焊件测试系统技术方案

一种用于检查流体组件中的连接和焊缝的所述完整性的流体测试系统包括：选择性地连接至第一异丙醇罐和第二异丙醇罐的第一氮源

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】焊件测试系统
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于
2021
年2月1日提交的美国临时专利申请序列号
63/144,008
的权益，该申请通过引用并入本文
。


[0003]本公开涉及过程管路中使用的焊件领域，例如用于将螺纹连接器连接至一定长度的管道的焊件，更具体地涉及用于压力和真空完整性的焊件和连接的清洁和测试
。
[0004]相关领域的描述
[0005]过程管路或管道在许多行业中被用于将过程流体输送到过程设备，例如用于在半导体和其他材料表面上形成膜层的
、
或从半导体和其他材料表面去除材料或膜层的设备
。
这种过程管路也被用于使用穿过掩模的电磁能暴露膜层的设备中
、
以及用于图案化材料去除的设备中
。
用于使用化学气相沉积沉积膜层或者蚀刻材料膜层或下面的衬底表面的过程气体通常是腐蚀性的
、
自燃性的
、
爆炸性的或有毒的中的至少一种
。
这些气体通过切割和
/
或弯曲到期望长度的管道供应到过程设备，并且以定制的方式路由，这些管道在各个管道端部处焊接或以其他方式互连至配件连接件的公半部或母半部之一
。
然后，这些公配件半部和母配件半部被用于连接至附加管道端部上的配件的对应且配合的公半部或母半部，或连接至过程设备
、
气体面板
、
工厂供气线
、
气瓶
、
起泡器或蒸发器或其他这种连接件上的配件的对应且配合的公半部或母半部
。
一个这种配件配置是提供的
VCR
连接件，其中配件的母半部包括螺纹孔，并且配件的公半部包括配合的螺纹凸台和通孔
。
还提供了一对管道桩，每个管道桩包括管状部分，该管状部分被配置为在管状部分的一端焊接或以流体密封的方式连接至过程管道的区段，并且在管状部分的相对端具有扩大的环形密封面
。
管道桩的管状部分延伸穿过公部和母部中的开口，使得当公部与母部被螺纹连接在一起时，环形密封面在配件内彼此相邻并且面向彼此
。
密封垫圈也可以被提供在环形密封面之间以形成密封连接
。
另一这种配件配置是具有
KF
型或螺栓连接法兰型连接件的管子，其中法兰类型是对称的，并且使用预加载有螺栓或夹具的垫圈
。
附加的连接件或配件是已知的，其中互连的配件或连接部分被连接至管子，并且管子被焊接至其他管道的区段以构成流体回路
。
[0006]因为过程管路
(
包括一定长度的过程管道和公半部或母半部
、
或者连接在其至少一端的对称法兰型的配件
)
携带可能具有腐蚀性
、
自燃性
、
爆炸性或有毒的流体，因此必须对过程管路进行测试，以确保它们不泄漏
。
这包括在独立状态下对过程管路进行测试，以确保在管道桩或另一配件元件已经被焊接至一定长度的管道以构成过程管路的地点处不会发生泄漏
。
换言之，必须对其进行测试，以确保其中携带的流体无法向外泄漏，并且不会泄漏到工厂环境中或工厂中的已经安装了过程管路的设备内
。
同样地，在过程管路将被用于高压应用中以使流体在其中流动或通过其流动并且维持在相对高压的情况下，它们还必须进行压力测试，以确保配件的公半部和母半部的管道桩或其他元件与管道和
/
或任何焊接接头的连接在暴露于高压时不会泄漏或发生故障
。
然而，在清洁和测试期间对这些过程管
路的处理被认为是造成损坏的原因，这可能导致管道桩或配件半部的其他元件与它们连接
(
诸如通过焊接或另一密封机制
)
的管道端部的机械密封连接泄漏或发生故障
。

