防硅片撞花篮底杆制造技术

本实用新型专利技术公开了防硅片撞花篮底杆，属于硅片清洗领域，防硅片撞花篮底杆，包括承重杆，承重杆为长方体结构，承重杆的上表面开设有呈凸形结构的插槽，插槽的开口处设置有侧挡机构，插槽的下壁安装有长条形的气囊，气囊的上表面设置有活塞板，活塞板远离气囊的一面安装有插板，插板的一端沿插槽延伸出承重杆内部，插板延伸出承重杆内部的一端沿水平阵列分布有多个硅胶条，侧挡机构包括对称设置在插槽开口处的两个硅胶板，两个硅胶板分别位于插槽的两边，两个硅胶板的内部沿轴向均安装有记忆合金条，它可以实现，硅片触底时进行缓冲，转化硬碰撞为弹性碰撞，减少撞击花篮导致下表面损伤的硅片

【技术实现步骤摘要】
防硅片撞花篮底杆


[0001]本技术涉及硅片清洗领域，更具体地说，涉及防硅片撞花篮底杆
。

技术介绍

[0002]单晶硅薄片是制作芯片的重要基材，一般用单晶硅棒经线切割制成，硅片表面洁净度要求较高，往往码放到花篮中，放入超声波清洗机中进行清洗，洗去杂质，为使硅片在花篮中之间保持间隙，需要在花篮的下端设置底杆，来支撑硅片；
[0003]经专利检索发现，公开号为
CN214588768U
的中国专利公开了一种硅片清洗用花篮，包括两个对称设置的挡板，两个挡板侧壁位置自上而下开设有若干均匀分布的贯穿连接孔，两个挡板之间靠近下方位置设置有两个对称设置的承重杆，两个承重杆与对应位置的贯穿连接孔固定连接，两个挡板之间位于承重杆上方位置设置有两个对称设置的加强筋螺纹杆，两个加强筋螺纹杆与对应位置的贯穿连接孔固定连接，两个挡板位于加强筋螺纹杆上方位置设置有两个对称设置的限位螺纹杆，其虽然通过在两个挡板之间设置加强筋螺纹杆和限位螺纹杆，将硅片放在两个限位螺纹杆之间，硅片之间存在一定的间隙，在清洗时不会存在死角，使得清洗彻底；
[0004]但上述专利装载硅片时，通过花篮内的加强筋螺纹杆和限位螺纹杆承接硅片，而加强筋螺纹杆和限位螺纹杆不方便对硅片进行缓冲，与硅片下表面发生硬碰撞，硅片质脆，导致硅片下表面损伤的问题，为此我们提出防硅片撞花篮底杆
。

