一种组装式压杆硅片花篮制造技术

本实用新型专利技术是一种组装式压杆硅片花篮，包括：两侧板，其平行且相对设置；至少一底杆，其连接两侧板，并位于两侧板的底部，其适于支撑硅片底部；至少一对侧杆，其连接两侧板，并位于两侧板的左右两侧，其适于支撑硅片的左右侧边；至少一压杆，其与两侧板可拆卸连接，并位于两侧板的顶壁，其适于压设硅片的顶部；锯齿条，其设置在底杆

【技术实现步骤摘要】
一种组装式压杆硅片花篮


[0001]本技术涉及硅片花篮，特别是一种组装式压杆硅片花篮
。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物；清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种；
[0003]常规的清洗方法是将硅片插入至硅片花篮中，实现对硅片的固定；但现有的硅片花篮由于便于硅片竖直向下的插入，硅片花篮的顶部往往不设置有压杆，这样硅片顶部缺少支撑，在对清洗过程中会发生贴片的可能；
[0004]综上，如何增加对硅片顶部的支撑成为了本领域研究人员急需解决的问题
。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是：
[0006]为解决上述技术问题，本技术采取的技术方案为：
[0007]本技术是一种组装式压杆硅片花篮，包括：两侧板，其平行且相对设置；至少一底杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的底部，其适于支撑硅片底部；至少一对侧杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的左右两侧，其适于支撑硅片的左右侧边；至少一压杆，其与两所述侧板可拆卸连接，并位于两所述侧板的顶壁，其适于压设硅片的顶部；锯齿条，其设置在所述底杆
、
侧杆
、
压杆上，相邻所述锯齿条形成对硅片限位的空间；
[0008]两侧板之间设置有底杆
、
侧杆，实现了对硅片底部
、
侧边的支撑；在本方案中，侧板顶部可拆卸设置有顶杆，顶杆能够实现对硅片顶部的支撑，这样一来，当需要插入硅片时，将顶杆与侧板脱离，防止硅片在插入时发生干涉；当完成硅片的插入后，将顶杆与侧板安装连接，顶杆支撑硅片的顶部，防止硅片之间发生贴片的可能；
[0009]底杆
、
侧杆
、
压杆上均设置有锯齿条，硅片的侧边卡入在两两锯齿条之间，实现对锯齿条的固定
。
[0010]当安装顶杆时，为了防止顶杆发生轴向的移动，本技术采用靠近所述压杆的两端端部设置有限位部；所述限位部适于与所述侧边的内侧面相抵，限制压杆的轴向安装位置；
[0011]在本方案中，两侧板的位置由于侧杆
、
底杆的固定而距离不变，顶杆安装在侧板顶部时，为了实现顶杆的轴向定位，在顶杆两端设置有限位部，两限位部端面的间距为两侧板的距离，限位部与侧板相抵，限制了顶杆的轴向移动
。
[0012]如何实现顶杆与侧板的可拆卸连接，本技术采用所述压杆的的端面对称设置有第一凸起部
、
第二凸起部；所述侧板顶部向下延伸设置供所述第一凸起部自转的拱形通道以及使得第二凸起部做弧形运动的弧形通道；当所述第一凸起部自转，所述第二凸起部绕所述第一凸起部做弧形运动时，带动所述压杆做转动运动；
[0013]在顶杆的两端部的端面上设置有第一凸起部
、
第二凸起部；侧板上开设有拱形通道
、
弧形通道，第一凸起部置于拱形通道内，第二凸起部置于弧形通道内，第一凸起部在拱形通道内自转，第二凸起部在弧形通道内进行弧形运动，这样以第一凸起部为转动中心，第二凸起部发生转动，实现了顶杆的转动，将顶杆与侧板连接；
[0014]需要注意的时，由于顶杆上设置有锯齿条，当完成对
、
侧板顶杆的安装后，锯齿条的位置应处于顶杆的正底部
。
[0015]为了防止第二凸起部脱离弧形通道，本技术采用所述弧形通道内设置有凸起；当所述第二凸起部位于所述弧形通道的底部时，所述凸起与所述第二凸起部相抵，限制所述第二凸起部与所述弧形通道底部脱离；
