固晶用摆臂结构和固晶设备制造技术

本申请提出了一种固晶用摆臂结构和一种固晶设备，本摆臂结构包括转轴、抵接板、弹力摆臂和下压连杆；转轴绕其轴线转动，并且转轴的轴线沿上下方向延伸；抵接板的第一端与转轴的外周固定连接；弹力摆臂设置于抵接板的下方，弹力摆臂的第一端与转轴的外周固定连接、第二端与抵接板第二端的下侧相抵接，且弹力摆臂第二端的端部设置有吸嘴；下压连杆与转轴相隔设置，下压连杆沿上下方向滑动、并且其下端与弹力摆臂第二端的上侧相抵接；本申请可以降低驱动转轴转动的电机的劳损。动转轴转动的电机的劳损。动转轴转动的电机的劳损。

【技术实现步骤摘要】
固晶用摆臂结构和固晶设备


[0001]本申请涉及固晶设备
，尤其涉及一种固晶用摆臂结构和一种固晶设备。

技术介绍

[0002]现有的固晶设备的取晶或者固晶的动作过程为：旋转电机驱动转轴、带动摆臂来回摆动，并且转轴上的下压电机驱动凸轮、带动摆臂下压(或者转轴上的直线电机直接驱动摆臂下压)，以便进行取晶或者固晶；由此，旋转电机要驱动转轴、摆臂以及转轴上的下压电机摆动，其(旋转电机)所受的荷载较大，加之旋转电机需要经常变速(旋转电机要驱动转轴、摆臂以及下压电机来回摆动，摆臂需要减速、以便进行取晶或者固晶)，因此，旋转电机容易出现疲劳、发生损坏，此时需要将固晶设备停机、并对旋转电机进行检修，但这样会影响固晶效率。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种固晶用摆臂结构和一种固晶设备，本申请的下压连杆(下压机构)非设置在转轴上，这样可以减轻转轴所受的荷载，降低驱动转轴转动的电机的劳损；并且完成取晶或者固晶之后，弹力摆臂可以自动回弹，以避免弹力摆臂在转动(非取晶或者固晶)时、误触碰到晶圆环或者基板。
[0004]为此，第一方面，本申请实施例提供了一种固晶用摆臂结构，其包括转轴、抵接板、弹力摆臂和下压连杆；所述转轴绕其轴线转动，并且所述转轴的轴线沿上下方向延伸；所述抵接板的第一端与所述转轴的外周固定连接；所述弹力摆臂设置于所述抵接板的下方，所述弹力摆臂的第一端与所述转轴的外周固定连接、第二端与所述抵接板第二端的下侧相抵接，且所述弹力摆臂第二端的端部设置有吸嘴；所述下压连杆与所述转轴相隔设置，所述下压连杆沿上下方向滑动、并且其下端与所述弹力摆臂第二端的上侧相抵接。
[0005]在第二方面，本申请还提出了一种固晶设备，其包括至少一个如第一方面所述的固晶用摆臂结构。
[0006]本申请提出了一种固晶用摆臂结构和一种固晶设备，与现有技术相比，其有益效果在于：
[0007]在本摆臂结构中，转轴转动、带动抵接板和弹力摆臂一起转动，至取晶或者固晶位置时，下压连杆会向下滑动、以按压弹力摆臂第二端，以使得弹力摆臂第二端的吸嘴向下移动，吸取晶圆环上的晶片或者将晶片放置在基板上；完成取晶或者固晶后，下压连杆会向上移动，并且弹力摆臂会自动回弹、至其第二端与抵接板第二端的下侧相抵接，与此同时，弹力摆臂跟随转轴转动，在非取晶或者固晶位置，弹力摆臂不会触碰到晶圆环或者基板，以保证固晶工作可以顺利进行；因此，本申请将下压连杆与转轴分隔设置，可以减轻转轴所受的荷载，以减轻驱动转轴转动的电机的劳损。
[0008]本申请还提出了一种应用了上述摆臂结构的固晶设备。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。另外，在附图中，相同的部件使用相同的附图标记，且附图并未按照实际的比例绘制。
[0010]图1是本申请一实施例的摆臂结构的结构示意图；
[0011]图2是图1中所示出的摆臂结构另一视角的结构示意图；
[0012]图3是抵接板与弹力摆臂的连接关系示意图；
[0013]图4是图3中抵接板与弹力摆臂连接关系的部件分解图；
[0014]图5是图4中A区域的放大图；
[0015]附图标记说明：
[0016]1、转轴；2、抵接板；3、弹力摆臂；31、弹力板；32、连接块；4、下压连杆；5、吸嘴；6、调平螺丝；7、旋转电机；8、安装座；9、下压驱动机构；91、第一下压电机；92、凸轮组件。
具体实施方式
[0017]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0018]如图1
‑
