一种硅块以及硅粉的筛分收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，包括多级筛分机构，多级筛分机构的上部设置有下料口，下料口上设置有引入物料的料斗一；多级筛分机构内设置有与下料口连通的多级筛分腔，多级筛分腔内设置有若干层从上至下并列间隔设置的分筛层板，分筛层板将多级筛分腔分隔成多层分筛层，每层分筛层内还设置有传送通道，传送通道内设置有内部分筛隔板，每层分筛层均设置有出料口和真空吸附口；真空吸附口还连接有硅粉收集装置

【技术实现步骤摘要】
一种硅块以及硅粉的筛分收集装置


[0001]本技术涉及半导体生产加工领域，具体涉及一种硅块以及硅粉的筛分收集装置
。

技术介绍

[0002]现有电子级多晶硅主要采用改良西门子法进行生产，利用化学气相沉积在
CVD
反应器内生产电子级多晶硅棒，电子级多晶硅棒再经过破碎
、
筛分
、
清洗等后续工艺才能获得直径范围在6～
100mm
的硅块产品，此产品可用于下游半导体硅片制造环节进行单晶硅棒拉制
。
电子级多晶硅棒经过破碎后，一般使用单级或多级筛分设备进行分选，将电子级多晶硅块
(
以下简称“硅块”)
分选为不同粒径分布的规格用于销售
。
[0003]硅块在破碎过程中容易产生粉尘吸附在硅块表面，对于免洗硅料而言，粉尘会在运输过程中进一步富集并吸附杂质，在下游单晶拉制过程中，不仅会影响单晶产品纯度，还会漂浮在融化的硅液表面，造成单晶拉制的断苞，影响成晶率
。
而对于清洗硅料而言，粉尘的存在也会大幅影响清洗效果，使得最终产品表面杂质含量增加，影响产品质量
。

