一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材模具清理装置


[0001]本专利技术涉及靶材制造
，具体为一种
ITO
靶材模具清理装置
。

技术介绍

[0002]靶材组件是由符合溅射性能的靶材坯料和与所述靶材结合
、
具有一定强度的背板构成，制造时需要模具，旋转靶材制造时需要筒状模具
。
[0003]经检索，公开号为
CN110370426B
的专利技术专利公开了一种离心成型装置以及
ITO
旋转靶材的制备方法，将注浆成型和离心成型相结合，提高了
ITO
旋转靶材的成型效率，解决了目前
ITO
旋转靶材生产过程中成型时间长
、
生产效率低
、
生产成本高等问题，可成型较大尺寸的
ITO
旋转靶材，有利于企业大规模
、
高效率制备
ITO
旋转靶材
。
[0004]在现有方案中，筒状模具一般设计为橡胶筒结构，需要重复使用，但表面附着黏结物体，难以快速清理干净
。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供了一种
ITO
靶材模具清理装置，通过若干个凸头与靶材模具的内外表面接触，从而方便将靶材模具表面附着的黏结物体刮落，配合着清洗的液体水通过中心通孔进入并经由侧孔进入到通风座上的出液孔内，并经由出液孔排出清洗用的液体水，将刮落的黏结物体由靶材模具的内外壁面上脱落，同时对多个靶材模具的内外两面高效清理，清洗结束后，通过旋转气缸驱动转动板转动
90
度，将装有喷气嘴的储放筒转动至待通风的靶材模具的位置，之后由升降气缸推动转动板向下将带有喷气嘴的储放筒对准装入到待通风除水的靶材模具上，由风机产生循环风并进入到储放筒内，通过喷气嘴对靶材模具除水除湿，实现完整的清洁以及除湿步骤，而清洁产生的废水则掉落至聚液腔内，以解决上述
技术介绍
中提到的问题
。
[0006]本专利技术可以通过以下技术方案实现：一种
ITO
靶材模具清理装置，包括安装在清理架底面上的聚液腔，所述聚液腔的上方设置有由升降气缸推动并与清理架上四根立柱滑动配合的运动板，所述运动板的下方安装有用于对靶材模具清洗以及干燥的储放筒，所述储放筒的内部适配安装有
M
形结构的通风座，所述通风座的内部设有连通槽，且通风座的内壁面上设有若干个与连通槽相通的出液孔，其中一个所述通风座的内壁面设置有不与出液孔接触的凸头，所述凸头设置为半圆形结构并与靶材模具的内外表面接触，所述储放筒的中部设有中心通孔，且储放筒的内壁面设有若干个与中心通孔以及出液孔相通的侧孔，另一个所述通风座的内壁面上设置有与对应出液孔相通的喷气嘴；
[0007]所述运动板的底面中部安装有旋转气缸，所述旋转气缸的驱动端固接有若干个储放筒顶面固定相连的转动板
。
[0008]本专利技术的进一步技术改进在于：所述转动板的顶面设置有由风机输出端以及循环泵出液端连接的分流管，且转动板的顶面设置有用于分流管插入端进入的对接头，每个所述分流管的插入端外部均设置有与对接头顶面贴合的挡块，且分流管的插入端外表面并位
于挡块的上方套设有与对接头螺纹套接的旋紧座
。
[0009]本专利技术的进一步技术改进在于：所述储放筒的底部表面设有插槽，所述插槽的内部滑动安装有与通风座外壁相固定的插块，所述储放筒的外壁面设置有用于对插块锁紧的定位座
。
[0010]本专利技术的进一步技术改进在于：所述插块设置为
U
形结构，所述插块的
U
形端内部设置有弹簧，且插块
U
形端的两个外壁面上均安装有锁紧凸块，所述定位座的两侧表面上均设有用于对应锁紧凸块进入的定位槽
。
[0011]本专利技术的进一步技术改进在于：所述聚液腔的内腔顶部固定设置有用于承载若干个靶材模具的不锈钢托架，所述不锈钢托架的顶部设置有与聚液腔内壁相固接的夹板一，所述夹板一的两侧均设置有夹板二，所述夹板二的侧壁以及夹板一的两侧侧壁面上均设有用于靶材模具进入的弧形槽，所述聚液腔的顶部外壁面上安装有用于推动对应夹板二运动的同步气缸
。
[0012]本专利技术的进一步技术改进在于：所述不锈钢托架由多个横条和纵条拼接而成，所述清理架的底部一侧设置有用于转移清洗干燥后的靶材模具的机械手
。
[0013]本专利技术的进一步技术改进在于：所述转动板的顶面边缘处安装有固定托，所述运动板的底面设有环形结构并用于固定托滑动的限位槽