技术实现思路

[0007]一种集成清洁和测试系统包括：第一连接器，被配置为连接至过程管道的第一配合连接件；第二连接器，被配置为连接至过程管道上的第二配合连接件；第一流体测试设备，能够操作地连接至第一连接器和第二连接器中的一个连接器；第一流体源，能够操作地连接至第一连接器和第二连接器中的一个连接器；第二流体源，能够操作地连接至第一连接器和第二连接器中的一个连接器；以及测试回路，包括多个测试管路和多个阀，该阀能够选择性地定位以选择性地将第一流体测试设备
、
第一流体源或者第二流体源中的一者置于与第一连接器和第二连接器中的一个连接器流体连通，由此第一流体测试设备
、
第一流体源或第二流体源中的每一者以用户能够选择的序列与第一连接器和第二连接器中的一个连接器流体连通，以使得在不需要在任何测试步骤
、
清洁步骤或干燥步骤中的任一个之间从系统移除过程管路的情况下，系统能够测试
、
清洁和干燥过程管路
。
附图说明
[0008]为了本公开的上述特征可以被详细理解的方式，上面简要概括的本公开的更具体的描述可以通过参照实施例来获得，一些实施例在所附附图中图示
。
然而，要注意的是，所附附图仅图示了示例性实施例，因此不应被认为是对其范围的限制，可以承认其他同样有效的实施例
。
[0009]图1是示例管路测试设备或机柜的等距视图，该示例管路测试设备或机柜被提供用于针对压力和真空测试焊件，即，无泄漏
、
完整性
。
[0010]图
2A
是图1中的管路测试设备的一部分的放大等距视图，此处示出了向上延伸通过机柜的上部的下底座的导管开口
。
[0011]图
2B
是图1的管路测试设备的一部分的放大等距视图，此处示出了一对歧管，歧管被包括用于测试多个过程管路，每个歧管被连接至导管开口中的一个导管开口
。
[0012]图
2C
是图1的管路测试设备的一部分的后视图
。
[0013]图3是图1的管路测试设备的一部分的放大等距视图，此处示出了用于对连接至导管开口中的一个的焊件进行静水压测试的高压隔离阀
。
[0014]图4示出了图1的测试机柜的可配置管路流体测试回路以及对被测管路单元
(
本文中为被测单元
)
的焊件执行真空泄漏测试的配置
。
[0015]图5描绘了图4的管路流体测试回路的配置，以形成使用高压水或另一高压流体对被测单元进行自动静水压测试的流动路径
。
[0016]图6描绘了图4的管路流体测试回路的配置，以形成用于从被测单元中推动水并且用加热的氮气冲洗
/
干燥被测单元的流动路径
。
[0017]图7描绘了图4的管路流体测试回路的配置，以形成用于使用异丙醇
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种集成清洁和测试系统，包括：第一连接器，被配置为连接至过程管道的第一配合连接件；第二连接器，被配置为连接至所述过程管道上的第二配合连接件；第一流体测试设备，能够操作地连接至所述第一连接器和第二连接器中的一个连接器；第一流体源，能够操作地连接至所述第一连接器和所述第二连接器中的一个连接器；第二流体源，能够操作地连接至所述第一连接器和所述第二连接器中的一个连接器，以及测试回路，包括多个测试管路和多个阀，所述阀能够选择性地定位以选择性地将所述第一流体测试设备
、
所述第一流体源或所述第二流体源中的一者置于与所述第一连接器和所述第二连接器中的一个连接器流体连通，其中所述第一流体测试设备
、
所述第一流体源或所述第二流体源中的每一者以用户能够选择的序列与所述第一连接器和所述第二连接器中的一个连接器流体连通，以使得在不需要在任何测试步骤
、
清洁步骤或干燥步骤中的任一个之间从所述系统移除过程管路的情况下，所述系统能够测试
、
清洁和干燥所述过程管路
。2.
一种流体测试回路，具有第一导管开口和第二导管开口，所述第一导管开口和所述第二导管开口被定位为连接被测单元，所述被测单元包括管子，所述管子具有第一连接部分和第二连接部分，所述第一连接部分和所述第二连接部分跨所述管子分别位于所述管子的相对的第一端和第二端，所述流体测试回路包括：第一氮源管线，通过氮选择器阀选择性地连接至
