一种双级罗茨真空泵制造技术

本发明专利技术公开一种双级罗茨真空泵，包括泵体

【技术实现步骤摘要】
一种双级罗茨真空泵


[0001]本专利技术涉及真空泵
，尤其涉及一种双级罗茨真空泵
。

技术介绍

[0002]罗茨真空泵是一种旋转容积式真空泵，能在较宽的压力范围内工作，且泵腔内无油，目前已广泛应用于半导体
、
电子
、
石油
、
化工等行业的真空系统
。
[0003]现在罗茨真空泵主要可以分为单级罗茨泵和多级罗茨真空泵，其中单级罗茨真空泵只有一个压缩腔，对吸入的气体只进行一次压缩，若是直接排放大气需要巨大的能耗，并会产生极高的压缩热和噪音，因此一般无法直接排放大气，只作为其它真空泵前置的增压泵
。
而多级罗茨真空泵则是配备四至六个压缩腔，对吸入的气体进行多次压缩，最终可以实现以较低的轴功率直接排大气
。
[0004]双级罗茨真空泵则是一种特殊需求的产品，它有两个压缩腔，对吸入的气体进行两次压缩，虽然适合直接排放大气，但作为其它真空泵前置的增压泵，相比单级罗茨真空泵可以获得更高的压缩从而使得在系统组合中可以得到更高的节能率，更高的极限真空度，更好的稳定性以及降低对前级泵的性能要求
。
尤其是在半导体
、
光伏
、
锂电池等应用领域中
。
而现在的真空机组都是采用单级罗茨真空泵与干式真空泵组合的真空系统
。
但随着半导体，光伏制程的技术更新和升级，对与之配套的真空机组提出了更高的性能要求，例如整体尺寸更小，真空度更高，耗电量更低，系统更稳定
。
此时若是采用双级罗茨真空泵替代原有的单级罗茨真空泵应用在真空机组内，则会出现性能的大幅提升
。
[0005]而现在双级罗茨真空泵由于罗茨转子的特殊结构，所以结构相对比较复杂，最早的方式都是采用一级和二级罗茨转子非整体的结构，即一级罗茨转子和二级罗茨转子的轴都是单独，利用轴健的方式进行嵌套拼装，同时对于泵壳来说也是需要一级一级拼装，结果导致零部件加工数量多，成本高，同时安装中累积误差也大，零件返修的几率很高，不能进行整体防腐处理，完全不适合批量生产
。
[0006]后来例如
CN116241461A
专利文献中所公开的采用上下分开的泵壳拼装方式，其是把一级罗茨转子和二级罗茨转子和轴做成整体，通过两个上下分开泵壳进行拼装，这种方式可以获得精度非常高的整体罗茨转子，且可以进行整体防腐处理
。
但是分开的上下两个泵壳的密封，并与之两侧端盖的密封则是非常困难的，只能使用密封胶，而无法使用密封条，大幅增加了泄露的隐患
。
同时一级转子的气流则是必然要利用泵壳的侧面作为通道进入二级，因此散热非常不畅
。
[0007]因此，如何克服上述现有技术方案的不足，获得一种全新结构的双级罗茨真空泵，成为本
亟待解决的课题
。

