【技术实现步骤摘要】
线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及光刻图案化的应用
[0001]本专利技术属于光刻图案化材料制备
,具体涉及一种线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及光刻图案化的应用
。
技术介绍
[0002]光刻是一种通过蚀刻工艺将图案转移在衬底上的技术,光刻图案化是一种高效
、
便捷
、
低廉的提升芯片性能的方法,在光引发形成图案化之后,可以得到具有快速固化
、
高稳定性
。
[0003]线性聚合物由于其独特的结构和良好的性能,如较低的粘度
、
良好的溶解度和大量的端官能团,可以被认为是一种潜在的前驱体
。
特别是,光聚合包括紫外照射在聚硅氧烷上,如果加入光交联基团,则可以通过较少的加工步骤或自由模加工来制造具有复杂结构和形状的图案化
。
但其在成膜性能较差,在低介电材料的实际应用中具有局限性
。
[0004]已有报道
(U.S.Pat.5882836,1999
年
)
四甲基二乙烯基硅氧烷桥联的苯并环丁烯
(
简称
DVSBCB)
可以被光固化,并且可以用于钝化膜
、
光刻胶
、
作为制造电气器件中的绝缘层
、
作为半导体元件的保护膜和作为多芯片模块和其他多层电子电路中的层间介电体,报道中优选了多种叠氮化物作为光引发剂
(
例如
2,6
‑< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备方法,其特征在于,由二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物
、
光引发体系和有机溶剂配制形成光敏溶液,通过光敏溶液制备光敏薄膜,即用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂
。2.
如权利要求1所述的用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备方法,其特征在于,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为用甲氧基
(
二甲基
)(
苯并环丁烯乙烯基
)
硅烷单体封端的二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
线性聚合物,其结构式为:式Ⅰ:其中,
n
=1~
1000
;或者,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷与硅氧烷的共聚物;所述硅氧烷为二甲氧基
(
甲基
)(
苯乙烯基
)
硅烷
、
二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基
)
硅烷
、
二甲氧基
(
甲基
)(
苯基
)
硅烷
、
二甲氧基
(
二甲基
)
硅烷中的任意一种;或者,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为用甲氧基
(
二甲基
)(
苯并环丁烯乙烯基
)
硅烷单体封端的二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷与二甲氧基
(
甲基
)(
苯乙烯基
)
硅烷的共聚物,其结构式为:式Ⅱ:其中,
n
=1~
1000
,
m
=1~
1000。3.
如权利要求1所述的用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备方法,其特征在于,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为用甲氧基
(
二甲基
)(
苯并环丁烯乙烯基
)
硅烷单体封端的二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷与二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基
)
硅烷的共聚物,其结构式为:
式Ⅲ:其中,
n
=1~
1000
,
m
=1~
1000
;或者,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为用甲氧基
(
二甲基
)(
苯并环丁烯乙烯基
)
硅烷单体封端的二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷与二甲氧基
(
甲基
)(
苯基
)
硅烷的共聚物,其结构式为:式Ⅳ:其中,
n
=1~
1000
,
m
=1~
1000
;或者,所述二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物为用甲氧基
(
二甲基
)(
苯并环丁烯乙烯基
)
硅烷单体封端的二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷与二甲氧基
(
二甲基
)
硅烷的共聚物,其结构式为:式
Ⅴ
:其中,
n
=1~
1000
,
m
=1~
1000。4.
如权利要求1所述的用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备方法,其特征在于,所述光引发体系为叠氮化物
、
双马来酰亚胺
、
丙烯酸酯
、
乙炔
、
异氰酸酯
、
共轭芳族酮的聚合物中的一种或几种的组合;所述有机溶剂为甲苯
、
二甲苯
、
三甲苯
、
三氯甲烷
、
环戊酮
、
二氯甲烷
、N
‑
甲基吡咯烷酮的一种或几种;所述有机溶剂的体积与二甲氧基
(
甲基
)(
苯并环丁烯基乙烯基
)
硅烷类线性聚合物的质量比例范围为3~
10mL
:
1g
;所述配制形成光敏溶液的过程中进行超声溶解;所述配制形成光敏溶液的过程中在避光下进行
。5.
如权利要求1所述的用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备方法,其特征在于,所述叠氮化物为高度共轭的芳族双叠氮氧化物,包括:
2,6
‑
双
(4
‑
叠氮基苯亚基
)
‑4‑
甲基环己酮
、2
,6‑
双
(4
‑
叠氮基苯亚基
)
‑4‑
叔丁基环己酮
、2,6
‑
双
[3
‑
(4
‑
叠氮基
)
‑2‑
亚丙烯基
]
‑4‑
甲基环己酮
、2,6
‑
双
‑
(4
‑
叠氮苯亚甲基
)
环己酮
、2,6
‑
双
[3
‑
(4
‑
叠氮基苯基
)
‑2‑
亚丙烯基
]
环己酮
、2,6
‑
双
[3
‑
(4
‑
叠氮基苯基
)
‑2‑
亚丙烯基
]
‑4‑
...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨军校,胡鑫雨,马佳俊,彭娟,杜翰林,
申请(专利权)人:西南科技大学,
类型:发明
国别省市:
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