一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，属于晶粒细化技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置及其使用方法


[0001]本专利技术属于晶粒细化
，涉及一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置及其使用方法
。

技术介绍

[0002]在双银低辐射玻璃的制造过程中，会涉及到玻璃的溅射等工艺，所采用的靶材主要有平面银靶材及旋转银靶材，旋转银靶材具有利用率高
、
使用时间长
、
溅射过程中产生较少的电弧等优点，故使得旋转银靶材越来越受到人们的关注，但是，旋转银靶材在使用过程中的均匀性较差，在调试好后的使用过程中，旋转银靶材的均匀性常常发生变化，由于均匀性的变化导致镀膜玻璃的银膜层的厚度变化，从而导致镀膜玻璃颜色产生色差，为了提高旋转银靶材的均匀性，需要将旋转银靶材表面的晶粒进行辊压细化，但是现有的细化装置要么时人员利用工具辅助进行，要么就是利用气缸进行辅助细化，银靶材在进行细化时本身就需要电机带动其进行转动
。
[0003]经检索，公告号为
CN218059148U
的技术公开了一种节能型银靶材的晶粒辊压细化装置，包括机床，所述机床的内部卡接固定有银靶材本体，所述银靶材本体的表面卡接固定连接有三角卡盘，本技术通过设置辅助细化装置和收集装置，达到机床在带动银靶材本体转动时利用三角卡盘进行滑动辊压细化和表面清理的效果，达到降低银靶材本体的晶粒大小，达到使银靶材本体的均匀性更好的目的，同时利用转动的银靶材本体作为动力来源，进一步达到节能的效果
。
[0004]该装置在使用过程中还具有以下缺点：使用时通过三角卡盘对靶材进行夹持，虽然能够打带固定的效果，但是夹爪与靶材接触的部分无法完成细化，后续还需人工进行细化，同时该装置通过人工上下料的方式，加工效率低下，无法自动化上下料，因此我们提出了一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置及其使用方法，用于解决上述所提出的问题
。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术为了解决夹爪与靶材接触的部分无法完成细化，后续还需人工进行细化，同时该装置通过人工上下料的方式，加工效率低下，无法自动化上下料的问题，提供一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置及其使用方法
。
[0006]为达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，包括加工台，所述加工台的顶部固定连接有固定座，所述固定座的一侧贯穿转动连接有第二顶尖，所述固定座的一侧固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端与第二顶尖固定连接，用于带动靶材转动；
[0007]两个轴承座，两个所述轴承座均固定连接在加工台的顶部，两个所述轴承座之间贯穿转动连接有同一个第一螺杆，所述加工台的顶部滑动设有滑动板，所述滑动板螺纹套设在第一螺杆上，所述加工台的顶部固定连接有第一电机，所述滑动板的一侧设有与第二顶尖相对应的第一顶尖，所述第一电机的输出端与第一螺杆固定连接，用于带动靶材移动
以及配合第二顶尖对靶材进行固定；
[0008]所述加工台的顶部开设有矩形孔，所述矩形孔内滑动设有用于对靶材细化的辑压架；
[0009]料箱，所述料箱设置在加工台的顶部，所述料箱与第一顶尖配合使用实现自动上料；
[0010]收集台，所述收集台设置在加工台的顶部用于放置加工后的靶材；
[0011]升降架，所述升降架设置在加工台的底部，用于带动靶材移动至收集台上，实现自动下料；
[0012]传动机构，设置在加工台上用于第二电机带动升降架升降以及带动辑压架往复移动对靶材进行细化
。
