一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法

【技术实现步骤摘要】
一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法


[0001]本专利技术涉及压电石英晶片领域，具体涉及一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法
。

技术介绍

[0002]目前，在石英晶振行业，接近式光刻机（
Proximity Aligner
）对准标记主要有以下5种：（1）
L
形标记：由两个相互垂直的长条组成，其中一条是较长的“主轴线”，另一条是较短的“次轴线”，一般用于光刻胶的较大领域的对准
。
[0003]（2）
T
形标记：由一条长条和一条短条组成的，一般用于局部对准
。
[0004]（3）斜线标记：一条倾斜的线条，适用于非常小的局部对准
。
[0005]（4）方形标记：一般由四条相等长度的线条组成，适用于对光刻胶领域进行定位或全版对准
。
[0006]（5）十字型标记：由两个长度相等相互垂直的长条组成，适用于对光刻胶领域进行定位或全版对准
。
[0007]对于石英晶片，晶体的结构和切割方向会影响其对不同方向湿法腐蚀的响应
。
在湿法腐蚀过程中，石英晶体表面在某些方向上更易被溶解，从而导致湿法腐蚀工艺呈现各向异性（如
AT
型石英晶片）
。
在此条件下，用于光刻的对位标记在腐蚀后左右边缘或上下边缘对称位置会存在不规则的形貌，使得对准标记对比度变差，降低了接近式光刻机的对准精度
。
[0008]本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题：现有技术中的对准标记在腐蚀后左右边缘或上下边缘对称位置会存在不规则的形貌，使得对准标记对比度变差，降低了接近式光刻机的对准精度
。

技术实现思路

[0009]本专利技术的目的在于提供一种高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法，以解决现有技术中 的技术问题
。
本专利技术提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述
。
[0010]为实现上述目的，本专利技术提供了以下技术方案：本专利技术提供的一种高对比度石英晶圆对准标记，该对准标记为十字型对准标记，其特征在于，所述对准标记包括竖向标记和位于竖向标记两侧的横向标记，所述竖向标记和横向标记均包括感光结构；其中，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的数个感光等腰三角形；所述横向标记的感光结构包括数个感光等腰三角形，且位于竖向标记两侧的横向标记的感光等腰三角形的排列方向相反；所述竖向标记的感光等腰三角形与其两侧的横向标记的感光等腰三角形的距离
均为
K0
，
K0≥50um
；所述竖向标记和横向标记的感光等腰三角形顶角的角度均为
K1
，
K1
为
10
º‑
60
º
；所述竖向标记和横向标记的感光等腰三角形的腐蚀宽度均为
K2
，
K2≥10um
；所述竖向标记相邻的感光等腰三角形之间的距离以及横向标记相邻的感光等腰三角形之间的距离均为
K3
，
K3≥5.5 um。
[0011]进一步的，所述横向标记和竖向标记的感光结构均为大小一致的感光等腰三角形
。
[0012]进一步的，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的1‑3列感光等腰三角形
。
[0013]进一步的，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的两列感光等腰三角形；进一步的，位于竖向标记两侧的横向标记的感光结构均包括排列方向一致的1‑3列感光等腰三角形
。
[0014]进一步的，位于竖向标记两侧的横向标记的感光结构均包括排列方向一致的两列感光等腰三角形
。
[0015]进一步的，
50um≤K0≤70um
；
K1
为
20
º‑
40
º
；
10um≤K2≤20um
；
5.5um≤K3≤10 um。
[0016]进一步的，
K0=60um
；
K1
为
30
º
；
K2=15um
；
K3=7.5um。
[0017]本专利技术提供的一种高对比度石英晶圆对准标记的制作方法，按照上述的高对比度石英晶圆对准标记中设计的对准标记来制作掩模板，然后在石英晶片上镀一层金属膜，进行光刻
、
金属刻蚀及晶片腐蚀减薄工艺，最后腐蚀出来的标记即为的石英晶圆对准标记
。
[0018]基于上述技术方案，本专利技术实施例至少可以产生如下技术效果：本专利技术提供的高对比度石英晶圆对准标记及其制作方法，对准标记可置于晶圆正面或反面，经光刻
、
金属刻蚀及晶片腐蚀减薄工艺后，最终用于下一层光刻对准工艺
。
本专利技术中设计的高对比度石英晶圆对准标记通过调整横向间距
、V
型角度
、
腐蚀宽度
、
遮光间距，可用于不同腐蚀深度的产品对准标记的制作
。
实际应用中，采用专利技术提供的石英光刻对准标记，不需要对现有接近式光刻机设备进行调整及改造，对准标记在腐蚀后左右边缘以及上下边缘对称位置均不会存在不规则的形貌，有效提升了对准标记边缘形貌的对比度，提高了接近式光刻机的对准精度
。
同时，本专利技术中对准标记的结构也适用于其他各向异性腐蚀工艺的对准标记，如方形
、T
型等标记，根据材料的腐蚀特性来调整三角形的角度
、
距离等，也可得到稳定且高对比度的对准标记
。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0020]图1是本专利技术实施例
1、
实施例
2、
实施例
4、
实施例7中对准标记的结构示意图；图2是本专利技术实施例2中
、
实施例6中对准标记的结构示意图；图3是本专利技术实施例
5、
实施例8中对准标记的结构示意图；图4是本专利技术实施例1中对准标记腐蚀后的应用效果图；图5是本专利技术实施例2中对准标记腐蚀后的应用效果图；
图6是本专利技术实施例3中对准标记腐蚀后的应用效果图；图7是本专利技术实施例4中对准标记腐蚀后的应用效果图；图8是本专利技术实施例5中对准标记腐蚀后的应用效果图；图9是本专利技术实施例6中对准标记腐蚀后的应用效果图；图
10
是本专利技术实施例7中对准标记腐蚀后的应用效果图；图
11
是本专利技术实施例8中对准标记腐蚀后的应用效果图；图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种高对比度石英晶圆对准标记，该对准标记为十字型对准标记，其特征在于，所述对准标记包括竖向标记和位于竖向标记两侧的横向标记，所述竖向标记和横向标记均包括感光结构；其中，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的数个感光等腰三角形；所述横向标记的感光结构包括数个感光等腰三角形，且位于竖向标记两侧的横向标记的感光等腰三角形的排列方向相反；所述竖向标记的感光等腰三角形与其两侧的横向标记的感光等腰三角形的距离均为
K0
，
K0≥50um
；所述竖向标记和横向标记的感光等腰三角形顶角的角度均为
K1
，
K1
为
10
º‑
60
º
；所述竖向标记和横向标记的感光等腰三角形的腐蚀宽度均为
K2
，
K2≥10um
；所述竖向标记相邻的感光等腰三角形之间的距离以及横向标记相邻的感光等腰三角形之间的距离均为
K3
，
K3≥5.5 um。2.
根据权利要求1所述的高对比度石英晶圆对准标记，其特征在于，所述横向标记和竖向标记的感光结构均为大小一致的感光等腰三角形
。3.
根据权利要求1所述的高对比度石英晶圆对准标记，其特征在于，所述竖向标记的感光结构包括排列方向一致的1‑3列感光等腰三角形
。4.
根据权利要求3所述的高对比度石英晶圆对准标记，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王先付，李欢，陆旺，
申请(专利权)人：成都泰美克晶体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：