【技术实现步骤摘要】
一种高致密的碳陶桶及其制备方法
[0001]本专利技术属于单晶炉用热场部件
,具体涉及一种高致密的碳陶桶及其制备方法
。
技术介绍
[0002]在单晶
、
多晶及颗粒硅生产过程中,碳陶桶是新型热场炉中熔融硅料坩埚中的关键部件
。
要求具有材料致密
、
热震稳定性好
、
耐化学侵蚀性好等特点
。
传统采用的坩埚主要为石英坩埚,然而在单晶硅生产过程中,熔融液硅将与石英坩埚反应形成
SiO
气体,生成
SiO
气体将腐蚀炉内的碳元件,降低相关配件的使用寿命,同时氧的存在会污染硅料,导致硅料纯度降低,严重影响硅晶片性能
。
另外,石英坩埚在使用过程易发生晶化,晶化后将导致坩埚开裂失效,无法满足长时间连续生产使用要求
。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足,本专利技术的第一个目的在于提供一种高致密的碳陶桶的制备方法,本专利技术所提供的制备方法,生产周期短
、
能耗低
、
生产成本显著降低
、
易实现生产标准化
。
[0004]本专利技术的第二个目的在于提供上述制备方法所制备的高致密的碳陶桶,本专利技术所提供的碳陶桶,具有高致密度,开孔率
≤1
%,纯度高,结构尺寸稳定
、
热膨胀系数小
、
高温不变形
、
热震稳定性好
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:将碳纤维经展纱
、
浸胶
、
烘烤后,缠绕在模具上获得缠绕体,固化获得桶形预制体,将桶形预制体碳化获得碳化桶,将碳化桶进行反应熔渗硅处理即得碳陶桶
。2.
根据权利要求1所述的一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:所述碳纤维采用
PAN
基碳纤维
、
沥青基碳纤维中的一种
。3.
根据权利要求1或2所述的一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:所述展纱时,控制展纱率为
30
‑
50
%
。4.
根据权利要求1或2所述的一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:所述浸胶时所用胶液的固含量为
40
‑
60wt
%;所述胶液由树脂与微粉组成,所述树脂选自酚醛树脂
、
呋喃树脂
、
聚碳硅烷树脂
、
糠酮树脂
、
糠醛树脂
、
环氧树脂
、
沥青中至少一种,所述微粉选自石墨粉
、
碳粉
、
碳化硅微纤维
、
碳纳米管中的至少一种,所述微粉的粒径为微米级
。5.
根据权利要求4所述的一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:所述胶液,按质量份数计,组成如下:酚醛树脂
60
‑
80
份,石墨粉
10
‑
30
份,碳纳米管
0.1
‑3份
。6.
根据权利要求1或2所述的一种高致密的碳陶桶的制备方法,其特征在于:所述烘烤的过程为,将浸胶后所得碳纤维在1‑
10m/min
的牵引速度下经过长度为4‑
15m
,温度为
70
‑
110℃
的烘箱;缠绕过程中的牵引力为
30
‑
50N
,所述牵引力梯度变小;所述模具选自木模
、
铝模
、
钢模
、
石墨模具中...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄彩霞,李金伟,肖鹏,
申请(专利权)人:湖南世鑫新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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