一种晶圆镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公布了一种晶圆镀膜设备，包括机箱、转动柱、夹持板和清灰组件，转动柱竖向转动连接在机箱内，且转动柱的外表面圆周均匀开设有复数个滑槽，各滑槽内均固定连接有滑杆，滑杆上滑动连接有滑块，且滑块上下对称设置，夹持板与对应的滑块固定连接，清灰组件设置在机箱内并位于转动柱的正后侧，机箱的左右内侧壁上均固定安装有反应器；本实用新型专利技术的有益效果是，便于实现同时对晶圆的两面进行均匀镀膜；同时通过设置的清灰组件便于晶圆在进行镀膜之前，将其表面沾染的灰尘与杂质进行吸收清理，镀膜的效率更高，使用起来更加的方便。使用起来更加的方便。使用起来更加的方便。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆镀膜设备


[0001]本技术涉及一种晶圆镀膜设备，具体涉及一种便于在镀膜前对晶圆表面沾染的灰尘进行清理的晶圆镀膜设备。

技术介绍

[0002]随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，技术人员通过对晶圆进行加工可以制作成各种电路元件，因此晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。晶圆作为一种光学基底材料，在其上镀膜成为提高其光学性能的基本需求。
[0003]如公开号为CN214797372U的专利一种晶圆镀膜设备，涉及半导体制造设备
，包括机箱、安装板和固定块，套杆的两侧面均固定连接有齿条，固定块的两侧面均通过转轴与齿轮转动连接，转动杆远离齿轮的一端固定连接有夹紧块，连接杆的上端固定连接有拉伸弹簧，连接杆远离固定块的一端固定连接有连接套，主动轮的外表面传动连接有传动带。本技术通过设置连接杆、套杆、拉伸弹簧、固定块、齿条、齿轮、转动杆和夹紧块，实现对晶圆的夹紧或松开，使得对晶圆的装夹更加快捷，可在一定程度上提高工作效率，通过设置主动轮、传动带、从动轮、连接杆、连接杆和连接套，可带动装夹机构以及晶圆缓缓转动，使晶圆镀膜的更加均匀，保证生产质量。
[0004]上述方案在使用过程中，对晶圆进行镀膜时，需要将晶圆移动至机箱内部，然而在移动晶圆的过程中外界的灰尘与杂质可能会沾染在其表面，从而出现在镀膜时其表面形成的膜不平整，导致其镀膜失败，降低镀膜效率。
[0005]因此，有必要提出一种晶圆镀膜设备解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]为解决上述问题，本技术提供了一种晶圆镀膜设备，本技术是通过以下技术方案来实现的。
[0007]一种晶圆镀膜设备，包括机箱、转动柱、夹持板和清灰组件，所述转动柱竖向转动连接在机箱内，且转动柱的外表面圆周均匀开设有复数个滑槽，各所述滑槽内均固定连接有滑杆，所述滑杆上滑动连接有滑块，且滑块上下对称设置，所述夹持板与对应的滑块固定连接，所述清灰组件设置在机箱内并位于转动柱的正后侧，所述机箱的左右内侧壁上均固定安装有反应器，机箱的前侧左壁转动连接有密封门，机箱的底部四角处固定连接有四组橡胶防滑垫。
[0008]优选的，所述转动柱的外表面位于顶部一端固定连接有齿环，所述机箱的顶部固定安装有转动电机，且转动电机的输出轴头部贯穿到机箱内并固接有齿轮，所述齿轮与齿环啮合。
[0009]优选的，所述滑块相远离一侧的滑杆上均套设有弹簧，所述弹簧的一端与滑槽的一侧固定连接，弹簧的另一端与滑块固定连接。
[0010]优选的，所述夹持板的相对一侧开设有弧形槽，且弧形槽内涂制有防滑层。
[0011]优选的，所述清灰组件包括升降板和吸尘管，所述机箱内的左侧转动连接有丝杆，机箱内的右侧固定连接有限位杆，所述升降板的左侧端与丝杆螺纹连接，升降板的右侧端与限位杆滑动连接，所述吸尘管固定连接在升降板的前侧并左右对称设置，所述吸尘管的相对一侧开设有吸尘孔，且两个吸尘管之间固定连通有连接管。
[0012]优选的，所述机箱的顶部固定安装有升降电机，且升降电机的输出轴头部贯穿到机箱内并与丝杆的顶端固定连接，所述机箱的顶部固定安装有吸尘机，且吸尘机的吸风口与其中一个吸尘管之间固定连通有伸缩管。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014](1)本晶圆镀膜设备，在使用时，将晶圆放置在两个夹持板之间，并在弹簧的作用下便于对晶圆进行夹持固定，之后启动转动电机，在齿轮与齿环的配合下带动转动柱转动，从而带动各晶圆进行缓慢转动，从而便于实现同时对晶圆的两面进行均匀镀膜，相比于现有技术中只能进行一面镀膜的效率更高，使用起来更加的方便。