图5中所示出，本申请实施例在第一方面提出了一种固晶用摆臂结构，其包括转轴1、抵接板2、弹力摆臂3和下压连杆4；转轴1绕其轴线转动，并且转轴1的轴线沿上下方向延伸；抵接板2的第一端与转轴1的外周固定连接；弹力摆臂3设置于抵接板2的下方，弹力摆臂3的第一端与转轴1的外周固定连接、第二端与抵接板2第二端的下侧相抵接，且弹力摆臂3第二端的端部设置有吸嘴5；下压连杆4与转轴1相隔设置，下压连杆4沿上下方向滑动、并且其下端与弹力摆臂3第二端的上侧相抵接。
[0019]基于上述技术方案，转轴1转动、带动抵接板2和弹力摆臂3一起转动，至取晶或者固晶位置时，下压连杆4会向下滑动、以按压弹力摆臂3第二端，以使得弹力摆臂3第二端的吸嘴5向下移动，吸取晶圆环上的晶片或者将晶片放置在基板上；完成取晶或者固晶后，下压连杆4会向上移动，并且弹力摆臂3会自动回弹、至其第二端与抵接板2第二端的下侧相抵接，与此同时，弹力摆臂3跟随转轴1转动，在非取晶或者固晶位置，弹力摆臂3不会触碰到晶圆环或者基板，以保证固晶工作可以顺利进行；因此，本申请将下压连杆4与转轴1分隔设置，可以减轻转轴1所受的荷载，以减轻驱动转轴1转动的电机的劳损，使得固晶工作可以持续长久进行。
[0020]在本申请中，弹力摆臂3设置于抵接板2的下方，于此，抵接板2转动时不会触碰到晶圆环或者基板。
[0021]下压连杆4与转轴1相隔设置，下压连杆4非设置在转轴1上，转轴1转动，下压连杆4不会跟随转动，只是在弹力摆臂3到达取晶或者固晶位置时，下压连杆4会向下滑动、以按压弹力摆臂3，使其上的吸嘴5可以吸取晶片或者进行固晶，于此，可以理解为：下压连杆4滑动
设置于取晶位置或者固晶位置的上方；在完成取晶或者固晶后，吸嘴5需要上移，此时，下压连杆4会向上移动，而弹力摆臂3会自发地回弹—其第二端会向上移动至接触抵接板2第二端的下侧，以带动吸嘴5向上移动。
[0022]具体地，为了减轻转轴1所受的荷载、以减轻驱动转轴1转动的电机的劳损，本申请优化了弹力摆臂3的结构；弹力摆臂3包括至少两个弹力板31和两个连接块32，弹力板31沿上下方向间隔排列，各个弹力板31的第一端均与其中一个连接块32连接，各个弹力板31的第二端均与另外一个连接块32连接，并且弹力板31第一端的端部均与转轴1的外周固定连接，弹力板31第二端的端部连接有吸嘴5。
[0023]这些弹力板31和两个连接块32组成了框架结构，这个框架结构中间有很多地方是镂空的，重量比较轻；并且，当下压连杆4按压位置最高的弹力板31时(进行取晶或者固晶时，下压连杆4会向下移动)，这个框架结构会形变，具体为：弹力板31形变、弯曲；于此，弹力板31会积蓄弹力；当下压连杆4向上滑动时(取晶或者固晶完成后)，弹力板31会恢复自身形状、其第二端会相应上移(第一端与转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶用摆臂结构，其特征在于，包括转轴、抵接板、弹力摆臂和下压连杆；所述转轴绕其轴线转动，并且所述转轴的轴线沿上下方向延伸；所述抵接板的第一端与所述转轴的外周固定连接；所述弹力摆臂设置于所述抵接板的下方，所述弹力摆臂的第一端与所述转轴的外周固定连接、第二端与所述抵接板第二端的下侧相抵接，且所述弹力摆臂第二端的端部设置有吸嘴；所述下压连杆与所述转轴相隔设置，所述下压连杆沿上下方向滑动、并且其下端与所述弹力摆臂第二端的上侧相抵接。2.根据权利要求1所述的固晶用摆臂结构，其特征在于，所述弹力摆臂包括至少两个弹力板和两个连接块；所述弹力板沿上下方向间隔排列，各个所述弹力板的第一端均与其中一个所述连接块连接，各个所述弹力板的第二端均与另外一个所述连接块连接；并且所述弹力板第一端的端部均与所述转轴的外周固定连接，所述弹力板第二端的端部连接有所述吸嘴。3.根据权利要求2所述的固晶用摆臂结构，其特征在于，所述抵接板第一端的下侧面为一水平面；位于所述弹力板第一端的所述连接块的上端面高于位置最高的所述弹力板的上侧面，并且此连接块的上端面为自所述弹力板第一端至所述弹力板第二端延伸、且向下倾斜的斜面；所述抵接板第一端的下侧面与此连接块的上端面相抵接，以使得位置最高的所述弹力板第二端的上侧面与所述抵接板第二端的下侧相抵接。4.根据权利要求2所述的固晶用摆臂结构，其特征在于，所述弹力板包括金属弹力板、塑料弹力板。5.根据权利要求1所述的固晶用摆臂结构，其特征在于，所述抵接板的第二端设置有调平螺丝，所述调平螺丝的下端抵接于所述弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈平，韦海成，吴勇，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：