[0013]进一步的，所述传动机构包括贯穿转动连接在矩形孔内壁的往复螺杆，所述往复螺杆的外壁螺纹套设在螺母环，所述螺母环的外壁固定套设有单向轴承的内圈，所述单向轴承的外圈与辑压架固定连接，所述往复螺杆和第二电机输出端的外壁均固定套设有同步轮，两个所述同步轮的外壁传动连接有同一个同步带
。
[0014]进一步的，所述升降架包括固定连接在加工台底部且与矩形孔相对应的安装架，所述安装架的顶部贯穿滑动设有多个第二导向杆，多个所述第二导向杆的底部固定连接有同一个底板，所述底板的顶部固定连接有齿条，所述齿条滑动设置在安装架的一侧，所述第二电机输出端的外壁固定套设有与齿条相啮合的齿轮，所述第二导向杆的顶部固定连接有多个与靶材相对应的弧形板，所述第二导向杆的外壁套设有第一拉簧，所述第一拉簧的两端分别与安装架和底板的相互靠近一侧固定连接
。
[0015]进一步的，所述收集台的底部固定连接有两个支撑杆，所述支撑杆固定连接在加工台的顶部，所述收集台的一侧开设有多个转动孔，所述转动孔的内壁转动连接有弧形条，所述收集台的底部固定连接有与弧形条相抵触的挡块，所述收集台的顶部固定连接有多个胶垫，所述胶垫的顶部开设有多个用于对靶材稳定的弧形槽
。
[0016]进一步的，所述料箱的底部固定连接有倾斜设置在固定板，所述固定板的底部固定连接在加工台上，所述固定板的一侧顶部固定连接有第二限位板，所述料箱的内壁固定连接有倾斜设置的导向板，所述滑动板的一侧固定连接有
L
形架，所述第一顶尖贯穿转动连接在
L
形架的一侧，所述第一顶尖位于第二限位板和固定板之间
。
[0017]进一步的，所述固定板的顶部设有第三限位板，所述第三限位板的顶部贯穿滑动设有第三导向杆，所述第三导向杆的底部与加工台固定连接，所述第三导向杆的外壁套设有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与加工台和第三限位板的相互靠近一侧固定连接，所述
L
形架的一侧固定连接有与第三限位板配合使用的楔块
。
[0018]进一步的，所述辑压架还包括滑动台，所述单向轴承的外圈贯穿固定连接在滑动台的一侧，所述滑动台的一侧贯穿滑动设有滑动杆，所述滑动杆固定连接在矩形孔的内壁，所述滑动台的顶部固定连接有两个第一限位板，所述第一限位板的一侧贯穿滑动设有两个第一导向杆，两组所述第一导向杆的相互靠近一侧均固定连接有同一个连接架，两个所述连接架的相互靠近一侧固定连接有两个用于对靶材辑压细化的辑压辊，所述第一导向杆的外壁套设有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与第一导向杆的外壁和第一限位板的一侧固定连接，所述加工台的顶部固定连接有与两组第一导向杆配合使用的挡板
。
[0019]进一步的，所述弧形条和收集台的底部均固定连接有多个相对应的限位块，两个相对应的所述限位块之间固定连接有同一个第二拉簧
。
[0020]进一步的，所述挡板包括固定连接在加工台顶部的两个平行板，两个所述平行板分别位于矩形孔的两侧，所述平行板的一端固定连接有斜板
。
[0021]一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置的使用方法，包括下步骤：
[0022]S1、
首先，将靶材放在料箱内，靶材会依次滚落在第二限位板的一侧，启动第一电机带动第一顶尖移动，第一顶尖可以推动靶材移动，同时启动第二电机带动弧形板向上移动对靶材进行支撑，靶材继续移动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，包括加工台
(1)
，其特征在于，所述加工台
(1)
的顶部固定连接有固定座
(16)
，所述固定座
(16)
的一侧贯穿转动连接有第二顶尖
(15)
，所述固定座
(16)
的一侧固定连接有安装板
(17)
，所述安装板
(17)
的底部固定连接有第二电机
(18)
，所述第二电机
(18)
的输出端与第二顶尖
(15)
固定连接，用于带动靶材转动；两个轴承座
(11)
，两个所述轴承座
(11)