。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0015]1、
通过若干个凸头与靶材模具的内外表面接触，从而方便将靶材模具表面附着的黏结物体刮落，配合着清洗的液体水通过中心通孔进入并经由侧孔进入到通风座上的出液孔内，并经由出液孔排出清洗用的液体水，将刮落的黏结物体由靶材模具的内外壁面上脱落，同时对多个靶材模具的内外两面高效清理，清洗结束后，通过旋转气缸驱动转动板转动
90
度，将装有喷气嘴的储放筒转动至待通风的靶材模具的位置，之后由升降气缸推动转动板向下将带有喷气嘴的储放筒对准装入到待通风除水的靶材模具上，由风机产生循环风并进入到储放筒内，通过喷气嘴对靶材模具除水除湿，实现完整的清洁以及除湿步骤，而清洁产生的废水则掉落至聚液腔内；
[0016]2、
将通风座直接装入到储放筒的底部，插块顺着插槽滑动至定位座的位置，紧接着按压插块的
U
形端，弹簧弹性压缩，使得锁紧凸块进入到定位座内，直至锁紧凸块的端部到达定位槽时，弹簧恢复形变，实现了插块与定位座的连接，进而将储放筒与通风座快速连接在一起，方便安装；
[0017]3、
通过同步气缸推动对应的夹板二，夹板二向着中部的夹板一运动，将多个靶材模具同时且快速固定，而清洗掉的黏结物体以及清洗水顺着不锈钢托架进入到聚液腔内
。
附图说明
[0018]为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本专利技术作进一步的说明
。
[0019]图1为本专利技术的外部结构示意图；
[0020]图2为本专利技术图1中
A
处的局部放大图；
[0021]图3为本专利技术夹板二与不锈钢托架的立体结构示意图；
[0022]图4为本专利技术储放筒与转动板的结构剖视图；
[0023]图5为本专利技术储放筒与通风座的结构剖视图；
[0024]图6为本专利技术插块与定位座的结构连接示意图
。
[0025]图中：
1、
清理架；
2、
聚液腔；
3、
运动板；
4、
旋转气缸；
5、
转动板；
6、
储放筒；
7、
不锈钢托架；
8、
固定托；
9、
分流管；
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
ITO
靶材模具清理装置，包括安装在清理架
(1)
底面上的聚液腔
(2)
，所述聚液腔
(2)
的上方设置有由升降气缸推动并与清理架
(1)
上四根立柱滑动配合的运动板
(3)
，其特征在于：所述运动板
(3)
的下方安装有用于对靶材模具清洗以及干燥的储放筒
(6)
，所述储放筒
(6)
的内部适配安装有
M
形结构的通风座
(13)
，所述通风座
(13)
的内部设有连通槽
(14)
，且通风座
(13)
的内壁面上设有若干个与连通槽
(14)
相通的出液孔
(16)
，其中一个所述通风座
(13)
的内壁面设置有不与出液孔
(16)
接触的凸头
(15)
，所述凸头
(15)
设置为半圆形结构并与靶材模具的内外表面接触，所述储放筒
(6)
的中部设有中心通孔
(12)
，且储放筒
(6)
的内壁面设有若干个与中心通孔
(12)
以及出液孔
(16)
相通的侧孔
(17)
，另一个所述通风座
(13)
的内壁面上设置有与对应出液孔
(16)
相通的喷气嘴
(21)
；所述运动板
(3)
的底面中部安装有旋转气缸
(4)
，所述旋转气缸
(4)
的驱动端固接有若干个储放筒
(6)
顶面固定相连的转动板
(5)。2.
根据权利要求1所述的一种
I TO
靶材模具清理装置，其特征在于，所述转动板
(5)
的顶面设置有由风机输出端以及循环泵出液端连接的分流管
(9)
，且转动板
(5)
的顶面设置有用于分流管
(9)
插入端进入的对接头
(10)
，每个所述分流管
(9)
的插入端外部均设置有与对接头
(10)
顶面贴合的挡块，且分流管
(9)
的插入端外表面并位于挡块的上方套设有与对接头
(10)
螺纹套接的旋紧座
(11)。3.
根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张廷，高建成，何龙伟，程天赐，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：