一种连续加料真空蒸发镀膜源系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种连续加料真空蒸发镀膜源系统，由若干个真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布，所述真空蒸发镀膜源包括全自动加料装置

【技术实现步骤摘要】
一种连续加料真空蒸发镀膜源系统


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种连续加料真空蒸发镀膜源系统
。

技术介绍

[0002]在真空镀膜设备中，常用的蒸发源有电阻式加热蒸发源
、
电子束式加热蒸发源
、
感应式加热蒸发源
。
其中，电阻式加热蒸发源蒸发速率小，且对膜材纯度要求；电子束加热蒸发源整体结构比较复杂，设备成本相对较高；而感应式加热蒸发源蒸发速率大，蒸发源温度均匀稳定可控性好，对膜材纯度要求也略宽些，市场上应用也最为广泛
。
真空蒸发镀膜源系统是一种真空镀膜中金属材料蒸发装置之一，市场上应用较广泛，市场需求大
。
[0003]目前市场上真空蒸发镀膜设备上使用的感应蒸发源大多采用一次性加料或一级坩埚熔融
+
二级坩埚蒸发
。
采用一次性加料受坩埚实际体积大小限制，加料一次同等镀膜幅宽的镀膜总长度小，且加热时热量损失较大，热效率低，另外二次加料需解除原有真空环境，设备利用效率相应较低；采用一级坩埚熔融
+
二级坩埚蒸发，因两者中间需通流量控制阀来控制加料，流体控制阀需要耐高温，对流量控制阀要求高，且存在堵塞问题，不易维修维护，且二级坩埚采用整体式
(
长条槽状体
)
温度控制难度大，镀层均匀性相对比较差
。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本技术提供了一种物料成本低，工作可靠性高，兼容性好，后期维修维护方便的连续加料真空蒸发镀膜源系统
。
[0005]为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：一种连续加料真空蒸发镀膜源系统，由若干个真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布，所述真空蒸发镀膜源包括全自动加料装置
、
可控熔融装置和感应蒸发装置，所述全自动加料装置由送丝机
、
金属丝
、
送丝盘
、
送丝盘支架组成，所述可控熔融装置由陶瓷管和陶瓷管加热线圈组成，所述陶瓷管设有三个功能段，前段为不加热段，陶瓷管中段为加热段坡度小，末段为快速下料端坡度大，中间段外圈缠绕陶瓷管加热线圈，所述感应蒸发装置由石墨坩埚
、
坩埚加热线圈
、
保温层组成，所述石墨坩埚内壁上设有坩埚液位传感器
。
[0006]进一步的，所述真空蒸发镀膜源根据产品膜宽设置数量，且每个真空蒸发镀膜源单独控制加热温度
。
[0007]进一步的，所述陶瓷管还前端装有隔热进料嘴
。
[0008]由上述对本技术结构的描述可知，和现有技术相比，本技术具有如下优点：
[0009]1、
采用全自动加料装置，能通过控制送丝机的启停，精准补料，保证石墨坩埚中熔融金属液位稳定在一定的高度范围内且蒸距不变，腔室内可备金属丝原料更多，连续加料熔融蒸发，加料一次总蒸发镀膜面积更大，大大提高了设备工作效率，且送丝机不受高温影响，物料成本更低，工作可靠性更高，后期维修维护也更方便；
[0010]2、
可控熔融装置中陶瓷管设计有三个功能段，有效保证熔融金属温度，又减少热量损失，且陶瓷管末端部受金属蒸发热辐射影响，温度更高，陶瓷管内不会有金属堵塞现象；
[0011]3、
真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布，每个真空蒸发镀膜源能单独控制加热温度，通过系统实时监测调控能有效保证镀膜的均匀性，可根据产品膜宽，相应增减蒸发镀膜源，提高设备镀膜兼容性
。
附图说明
[0012]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定
。
在附图中：
[0013]图1为本技术连续加料真空蒸发镀膜源的结构示意图；
[0014]图2为本技术实施例连续加料真空蒸发镀膜源系统平面布置图
。
[0015]图中：
1、
石墨坩埚，
2、
陶瓷管加热线圈，
3、
保温层，
4、
坩埚加热线圈，
5、
陶瓷管，
6、
隔热进料嘴，
7、
送丝机，
8、
金属丝，
9、
送丝盘，
10、
送丝盘支架，
11、
坩埚液位传感器
。
具体实施方式
[0016]为了使本技术的目的
、
技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明
。
应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术
。
[0017]实施例
[0018]参考图
1、
图2，一种连续加料真空蒸发镀膜源系统，由九个真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布，能有效保证镀膜的均匀性，另外可根据产品膜宽，相应增减蒸发镀膜源，提高设备镀膜兼容性，所述真空蒸发镀膜源包括全自动加料装置
、
可控熔融装置和感应蒸发装置，全自动加料装置为前端熔融装置提供连续的金属丝原料，根据坩埚液位传感器反馈的信号自动启动或停止送丝加料；可控熔融装置用于对金属丝进行加热熔融，并直接流入石墨坩埚中；感应蒸发装置用于把熔融金属继续热至气化蒸发，以实现蒸发镀膜
。
[0019]所述全自动加料装置由送丝机
7、
金属丝
8、
送丝盘
9、
送丝盘支架
10
组成，根据坩埚液位传感器反馈的信号，系统自动控制送丝机7启动或停止输送金属丝8到熔融装置，送丝盘9结构简单且方便操作更换金属丝8，换料效率高；
[0020]所述可控熔融装置由陶瓷管5和陶瓷管加热线圈4组成，所述陶瓷管5设有三个功能段，前段为不加热段，并在前端装有隔热进料嘴6，保证金属在此处不被加热断料以便连续供料，陶瓷管5中段为加热段坡度小，中间段外圈缠绕陶瓷管加热线圈4，由中频机提供交流电，感应加热使金属丝8在此段熔融，陶瓷管5中段坡度小，保证熔融金属具有足够高温度，末段坡度大，有得熔融金属快速流入到石墨坩埚中，减少热量损失；
[0021]所述感应蒸发装置由石墨坩埚
1、
坩埚加热线圈
2、
保温层3组成，所述石墨坩埚内壁上设有坩埚液位传感器，感应蒸发装置持续加热熔融金属使其气化蒸发，配合全自动加料装置
、
可控熔融装置联动作业，有效保证石墨坩埚1中熔融金属液位稳定在一定的高度范
围内，有效保证蒸距不变，更好保证镀膜质量
。
[0022]本技术采用全自动加料装置，能通过控制送丝机的启停，精准补料，保证石墨坩埚中熔融金属液位稳定在一定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种连续加料真空蒸发镀膜源系统，其特征在于：由若干个真空蒸发镀膜源沿膜宽方向二排平行且间隔交错排布，所述真空蒸发镀膜源包括全自动加料装置
、
可控熔融装置和感应蒸发装置，所述全自动加料装置由送丝机
(7)、
金属丝
(8)、
送丝盘
(9)、
送丝盘支架
(10)
组成，所述可控熔融装置由陶瓷管
(5)
和陶瓷管加热线圈
(4)
组成，所述陶瓷管
(5)
设有三个功能段，前段为不加热段，陶瓷管
(5)
中段为加热段坡度小，末段为快速下料...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲永鹏，李志达，刘杰波，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：