均固定连接在加工台
(1)
的顶部，两个所述轴承座
(11)
之间贯穿转动连接有同一个第一螺杆
(12)
，所述加工台
(1)
的顶部滑动设有滑动板
(10)
，所述滑动板
(10)
螺纹套设在第一螺杆
(12)
上，所述加工台
(1)
的顶部固定连接有第一电机
(3)
，所述滑动板
(10)
的一侧设有与第二顶尖
(15)
相对应的第一顶尖
(2)
，所述第一电机
(3)
的输出端与第一螺杆
(12)
固定连接，用于带动靶材移动以及配合第二顶尖
(15)
对靶材进行固定；所述加工台
(1)
的顶部开设有矩形孔
(14)
，所述矩形孔
(14)
内滑动设有用于对靶材细化的辑压架
(4)
；料箱
(8)
，所述料箱
(8)
设置在加工台
(1)
的顶部，所述料箱
(8)
与第一顶尖
(2)
配合使用实现自动上料；收集台
(7)
，所述收集台
(7)
设置在加工台
(1)
的顶部用于放置加工后的靶材；升降架
(6)
，所述升降架
(6)
设置在加工台
(1)
的底部，用于带动靶材移动至收集台
(7)
上，实现自动下料；传动机构，设置在加工台
(1)
上用于第二电机
(18)
带动升降架
(6)
升降以及带动辑压架
(4)
往复移动对靶材进行细化
。2.
根据权利要求1所述的一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，其特征在于，所述传动机构包括贯穿转动连接在矩形孔
(14)
内壁的往复螺杆
(20)
，所述往复螺杆
(20)
的外壁螺纹套设在螺母环
(21)
，所述螺母环
(21)
的外壁固定套设有单向轴承
(22)
的内圈，所述单向轴承
(22)
的外圈与辑压架
(4)
固定连接，所述往复螺杆
(20)
和第二电机
(18)
输出端的外壁均固定套设有同步轮
(23)
，两个所述同步轮
(23)
的外壁传动连接有同一个同步带
(24)。3.
根据权利要求2所述的一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，其特征在于，所述升降架
(6)
包括固定连接在加工台
(1)
底部且与矩形孔
(14)
相对应的安装架
(61)
，所述安装架
(61)
的顶部贯穿滑动设有多个第二导向杆
(62)
，多个所述第二导向杆
(62)
的底部固定连接有同一个底板
(65)
，所述底板
(65)
的顶部固定连接有齿条
(66)
，所述齿条
(66)
滑动设置在安装架
(61)
的一侧，所述第二电机
(18)
输出端的外壁固定套设有与齿条
(66)
相啮合的齿轮
(67)
，所述第二导向杆
(62)
的顶部固定连接有多个与靶材相对应的弧形板
(64)
，所述第二导向杆
(62)
的外壁套设有第一拉簧
(63)
，所述第一拉簧
(63)
的两端分别与安装架
(61)
和底板
(65)
的相互靠近一侧固定连接
。4.
根据权利要求1所述的一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，其特征在于，所述收集台
(7)
的底部固定连接有两个支撑杆
(71)
，所述支撑杆
(71)
固定连接在加工台
(1)
的顶部，所述收集台
(7)
的一侧开设有多个转动孔
(74)
，所述转动孔
(74)
的内壁转动连接有弧形条
(75)
，所述收集台
(7)
的底部固定连接有与弧形条
(75)
相抵触的挡块
(76)
，所述收集台
(7)
的顶部固定连接有多个胶垫
(72)
，所述胶垫
(72)
的顶部开设有多个用于对靶材稳定的弧形槽
(73)。5.
根据权利要求1所述的一种旋转银靶材的晶粒辑压细化装置，其特征在于，所述料箱
(8)
的底部固定连接有倾斜设置在固定板
(...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智勇，唐安泰，
申请(专利权)人：株洲火炬安泰新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：