IPA
罐，以选择性地对所述第一
IPA
罐中的异丙醇施加氮压力；第二氮源管线，通过第二氮选择器阀选择性地连接至第二
IPA
罐，以选择性地对所述第二
IPA
罐中的异丙醇施加氮压力；所述氮源，还包括第一子管线和第二子管线；流体回路，包括流体管线循环回路；第一排水管，通过第一排水阀选择性地连接至所述流体循环管线；第一
IPA
罐，通过第一
IPA
管线和第一
IPA
阀连接至所述流体管线循环回路，以及第二
IPA
罐，通过第二
IPA
管线和第二
IPA
阀连接至所述流体管线循环回路；第二排水管，通过第一
IPA
排水阀连接至所述第一
IPA
罐，并且通过第二
IPA
排水阀连接至所述第二
IPA
罐；第一
IPA
排气口，通过第一
IPA
排气阀连接至所述第一
IPA
罐；第二
IPA
排气口，通过第二
IPA
排气阀连接至所述第二
IPA
罐；第一水管线，能够通过水阀选择性地连接至水源和所述流体管线循环回路；以及真空泵，能够通过真空选择阀选择性地连接至所述流体管线循环回路；其中所述流体管线循环回路能够选择性地配置为使水
、
氮气和
IPA
流过被测单元
。3.
根据权利要求2所述的流体测试回路，其中所述流体管线循环回路包括：第一循环流体管线，包括第一端和第二端，所述第一循环流体管线的所述第一端提供第一导管开口以流体连接至被测单元；第一循环分支管线，包括第一端和第二端，所述第一循环分支管线的所述第一端流体
连接至所述第一循环流体管线的所述第二端；第二循环流体管线，具有第一端和第二端，所述第二循环流体管线的所述第一端流体连接至所述第一循环分支管线的所述第二端；第三循环流体管线，具有第一端和第二端，所述第三循环流体管线的所述第一端流体连接至所述第二循环流体管线的所述第二端；以及第四流体循环管线，具有第一端和第二端，所述第一端流体连接至所述第三循环流体管线的所述第二端，并且所述第四流体循环管线的所述第二端提供第二导管开口，所述第二导管开口能够连接至被测单元
。4.
根据权利要求3所述的流体测试回路，其中第一流体子回路包括：氦气泄漏检查源，能够通过氦气泄漏检查控制阀
、
所述第四流体循环管线
、
所述第一流体循环管线
、
所述第一循环分支管线选择性地连接至所述第三流体循环管线；以及流体出口，选择性地流体联接至所述第一循环分支管线
。5.
根据权利要求4所述的流体测试回路，其中所述流体出口包括氦气泄漏检查端口
。6.
根据权利要求3所述的流体测试回路，其中第二流体子回路包括：所述水管线
、
所述第三循环流体管线
、
所述第四循环流体管线
、
所述第一循环流体管线
、
所述第一循环分支管线和所述排水管
。7.
根据权利要求3所述的流体测试回路，其中第三流体子回路包括：第二水管线，连接至所述水源；高压静水压测试系统，在所述高压静水压测试系统的第一侧处连接至所述第二水管线，并且在所述高压静水压测试系统的第二端处连接至所述第四循环流体管线；所述第一循环流体管线；以及第一循环流体阀，设置在所述第一循环流体管线的所述第二端与所述第一循环分支管线的所述第一端之间，并且被配置为选择性地开启或阻断所述第一循环流体管线的所述第二端与所述第一循环分支管线的所述第一端之间的流体连通
。8.
根据权利要求3所述的流体测试回路，其中第四流体子回路包括：所述第一氮子管线；所述第三循环流体管线；所述第四循环流体管线；所述第一循环流体管线；以及所述第一循环分支管线
。9.
根据权利要求3所述的流体回路，其中第五流体子回路包括：所述第三循环流体管线；所述第四循环流体管线；所述第一循环流体管线；所述第一循环分支管线；所述第一异丙醇罐...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：超清洁控股有限公司，
类型：发明
国别省市：