【技术实现步骤摘要】
一种密封装置、热炉及加工设备
[0001]本专利技术涉及半导体加工
,尤其涉及一种密封装置
、
热炉及加工设备
。
技术介绍
[0002]在热炉设备中,为了确保热炉的密封性,通常会在炉管的一端设置密封装置,行业内较为常见的密封装置是端面密封
。
端面密封通常将密封圈设置在炉管的端面,通过法兰压紧在炉管的端面上
。
由于在实际工作过程中,炉门会对法兰进行挤压,这就容易导致密封圈受到的压力存在浮动,从而导致密封圈的使用寿命较短
。
与此同时,由于法兰直接将密封圈压紧在炉管端面上,需要确保密封圈以及炉管同轴设置,对安装要求较高,从而造成密封装置安装较为不便
。
技术实现思路
[0003]本专利技术的第一目的在于提出一种密封装置,该密封装置的安装方便,且密封件的使用寿命长
。
[0004]本专利技术的第二目的在于提出一种热炉,该热炉的密封性好,组装方便,且密封件的使用寿命长
。
[0005]本专利技术的第三个目的在于提出一种加工设备,该加工设备的密封性好,组装方便,且密封件的使用寿命长
。
[0006]为实现上述技术效果,本专利技术的技术方案如下:
[0007]本专利技术公开了一种密封装置,用于密封炉管,包括:第一法兰,所述第一法兰的一端伸入所述炉管内部;密封件,所述密封件套设于所述第一法兰伸入所述炉管的一端,且所述密封件抵接于所述炉管的内侧壁;压紧件,所述压紧件设于所 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.
一种密封装置,其用于密封炉管
(10)
,其特征在于,所述密封装置包括:第一法兰
(100)
,所述第一法兰
(100)
的一端伸入所述炉管
(10)
内部;密封件
(400)
,所述密封件
(400)
套设于所述第一法兰
(100)
伸入所述炉管
(10)
的一端,且所述密封件
(400)
抵接于所述炉管
(10)
的内侧壁;压紧件
(300)
,所述压紧件
(300)
设于所述第一法兰
(100)
,且所述压紧件
(300)
用于向所述密封件
(400)
施加朝向所述炉管
(10)
方向的力
。2.
根据权利要求1所述的密封装置,其特征在于,所述第一法兰
(100)
包括:配合面
(110)
,所述配合面
(110)
位于所述第一法兰
(100)
与所述炉管
(10)
配合的一端,所述配合面
(110)
与所述炉管
(10)
的轴向方向呈夹角设置;安装部
(130)
,所述安装部
(130)
形成于所述配合面
(110)
靠近所述第一法兰
(100)
的内侧壁的一侧,且沿所述第一法兰
(100)
的轴向延伸设置,所述安装部
(130)
远离所述配合面
(110)
的一端伸入所述炉管
(10)
内,所述密封件
(400)
套设于所述安装部
(130)
;其中:所述配合面
(110)
形成有安装槽
(111)
,所述安装槽
(111)
用于收容所述压紧件
(300)。3.
根据权利要求2所述的密封装置,其特征在于,所述第一法兰
(100)
还包括:止挡部
(140)
,所述止挡部
(140)
形成于所述安装部
(130)
远离所述第一法兰
(100)
内侧壁的一侧,所述止挡部
(140)
包括压紧侧壁
(141)
,所述压紧侧壁
(141)
位于所述止挡部
(140)
靠近所述配合面
(110)
的一侧;其中,所述压紧件
(300)
位于所述配合面
(110)
与所述止挡部
(140)
之间,所述压紧件
(300)
用于将所述密封件
(400)
压紧于所述压紧侧壁
(141)。4.
根据权利要求1‑3中任一项所述的密封装置,其特征在于,所述密封装置还包括第一调节件
(500)
,所述第一调节件
(500)
穿过所述第一法兰
(100)
且止抵于所述压紧件
(300)
,所述第一调节件
(500)
能够驱动所述压紧件
(300)
压紧所述密封件
(400)。5.
根据权利要求1‑3中任一项所述的密封装置,其特征在于,所述密封装置还包括第二调节件
(600)
,所述第二调节件
(600)
穿过所述第一法兰
(100)
,所述第二调节件
(600)
能够带动所述压紧件
(300)
朝向远离所述密封件
(400)
的方向运动,以使得所述密封件
(400)
回弹
。6.
根据权利要求1‑3中任一项所述的密封装置,其特征在于,所述密封装置还包括第二法兰
技术研发人员:朱太荣,屈亚运,易术,肖阳,张武,
申请(专利权)人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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