技术实现思路

[0008]本专利技术的目的在于至少解决现有技术中的不足之一，故提出一种双级罗茨真空泵，具体方案如下：
[0009]一种双级罗茨真空泵，其包括泵体
、
中隔板和相互啮合的两个罗茨转子部件，所述泵体沿轴线包括一级泵体和二级泵体，所述一级泵体与所述二级泵体之间密封连接，所述一级泵体设置有一级转子腔
、
连通所述一级转子腔和外界大气的进气口以及与所述一级转子腔连通的排气通道，所述二级泵体设置有二级转子腔
、
连通所述二级转子腔和外界大气的排气口以及与所述二级转子腔连通的进气通道，所述排气通道与所述进气通道连通，所述一级转子腔和所述二级转子腔分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧，所述一级转子腔和所述二级转子腔之间通过所述中隔板分隔，所述中隔板上设置有转子过孔，所述罗茨转子部件的两端分别与所述一级泵体和所述二级泵体可转动连接，所述罗茨转子部件沿轴线包括一级罗茨转子体
、
中间轴体和二级罗茨转子体，所述一级罗茨转子体位于所述一级转子腔内，所述二级罗茨转子体位于所述二级转子腔内，所述中间轴体位于所述转子过孔内
。
[0010]进一步的，所述罗茨转子部件一体成型，所述中隔板包括第一板体和第二板体，所述第一板体与所述一级泵体或所述二级泵体固定连接，所述第二板体与所述一级泵体或所述二级泵体固定连接，所述第一板体和所述第二板体的相对端分别对应设置有凹槽，形成所述转子过孔
。
[0011]进一步的，所述进气通道环绕所述二级转子腔设置
。
[0012]进一步的，所述一级泵体还设置有第一轴承腔，所述第一轴承腔位于所述一级转子腔背离所述二级转子腔的一侧，所述二级泵体还设置有第二轴承腔，所述第二轴承腔位于所述二级转子腔背离所述一级转子腔的一侧，
[0013]所述一级罗茨转子体背离所述中间轴体的一侧设置有第一端部轴体，所述第一端部轴体延伸至所述第一轴承腔内，并通过轴承与所述一级泵体可转动连接，
[0014]所述二级罗茨转子体背离所述中间轴体的一侧设置有第二端部轴体，所述第二端部轴体延伸至所述第二轴承腔内，并通过轴承与所述二级泵体可转动连接
。
[0015]进一步的，所述一级泵体对应所述第一轴承腔处设置有第一轴承冷却腔，和
/
或所述二级泵体对应所述第二轴承腔处设置有第二轴承冷却腔
。
[0016]进一步的，所述一级泵体上设置有分别与所述第一轴承冷却腔连通的第一冷却进口通道和第一冷却出口通道；和
/
或
[0017]所述二级泵体上设置有分别与所述第二轴承冷却腔连通的第二冷却进口通道和第二冷却出口通道
。
[0018]进一步的，所述一级泵体上设置有与所述第一轴承冷却腔连通的第一冷却置入口，和
/
或
[0019]所述二级泵体上设置有与所述第二轴承冷却腔连通的第二冷却置入口；
[0020]所述第一轴承冷却腔和
/
或所述第二轴承冷却腔内设置有冷却液容置装置，所述冷却液容置装置与所在泵体对应轴承腔的腔壁抵接
。
[0021]进一步的，所述冷却液容置装置与所在泵体对应轴承腔的腔壁之间设置有导热材料
。
[0022]进一步的，其还包括第一端盖
、
第二端盖和驱动装置，所述第一端盖盖设在所述一级泵体背离所述二级泵体的端侧，所述第一端盖与所述一级泵体之间形成与所述第一轴承腔连通的第一腔室，
[0023]所述第二端盖盖设在所述二级泵体背离所述一级泵体的端侧，所述第二端盖与所述二级泵体之间形成与所述第二轴承腔连通的第二腔室，
[0024]两个所述罗茨转子部件的第一端部轴体之间在所述第一腔室内传动连接，或两个所述罗茨转子部件的第二端部轴体之间在所述第二腔室内传动连接，
[0025]所述驱动装置能够驱动至少一个所述罗茨转子部件转动
。
[0026]进一步的，所述一级泵体设置有保温腔，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种双级罗茨真空泵，其特征在于，其包括泵体
(1)、
中隔板
(2)
和相互啮合的两个罗茨转子部件
(3)
，所述泵体
(1)
沿轴线包括一级泵体
(11)
和二级泵体
(12)
，所述一级泵体
(11)
与所述二级泵体
(12)
之间密封连接，所述一级泵体
(11)
设置有一级转子腔
(111)、
连通所述一级转子腔
(111)
和外界大气的进气口
(112)
以及与所述一级转子腔
(111)
连通的排气通道
(113)
，所述二级泵体
(12)
设置有二级转子腔
(121)、
连通所述二级转子腔
(121)
和外界大气的排气口
(122)
以及与所述二级转子腔
(121)
连通的进气通道
(123)
，所述排气通道
(113)
与所述进气通道
(123)
连通，所述一级转子腔
(111)
和所述二级转子腔
(121)
分别贯穿各自所在泵体朝向另一泵体的一侧，所述一级转子腔
(111)
和所述二级转子腔
(121)
之间通过所述中隔板
(2)
分隔，所述中隔板
(2)
上设置有转子过孔
(21)
，所述罗茨转子部件
(3)
的两端分别与所述一级泵体
(11)
和所述二级泵体
(12)
可转动连接，所述罗茨转子部件
(3)
沿轴线包括一级罗茨转子体
(31)、
中间轴体
(32)
和二级罗茨转子体
(33)
，所述一级罗茨转子体
(31)
位于所述一级转子腔
(111)
内，所述二级罗茨转子体
(33)
位于所述二级转子腔
(121)
内，所述中间轴体
(32)
位于所述转子过孔
(21)
内
。2.
根据权利要求1所述的双级罗茨真空泵，其特征在于，所述罗茨转子部件
(3)
一体成型，所述中隔板
(2)
包括第一板体
(22)
和第二板体
(23)
，所述第一板体
(22)
与所述一级泵体
(11)
或所述二级泵体
(12)
固定连接，所述第二板体
(23)
与所述一级泵体
(11)
或所述二级泵体
(12)
固定连接，所述第一板体
(22)
和所述第二板体
(23)
的相对端分别对应设置有凹槽，形成所述转子过孔
(21)。3.
根据权利要求1所述的双级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气通道
(123)
环绕所述二级转子腔
(121)
设置
。4.
根据权利要求1所述的双级罗茨真空泵，其特征在于，所述一级泵体
(11)
还设置有第一轴承腔
(114)
，所述第一轴承腔
(114)
位于所述一级转子腔
(111)
背离所述二级转子腔
(121)
的一侧，所述二级泵体
(12)
还设置有第二轴承腔
(124)
，所述第二轴承腔
(124)
位于所述二级转子腔
(121)
背离所述一级转子腔
(111)
的一侧，所述一级罗茨转子体
(31)
背离所述中间轴体
(32)
的一侧设置有第一端部轴体
(34)
，所述第一端部轴体
(34)
延伸至所述第一轴承腔
(114)
内，并通过轴承与所述一级泵体
...

【专利技术属性】
技术研发人员：荣易，
申请(专利权)人：迈科微真空技术苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：