一种晶圆干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆干燥装置，涉及晶圆干燥技术领域，包括加热机构和干燥机构；所述加热机构包括氮气罐，所述氮气罐的顶部固定连通有通气管；本实用新型专利技术通过在通气管的底部固定安装第一电机，第一电机的输出端固定连接扇轮，利用第一电机带动扇轮转动，打开氮气阀，将氮气罐内的氮气导入通气管内，利用加热管加热氮气，再将通气管内的氮气导入干燥箱的内部，对晶圆放置盘内放置的晶圆进行干燥处理，避免直接转动晶圆放置盘对晶圆造成损坏；通过将第二电机安装在干燥箱的顶部，在第二电机的输出端固定安装搅拌轮，利用第二电机转动带动搅拌轮转动，加速晶圆的干燥速度，使晶圆达到均匀干燥的目的

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥装置


[0001]本技术涉及晶圆干燥
，尤其涉及一种晶圆干燥装置
。

技术介绍

[0002]晶圆的原材料来源于沙子，通过脱氧提取沙子中的硅，一般来说脱氧后的沙子是以二氧化硅的形式存在，这也是最原始的晶圆材料，将原材料融化净化，提高原材料的纯度，对其进行冷却处理，成型后再将其切割成圆柱形薄片，经过反复清洗后，最后对其进行干燥处理
。
[0003]但现有技术中，大多使用加热的方式或电机带动晶圆放置板快速转动使晶圆达到干燥的效果，但直接加热干燥速度较慢，效率较低，使用电机带动晶圆放置板转动，利用离心力的作用将水珠甩出，容易造成晶圆破损的情况，不利于后期使用，增加了加工的成本
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的大多使用加热的方式或电机带动晶圆放置板快速转动使晶圆达到干燥的效果，但直接加热干燥速度较慢，效率较低，使用电机带动晶圆放置板转动，利用离心力的作用将水珠甩出，容易造成晶圆破损的情况，不利于后期使用，增加了加工的成本的问题，而提出的一种晶圆干燥装置
。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种晶圆干燥装置，包括加热机构和干燥机构；所述加热机构包括氮气罐，所述氮气罐的顶部固定连通有通气管，所述通气管的外表壁固定安装有氮气阀，所述通气管的内壁固定安装有加热管，所述通气管的出气端固定安装有支板，所述支板的一端固定安装有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有扇轮；所述干燥机构包括干燥箱，所述干燥箱的内部插设有螺杆，所述螺杆的外表壁螺纹连接有连接块，所述连接块的顶部固定安装有晶圆放置盘，所述干燥箱的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的一端与干燥箱的外表壁固定连接
。
[0006]优选的，所述干燥箱的顶部贯穿开设有圆孔，且圆孔的内部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有搅拌轮
。
[0007]优选的，所述第二电机的外表壁套设有保护壳，所述干燥箱的一端铰链连接有取料门
。
[0008]优选的，所述取料门的外表壁固定安装有把手，所述取料门的外表壁开设有方孔，且方孔的内部固定安装有玻璃窗
。
[0009]优选的，所述干燥箱的外表壁固定连通有排液管，所述干燥箱的外表壁固定安装有第三电机，所述第三电机的输出端与螺杆的一端固定连接
。
[0010]优选的，所述通气管的一端固定插设于干燥箱的顶部，所述搅拌轮的安装高度高于晶圆放置盘的安装高度
。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0012]1、
本技术中，通过在通气管的一端固定连接支板，支板的一端固定连接第一
电机，第一电机的输出端固定连接扇轮，利用第一电机带动扇轮转动，打开氮气阀，将氮气罐内的氮气导入通气管内，利用加热管加热氮气，再将通气管内的氮气导入干燥箱的内部，对晶圆放置盘内放置的晶圆进行干燥处理，避免直接转动晶圆放置盘对晶圆造成损坏
。
[0013]2、
本技术中，通过将第二电机安装在干燥箱的顶部，在第二电机的输出端固定安装搅拌轮，利用第二电机转动带动搅拌轮转动，加速晶圆的干燥速度，使晶圆达到均匀干燥的目的
。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种晶圆干燥装置的立体结构示意图；
[0015]图2为本技术提出一种晶圆干燥装置中加热机构的立体结构示意图；
[0016]图3为本技术提出一种晶圆干燥装置中干燥机构的立体结构示意图；
[0017]图4为本技术提出一种晶圆干燥装置中干燥机构的立体结构剖视图
。
[0018]图例说明：
1、
加热机构；
101、
氮气罐；
102、
通气管；
103、
氮气阀；
104、
加热管；
105、
支板；
106、
第一电机；
107、
扇轮；
2、
干燥机构；
201、
干燥箱；
202、
螺杆；
203、
连接块；
204、
晶圆放置盘；
205、
滑槽；
206、
滑块；
207、
保护壳；
208、
第二电机；
209、
搅拌轮；
210、
取料门；
211、
第三电机；
212、
玻璃窗；
213、
把手；
214、
排液管
。
具体实施方式
[0019]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的
、
特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明
。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合
。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制
。
[0021]如图1‑
图4所示，本技术提供了一种晶圆干燥装置，包括加热机构1和干燥机构2；加热机构1包括氮气罐
101
，氮气罐
101
的顶部固定连通有通气管
102
，通气管
102
的外表壁固定安装有氮气阀
103
，通气管
102
的内壁固定安装有加热管
104
，通气管
102
的出气端固定安装有支板
105
，支板
105
的一端固定安装有第一电机
106
，第一电机
106
的输出端固定连接有扇轮
107
；干燥机构2包括干燥箱
201
，干燥箱
201
的内部插设有螺杆
202
，螺杆
202
的外表壁螺纹连接有连接块
203
，连接块
203
的顶部固定安装有晶圆放置盘
204
，干燥箱
201
的内部开设有滑槽
205
，滑槽
205
的内部滑动连接有滑块
206
，滑块
206
的一端与干燥箱
201
的外表壁固定连接；首先将晶圆放置在晶圆放置盘
204
的内部，打开氮气阀
103
，利用第一电机
106
带动扇轮
107
转动将氮气从氮气罐
101...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括加热机构
(1)
和干燥机构
(2)
；所述加热机构
(1)
包括氮气罐
(101)
，所述氮气罐
(101)
的顶部固定连通有通气管
(102)
，所述通气管
(102)
的外表壁固定安装有氮气阀
(103)
，所述通气管
(102)
的内壁固定安装有加热管
(104)
，所述通气管
(102)
的出气端固定安装有支板
(105)
，所述支板
(105)
的一端固定安装有第一电机
(106)
，所述第一电机
(106)
的输出端固定连接有扇轮
(107)
；所述干燥机构
(2)
包括干燥箱
(201)
，所述干燥箱
(201)
的内部插设有螺杆
(202)
，所述螺杆
(202)
的外表壁螺纹连接有连接块
(203)
，所述连接块
(203)
的顶部固定安装有晶圆放置盘
(204)
，所述干燥箱
(201)
的内部开设有滑槽
(205)
，所述滑槽
(205)
的内部滑动连接有滑块
(206)
，所述滑块
(206)
的一端与干燥箱
(201)
的外表壁固定连接

【专利技术属性】
技术研发人员：仇旭东，陈林锋，周雅惠，王苏成，
申请(专利权)人：浙江天极集成电路技术有限公司，
类型：新型
国别省市：