技术实现思路

[0004]本技术克服了现有技术的不足，提供一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，提高了硅块的分离洁净度和硅块分离的便捷性，减少硅粉的附着
。
[0005]为达到上述目的，本技术采用的技术方案为：一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，包括多级筛分机构，所述多级筛分机构的上部设置有下料口，所述下料口上设置有引入物料的料斗一；所述多级筛分机构内设置有与所述下料口连通的多级筛分腔，所述多级筛分腔内设置有若干层从上至下并列间隔设置的分筛层板，所述分筛层板将所述多级筛分腔分隔成多层分筛层，每层分筛层内还设置有传送通道，所述传送通道内设置有内部分筛隔板，所述每层分筛层均设置有出料口和真空吸附口；真空吸附口还连接有硅粉收集装置
。
[0006]本技术一个较佳实施例中，真空吸附口位于所述每层分筛层的上端；所述多级筛分机构上设置有除磁机构
。
[0007]本技术一个较佳实施例中，每层所述分筛层内还设置有多个用于引入氮气的管路
。
[0008]本技术一个较佳实施例中，多层分筛层包括从上至下排布的一级筛分层
、
二级筛分层
、
三级筛分层；且所述一级筛分层和二级筛分层之间的分筛层板的分筛孔隙大于所述二级筛分层和三级筛分层之间的分筛层板的分筛孔隙
。
[0009]本技术一个较佳实施例中，每层所述分筛层内嵌设的内部分筛隔板的孔隙大小与所述对应层的分筛隔板衔接的分筛层板的孔隙大小一致
。
[0010]本技术一个较佳实施例中，每一层所述的分筛层的尾部设置的排料口与运送通道连接，所述运送通道的一端与所述排料口对应，所述运送通道的另一端通过出料口与吨袋一对应
。
[0011]本技术一个较佳实施例中，多级筛分机构与所述安装架之间设置有弹性支撑机构；所述震动电机安装在所述安装架上，且震动电机的驱动端与所述多级筛分机构驱动连接，所述震动电机驱动所述多级筛分机构在所述安装架上震动抖动
。
[0012]本技术一个较佳实施例中，硅粉收集装置包括布袋除尘器，所述布袋除尘器的料斗二与所述真空吸附口连接，所述布袋除尘器的下料口与多通下料转接头连接，且多通下料转接头的主通道的上端与所述下料口连接，所述主通道的下端与收纳的吨袋二对接；且主通道的两侧还分别连接有进气管线
、
抽气管线
。
[0013]本技术一个较佳实施例中，且所述进气管线和抽气管线分别倾斜向下与主通道连通；进气管线引入的是惰性气体
。
进一步的，惰性气体采用的是氮气
。
[0014]本技术解决了
技术介绍
中存在的缺陷，本技术的有益效果：
[0015]本技术公开的是一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，提高了硅块的分离洁净度和硅块分离的便捷性
。
两次筛分的设计，减少收集得到的硅块的粒径误差，并且设有抽真空装置，减少硅粉的附着
。
还能实现在线助吹，放置料道堵塞，提升下料的顺畅性
。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明
。
[0017]图1是本技术优选实施例中硅块以及硅粉的筛分收集装置的结构示意图；
[0018]其中，
1、
料斗一，
11
‑
下料口，2‑
多级筛分机构，
21
‑
多级筛分腔，
211
‑
一级筛分层，
212
‑
二级筛分层，
213
‑
三级筛分层，
22
‑
出料口，
23
‑
真空吸附口，
24
‑
内部分筛隔板，
25
‑
分筛层板，
26
‑
除磁机构，
27
‑
吨袋一，
28
‑
运送通道，3‑
安装架，4‑
硅粉收集装置，
41
‑
料斗二，5‑
多通下料转接头，
51
‑
主通道，
52
‑
进气管线，
53
‑
抽气管线，6‑
套管，
61
‑
安装部，7‑
吨袋二
,8
‑
真空抽吸口，9‑
震动电机
。
具体实施方式
[0019]现在结合附图和实施例对本技术作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成
。
[0020]如图1所示，一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，包括多级筛分机构2，多级筛分机构2与安装架3之间设置有弹性支撑机构；震动电机9安装在安装架3上，且震动电机9的驱动端与多级筛分机构2驱动连接，震动电机9驱动多级筛分机构2在安装架3上震动抖动
。
多级筛分机构2的上部设置有下料口
11
，下料口
11
上设置有引入物料的料斗一
1。
多级筛分机构2内设置有与下料口
11
连通的多级筛分腔
21
，多级筛分腔
21
内设置有多层从上至下并列间隔设置的分筛层板
25
，分筛层板
25
将多级筛分腔
21
分隔成多层分筛层，每层分筛层内还设置有传送通道
。
多级筛分机构2上设置有除磁机构
26。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，其特征在于：包括驱动设置在安装架上的多级筛分机构，所述多级筛分机构与震动电机震动衔接；且所述多级筛分机构的上部设置有下料口，所述下料口上设置有引入物料的料斗一；所述多级筛分机构内设置有与所述下料口连通的多级筛分腔，所述多级筛分腔内设置有若干层从上至下并列间隔设置的分筛层板，所述分筛层板将所述多级筛分腔分隔成多层分筛层，每层分筛层内还设置有传送通道，所述传送通道内设置有内部分筛隔板，所述每层分筛层均设置有出料口和真空吸附口；所述真空吸附口还连接有硅粉收集装置
。2.
根据权利要求1所述的一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，其特征在于：所述真空吸附口位于所述每层分筛层的上端；所述多级筛分机构上设置有除磁机构
。3.
根据权利要求2所述的一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，其特征在于：每层所述分筛层内还设置有多个用于引入氮气的管路
。4.
根据权利要求3所述的一种硅块以及硅粉的筛分收集装置，其特征在于：所述多层分筛层包括从上至下排布的一级筛分层
、
二级筛分层
、
三级筛分层；且所述一级筛分层和二级筛分层之间的分筛层板的分筛孔隙大于所述二级筛分层和三级筛分层之间的分筛层板的分筛孔隙
。5.
根据权利要求1所述的一种硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟坤，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：