一种晶圆片清洗烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于晶圆片清洗烘干设备技术领域，公开了一种晶圆片清洗烘干装置，包括晶圆片清洗机

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片清洗烘干装置


[0001]本技术属于晶圆片清洗烘干设备
，尤其涉及一种晶圆片清洗烘干装置
。

技术介绍

[0002]晶圆片清洗机能够对晶圆片的上面进行清洗，清洗后向晶圆片上面吹热气，烘干晶圆片
。
[0003]由于常规的晶圆片清洗机在清洗过程中，晶圆片的下端与晶圆片清洗机贴合，至使晶圆片与晶圆片清洗机接触的下端面无法受风，从而造成常规的晶圆片清洗机不方便烘干晶圆片下面的问题
。
[0004]为此，我们提出来一种晶圆片清洗烘干装置解决上述问题
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中，常规的晶圆片清洗机不方便烘干晶圆片下面的问题，而提出的一种晶圆片清洗烘干装置
。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆片清洗烘干装置，包括晶圆片清洗机
、
收缩吸座和动机，所述收缩吸座的上端固定连接在晶圆片清洗机的内部上端，所述动机固定安装在收缩吸座的下部，且动机的下部与收缩吸座下部传动连接
。
[0007]当晶圆片清洗机将晶圆片清洗完成后，通过收缩吸座伸长吸起晶圆片，再通过动机带动收缩吸座下部使晶圆片转动，通过晶圆片清洗机将热气吹向晶圆片下部，方便了多方位烘干晶圆片
。
[0008]优选的，所述晶圆片清洗机包括机箱
、
第一吹气管
、
第二吹气管和喷水管，所述第一吹气管和喷水管均向下倾斜，所述第二吹气管向上倾斜
>。
[0009]当晶圆片位于下部时，利用喷水管喷水清洗，完成后再通过第一吹气管对晶圆片上部吹热气烘干晶圆片上部，当晶圆片悬空后，利用第二吹气管向上将热气吹向晶圆片下面，通过第二吹气管方便了烘干晶圆片下面
。
[0010]优选的，所述晶圆片清洗机还包括弹力螺旋管，所述弹力螺旋管与外接抽气泵管道连接，所述弹力螺旋管固定连接在机箱的内部上端
。
[0011]利用弹力螺旋管抽取收缩吸座下部的气体，方便了收缩吸座下部形成负压吸紧晶圆片
。
[0012]优选的，所述晶圆片清洗机还包括皮脚，所述皮脚均匀固定连接在机箱的下部
。
[0013]机箱通过皮脚与目标台面支撑，起到增加装置摆放摩擦力的作用，提高了晶圆片清洗机摆放的稳定性
。
[0014]优选的，所述晶圆片清洗机还包括屏蔽门，所述屏蔽门的侧部与机箱转动连接
。
[0015]将晶圆片放入到机箱内部后，再将屏蔽门闭合，防止清洗过程中水花向外飞溅
。
[0016]优选的，所述收缩吸座包括气缸
、
抽气管
、
轴承
、
第一齿轮
、
转吸管和吸盘，所述抽
气管固定连接在气缸的活塞下端，所述抽气管通过轴承与转吸管转动连接，所述抽气管和转吸管的内部空间相通，所述第一齿轮固定连接在转吸管的外部，所述吸盘固定连接在转吸管的下端
。
[0017]利用气缸带动抽气管使轴承
、
第一齿轮
、
转吸管和吸盘下降，直到吸盘与晶圆片接触，再抽取抽气管内的气体，使得抽气管
、
转吸管和吸盘内形成负压，再通过动机带动第一齿轮使转吸管和吸盘带动晶圆片转动，方便了晶圆片悬空转动烘干
。
[0018]优选的，所述动机包括固定座
、
电机和第二齿轮，所述电机固定连接在固定座的内端，所述第二齿轮固定连接在电机转子下端
。
[0019]利用电机带动第二齿轮使第一齿轮转动，方便了动机驱动收缩吸座下部转动
。
[0020]综上所述，本技术的技术效果和优点：
