在于，所述阀轴
(21)
的外壁沿周向设有弧形卡槽
(211)
，所述升降连接部
(324)
可相对移动地卡接于所述弧形卡槽
(211)
内
。4.
根据权利要求3所述的单晶炉旋板阀结构，其特征在于，所述升降连接部
(324)
为升降滚轮，所述升降滚轮可转动配合于所述弧形卡槽
(211)
内
。5.
根据权利要求3所述的单晶炉旋板阀结构，其特征在于，所述连杆
(322)
为环形杆，所述环形杆套设于所述阀轴
(21)
的外周，所述环形杆的相对两侧均设有与所述弧形卡槽
(211)
配合的所述升降连接部
(324)。6.
根据权利要求1至5中的任一项所述的单晶炉旋板阀结构，其特征在于，所述阀盖总成
(2)
还包括与所述阀轴
(21)
呈夹角设置的阀杆
(23)
，所述阀杆
(23)
连接于所述阀轴
(21)
和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，王林，黄江江，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：