技术实现思路

[0005]1.
要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供防硅片撞花篮底杆，它可以实现，硅片触底时进行缓冲，转化硬碰撞为弹性碰撞，减少撞击花篮导致下表面损伤的硅片
。
[0007]2.
技术方案
[0008]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案
。
[0009]防硅片撞花篮底杆，包括承重杆，所述承重杆为长方体结构，所述承重杆的上表面开设有呈凸形结构的插槽，所述插槽的开口处设置有侧挡机构，所述插槽的下壁安装有长条形的气囊，所述气囊的上表面设置有活塞板，所述活塞板远离气囊的一面安装有插板，所述插板的一端沿插槽延伸出承重杆内部，所述插板延伸出承重杆内部的一端沿水平阵列分布有多个硅胶条
。
[0010]进一步的，所述侧挡机构包括对称设置在插槽开口处的两个硅胶板，两个所述硅胶板分别位于插槽的两边，两个所述硅胶板的内部沿轴向均安装有记忆合金条
。
[0011]进一步的，所述硅胶板的宽度均大于承重杆的宽度，所述记忆合金条均正对插板的中轴线
。
[0012]进一步的，所述气囊的下表面贯穿安装有进气管，所述进气管的一端向下延伸出
承重杆内部且装配有气阀
。
[0013]进一步的，所述承重杆上表面的两边均粘接有包边，所述承重杆的两端均垂直焊接有法兰板
。
[0014]进一步的，所述插槽的下壁还开设有多个漏水孔
。
[0015]3.
有益效果
[0016]相比于现有技术，本技术的优点在于：
[0017](1)
本方案清洗硅片时，逐个放入硅片，用插板的上表面承接并通过硅胶条分隔，使硅片之间留出间隙，而硅片下压插板，带动活塞板下压气囊，通过气囊的形变，插板和活塞板下降，硅片触底时进行缓冲，转化硬碰撞为弹性碰撞，减少撞击花篮导致下表面损伤的硅片，同时插槽限制插板和活塞板沿竖直方向运动，能够扶正
。
[0018](2)
本方案硅片插入硅胶条的间隙时，间隙的宽度大于硅片的厚度，硅片容易倒向一侧，直至最外侧的硅片贴住对应硅胶板，硅胶板质软，发生弹性碰撞，不会引起硅片的形变，使得硅片从倒向侧被挡住，不会撞击花篮的两侧，并且记忆合金条在硅胶条内部作用骨架，提高硅胶条的支撑强度，硅胶条变形后，在记忆合金条的特性作用下恢复形状
。
附图说明
[0019]图1为本技术的主视的结构示意图；
[0020]图2为本技术的剖视的结构示意图；
[0021]图3为本技术的图1中
A
处的放大结构示意图；
[0022]图4为本技术的图2中
B
处的放大结构示意图
。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、
承重杆；
2、
插槽；
3、
气囊；
4、
活塞板；
5、
插板；
6、
硅胶条；
7、
硅胶板；
8、
记忆合金条；
9、
进气管；
10、
气阀；
11、
包边；
12、
法兰板；
13、
漏水孔
。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0026]实施例：
[0027]请参阅图1‑4，防硅片撞花篮底杆，包括承重杆1，承重杆1为长方体结构，承重杆1的上表面开设有呈凸形结构的插槽2，插槽2的开口处设置有侧挡机构，插槽2的下壁通过粘接的方式安装有长条形的气囊3，气囊3的上表面设置有活塞板4，活塞板4远离气囊3的一面安装有插板5，插板5的上表面有圆角，插板5的一端沿插槽2延伸出承重杆1内部，插板5延伸出承重杆1内部的一端沿水平阵列分布有多个硅胶条6，硅胶条6的两端分别沿插板5的圆角向下翻折，先将指定数量的承重杆1安装到花篮的下端，清洗硅片时，花篮抬升到超声波清洗机的上料位，逐个放入硅片，用插板5的上表面承接并通过硅胶条6分隔，使硅片之间留出间隙，而硅片下压插板5，带动活塞板4下压气囊3，通过气囊3的形变，插板5和活塞板4下降，硅片触底时进行缓冲，转化硬碰撞为弹性碰撞，减少撞击花篮导致下表面损伤的硅片，同时
插槽2限制插板5和活塞板4沿竖直方向运动，能够扶正，并用侧挡机构保护硅片的两侧
。
[0028]参阅图1和图2，侧挡机构包括对称设置在插槽2开口处的两个硅胶板7，两个硅胶板7分别位于插槽2的两边，两个硅胶板7的内部沿轴向均安装有记忆合金条8，硅片插入硅胶条6的间隙时，间隙的宽度大于硅片的厚度，硅片容易倒向一侧，直至最外侧的硅片贴住对应硅胶板7，硅胶板7质软，发生弹性碰撞，不会引起硅片的形变，使得硅片从倒向侧被挡住，不会撞击花篮的两侧，并且记忆合金条8在硅胶条6内部作用骨架，提高硅胶条6的支撑强度，硅胶条6变形后，在记忆合金条8的特性作用下恢复形状
。
[0029]参阅图1和图2，硅胶板7的宽度均大于承重杆1的宽度，方便以较大支撑面支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
防硅片撞花篮底杆，包括承重杆
(1)
，其特征在于：所述承重杆
(1)
为长方体结构，所述承重杆
(1)
的上表面开设有呈凸形结构的插槽
(2)
，所述插槽
(2)
的开口处设置有侧挡机构，所述插槽
(2)
的下壁安装有长条形的气囊
(3)
，所述气囊
(3)
的上表面设置有活塞板
(4)
，所述活塞板
(4)
远离气囊
(3)
的一面安装有插板
(5)
，所述插板
(5)
的一端沿插槽
(2)
延伸出承重杆
(1)
内部，所述插板
(5)
延伸出承重杆
(1)
内部的一端沿水平阵列分布有多个硅胶条
(6)。2.
根据权利要求1所述的防硅片撞花篮底杆，其特征在于：所述侧挡机构包括对称设置在插槽
(2)
开口处的两个硅胶板
(7)
，两个所述硅胶板
(7)
分...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，桑秀成，
申请(专利权)人：弘元新材料徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：