1、
当晶圆片清洗机将晶圆片清洗完成后，通过收缩吸座伸长吸起晶圆片，再通过动机带动收缩吸座下部使晶圆片转动，通过晶圆片清洗机将热气吹向晶圆片下部，方便了多方位烘干晶圆片
。
[0021]2、
当晶圆片位于下部时，利用喷水管喷水清洗，完成后再通过第一吹气管对晶圆片上部吹热气烘干晶圆片上部，当晶圆片悬空后，利用第二吹气管向上将热气吹向晶圆片下面，通过第二吹气管方便了烘干晶圆片下面
。
[0022]3、
利用气缸带动抽气管使轴承
、
第一齿轮
、
转吸管和吸盘下降，直到吸盘与晶圆片接触，再抽取抽气管内的气体，使得抽气管
、
转吸管和吸盘内形成负压，再通过动机带动第一齿轮使转吸管和吸盘带动晶圆片转动，方便了晶圆片悬空转动烘干
。
附图说明
[0023]图1为本技术的整体结构示意图；
[0024]图2为本技术的晶圆片清洗机结构示意图；
[0025]图3为本技术的收缩吸座结构示意图；
[0026]图4为本技术的动机结构示意图
。
[0027]图中：
1、
晶圆片；
2、
晶圆片清洗机；
3、
收缩吸座；
4、
动机；
21、
机箱；
22、
弹力螺旋管；
23、
第一吹气管；
24、
第二吹气管；
25、
喷水管；
26、
皮脚；
27、
屏蔽门；
31、
气缸；
32、
抽气管；
33、
轴承；
34、
第一齿轮；
35、
转吸管；
36、
吸盘；
41、
固定座；
42、
电机；
43、
第二齿轮
。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0029]请参阅图1，一种晶圆片清洗烘干装置，包括晶圆片清洗机
2、
收缩吸座3和动机4，收缩吸座3的上端固定连接在晶圆片清洗机2的内部上端，动机4固定安装在收缩吸座3的下部，且动机4的下部与收缩吸座3下部传动连接
。
当晶圆片清洗机2将晶圆片1清洗完成后，通过收缩吸座3伸长吸起晶圆片1，再通过动机4带动收缩吸座3下部使晶圆片1转动，通过晶圆片清洗机2将热气吹向晶圆片1下部，起到多方位烘干晶圆片1的作用
。
[0030]请参阅图2，晶圆片清洗机2包括机箱
21、
第一吹气管
23、
第二吹气管
24
和喷水管
25
，第一吹气管
23
和喷水管
25
均向下倾斜，第二吹气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆片清洗烘干装置，其特征在于：包括晶圆片清洗机
(2)、
收缩吸座
(3)
和动机
(4)
，所述收缩吸座
(3)
的上端固定连接在晶圆片清洗机
(2)
的内部上端，所述动机
(4)
固定安装在收缩吸座
(3)
的下部，且动机
(4)
的下部与收缩吸座
(3)
下部传动连接，所述晶圆片清洗机
(2)
包括机箱
(21)、
第一吹气管
(23)、
第二吹气管
(24)
和喷水管
(25)
，所述第一吹气管
(23)
和喷水管
(25)
均向下倾斜，所述第二吹气管
(24)
向上倾斜，所述收缩吸座
(3)
包括气缸
(31)、
抽气管
(32)、
轴承
(33)、
第一齿轮
(34)、
转吸管
(35)
和吸盘
(36)
，所述抽气管
(32)
固定连接在气缸
(31)
的活塞下端，所述抽气管
(32)
通过轴承
(33)
与转吸管
(35)
转动连接，所述抽气管
(32)
和转吸管
(35)
的内部空间相通，所述第一齿轮
(34)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱德强，陈忠，
申请(专利权)人：南通皋鑫电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：