[0016]这样一来，当第二凸起部位于弧形通道底部时，此时凸起与第二凸起部相抵，限制第二凸起脱离弧形通道底部，此时通过人工稍微施加作用力，便能使得第二凸起部脱离凸起的限制，将顶杆与侧板分离
。
[0017]为了能够便于第二凸起部的弧形运动，第一凸起部的自转，本技术采用所述第一凸起部
、
第二凸起部上均设置有手持部；
[0018]手持部超过侧板端面，具体操作方式为，将大拇指抵住第一凸起部的手持部，食指抵住第二凸起部的手持部，转动手腕，使得顶杆发生转动，将顶杆与侧边安装或者脱离
。
[0019]本技术的有益效果：本技术是一种组装式压杆硅片花篮，两侧板之间设置有底杆
、
侧杆，实现了对硅片底部
、
侧边的支撑；在本方案中，侧板顶部可拆卸设置有顶杆，顶杆能够实现对硅片顶部的支撑，这样一来，当需要插入硅片时，将顶杆与侧板脱离，防止硅片在插入时发生干涉；当完成硅片的插入后，将顶杆与侧板安装连接，顶杆支撑硅片的顶部，防止硅片之间发生贴片的可能
。
附图说明
[0020]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明
。
[0021]图1是本技术的结构示意图；
[0022]图2是压杆的结构示意图；
[0023]图3是侧板与压杆配合图；
[0024]图4是侧板与压杆分离图；
[0025]图5是图
4A
处的放大图；
[0026]图中：1‑
侧板
、2
‑
侧杆
、3
‑
压杆
、4
‑
锯齿条
、5
‑
限位部
、6
‑
第一凸起部
、7
‑
第二凸起部
、8
‑
拱形通道
、9
‑
弧形通道
、10
‑
凸起
、11
‑
手持部
。
具体实施方式
[0027]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明
。
这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成
。
[0028]如图1所示，本技术是一种组装式压杆硅片花篮，包括：两侧板1，其平行且相对设置；至少一底杆，其连接两所述侧板1，并位于两所述侧板1的底部，其适于支撑硅片底部；至少一对侧杆2，其连接两所述侧板1，并位于两所述侧板1的左右两侧，其适于支撑硅片的左右侧边；至少一压杆3，其与两所述侧板1可拆卸连接，并位于两所述侧板1的顶壁，其适
于压设硅片的顶部；锯齿条4，其设置在所述底杆
、
侧杆
2、
压杆3上，相邻所述锯齿条4形成对硅片限位的空间；
[0029]两侧板之间设置有底杆
、
侧杆，实现了对硅片底部
、
侧边的支撑；在本方案中，侧板顶部可拆卸设置有顶杆，顶杆能够实现对硅片顶部的支撑，这样一来，当需要插入硅片时，将顶杆与侧板脱离，防止硅片在插入时发生干涉；当完成硅片的插入后，将顶杆与侧板安装连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种组装式压杆硅片花篮，其特征在于，包括：两侧板，其平行且相对设置；至少一底杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的底部，其适于支撑硅片底部；至少一对侧杆，其连接两所述侧板，并位于两所述侧板的左右两侧，其适于支撑硅片的左右侧边；至少一压杆，其与两所述侧板可拆卸连接，并位于两所述侧板的顶壁，其适于压设硅片的顶部；锯齿条，其设置在所述底杆
、
侧杆
、
压杆上，相邻所述锯齿条形成对硅片限位的空间；靠近所述压杆的两端端部设置有限位部；所述限位部适于与所述侧边的内侧面相抵，限制所述压杆的轴向安装位置
。2.
根据权利要求1所述的一种组装式压杆硅片花篮，其特征在于，所述压杆的端...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀珍，
申请(专利权)人：常州市杰洋精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：