[0015](2)本晶圆镀膜设备，通过设置的清灰组件便于晶圆在进行镀膜之前，将其表面沾染的灰尘与杂质进行吸收清理，从而解决了其表面沾染的灰尘与杂质而导致镀膜时其表面形成的膜不平整，导致其镀膜失败，降低镀膜效率的问题。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1：为现有技术的结构示意图；
[0018]图2：本技术所述整体的结构示意图；
[0019]图3：本技术所述前侧剖视图；
[0020]图4：本技术所述右侧剖视图；
[0021]图5：本技术所述机箱的内部结构示意图。
[0022]附图标记如下：
[0023]1、机箱；11、反应器；12、密封门；13、橡胶防滑垫；14、转动电机；15、齿轮；
[0024]2、转动柱；21、滑槽；22、滑杆；23、滑块；24、齿环；25、弹簧；
[0025]3、夹持板；31、弧形槽；
[0026]4、清灰组件；41、升降板；42、吸尘管；43、丝杆；44、限位杆；45、连接管；46、升降电机；47、吸尘机；48、伸缩管。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]如图2
‑
5所示，本技术提供以下实施例：
[0029]实施例一
[0030]一种晶圆镀膜设备，包括机箱1、转动柱2、夹持板3和清灰组件4，转动柱2竖向转动连接在机箱1内，且转动柱2的外表面圆周均匀开设有复数个滑槽21，各滑槽21内均固定连接有滑杆22，滑杆22上滑动连接有滑块23，且滑块23上下对称设置，夹持板3与对应的滑块23固定连接，清灰组件4设置在机箱1内并位于转动柱2的正后侧，机箱1的左右内侧壁上均固定安装有反应器11，机箱1的前侧左壁转动连接有密封门12，机箱1的底部四角处固定连接有四组橡胶防滑垫13。通过设置的橡胶防滑垫13便于增加本设备在使用过程中的稳定性。
[0031]进一步的，转动柱2的外表面位于顶部一端固定连接有齿环24，机箱1的顶部固定安装有转动电机14，且转动电机14的输出轴头部贯穿到机箱1内并固接有齿轮15，齿轮15与齿环24啮合。通过设置的转动电机14、齿轮15与齿环24便于带动转动柱2进行转动，从而使多个晶圆在镀膜时更加的均匀。
[0032]进一步的，滑块23相远离一侧的滑杆22上均套设有弹簧25，弹簧25的一端与滑槽21的一侧固定连接，弹簧25的另一端与滑块23固定连接。通过设置的弹簧25便于使两个夹持板3对晶圆实现夹持固定的目的。
[0033]进一步的，夹持板3的相对一侧开设有弧形槽31，且弧形槽31内涂制有防滑层。通过开设的弧形槽31便于增加夹持板3与晶圆的接触面积，同本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆镀膜设备，其特征在于：包括机箱(1)、转动柱(2)、夹持板(3)和清灰组件(4)，所述转动柱(2)竖向转动连接在机箱(1)内，且转动柱(2)的外表面圆周均匀开设有复数个滑槽(21)，各所述滑槽(21)内均固定连接有滑杆(22)，所述滑杆(22)上滑动连接有滑块(23)，且滑块(23)上下对称设置，所述夹持板(3)与对应的滑块(23)固定连接，所述清灰组件(4)设置在机箱(1)内并位于转动柱(2)的正后侧，所述机箱(1)的左右内侧壁上均固定安装有反应器(11)，机箱(1)的前侧左壁转动连接有密封门(12)，机箱(1)的底部四角处固定连接有四组橡胶防滑垫(13)。2.根据权利要求1所述一种晶圆镀膜设备，其特征在于：所述转动柱(2)的外表面位于顶部一端固定连接有齿环(24)，所述机箱(1)的顶部固定安装有转动电机(14)，且转动电机(14)的输出轴头部贯穿到机箱(1)内并固接有齿轮(15)，所述齿轮(15)与齿环(24)啮合。3.根据权利要求1所述一种晶圆镀膜设备，其特征在于：所述滑块(23)相远离一侧的滑杆(22)上均套设有弹簧(25)，所述弹簧(25)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王法营，孙萌，叶顶华，
申请(专利权)人：杭州豫荣真空镀膜设备有限公司，
类型：新型
国别省市：