一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法技术方案

本发明专利技术涉及一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法，包括：待过滤光刻胶溶液输入端；

【技术实现步骤摘要】
一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法


[0001]本专利技术涉及光刻胶制备领域，具体指有一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法
。

技术介绍

[0002]光刻胶是由感光树脂
、
光敏剂和溶剂等组成的光敏感混合物，其在紫外光光束照射下，能够发生交联固化或者降解反应，在集成电路
、
液晶显示
、
太阳能光伏
、
微机电系统等电子领域有着广泛的应用
。
光刻胶主要是由成膜树脂
、
感光剂
、
溶剂为主要成分的
。
感光剂可以吸收一定波长的能量从而引发单体聚合交联固化的化合物
。
[0003]在光刻胶的生产过程中，首先需制备感光剂，或者直接应用现有的感光剂，将感光剂加入树脂
、
溶剂中充分反应从而得到成品的光刻胶，此时的光刻胶需要将溶液中的不溶性杂质
、
生产过程中带入的颗粒物过滤掉以提高光刻胶的纯度
。
现有技术采用孔径从大到小的多层级的滤膜对光刻胶进行多级过滤，当滤膜使用一定时间后，滤膜附着过多的颗粒物，需要对过滤系统的滤膜进行更换，此时需要停机设备，将设备拆开才更换滤芯，直接造成整体的生产停滞，耗费较高的时间成本
。
[0004]针对上述的现有技术存在的问题设计一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法是本专利技术研究的目的
。

技术实现思路

[0005]针对上述现有技术存在的问题，本专利技术在于提供一种连续生产的光刻胶精密过滤系统及其控制方法，能够有效解决上述现有技术存在的至少一个问题
。
[0006]本专利技术的技术方案是：一种连续生产的光刻胶精密过滤系统，包括：待过滤光刻胶溶液输入端；
n
级过滤装置，第1级过滤装置的进液口连接至待过滤光刻胶溶液输入端，第
i
级过滤装置的出液口连接至第
i+1
级过滤装置的进液口，其中
n
为大于2的正整数，
i
为
1~n
之间的正整数，每一级过滤装置内均设置有滤膜，第
i
级过滤装置的滤膜的孔径大于第
i+1
级过滤装置的滤膜的孔径，待过滤光刻胶溶液在每一级过滤装置中被相应的固定孔径的滤膜过滤；备用过滤装置，所述备用过滤装置的进液口与所述第1级过滤装置的进液口
、
第
1~n
‑1级过滤装置的出液口并联，所述备用过滤装置的出液口连接至第
2~n
级过滤装置的进液口，所述备用过滤装置内设置有可调滤膜机构；过滤后光刻胶溶液输出端，连接至所述备用过滤装置的出液口或第
n
级过滤装置的出液口；若干电磁阀，分别连接于待过滤光刻胶溶液输入端
、
第
1~n
‑1级过滤装置的出液口到所述备用过滤装置的进液口之间的通道，以及连接于第
2~n
级过滤装置的进液口到所述
备用过滤装置的出液口的通道；以及连接于第
n
级过滤装置的出液口
、
备用过滤装置的出液口
、
过滤后光刻胶溶液输出端之间的通道；用于控制
n
级过滤装置
、
备用过滤装置之间的连接关系，从而隔离其中一级过滤装置，并将所述备用过滤装置代替相应级过滤装置；所述备用过滤装置包含壳体，所述可调滤膜机构包括：弹性网，挂设于所述壳体内；刚性调节装置，围设于所述弹性网的外围，改变所述刚性调节装置的刚性可调节所述弹性网的扩张难易程度；可调滤膜，挂设于所述弹性网的内壁，所述可调滤膜内的液体产生的压强使所述可调滤膜和所述弹性网一同扩张，所述弹性网的扩张量受所述刚性调节装置控制，所述可调滤膜扩张后所述可调滤膜的孔径可变大
。
[0007]进一步地，刚性调节装置包括若干弹簧，所述弹簧的外围套接有柔性套管，所述弹簧的底端连接至所述壳体的底端，所述弹簧的顶端连接至连接件，所述连接件被驱动可上下移动，连接件上移后使所述弹簧被拉紧，从而提高所述弹簧的刚性
。
[0008]进一步地，所述壳体的顶端连接有若干驱动缸，所述驱动缸的输出轴连接至所述连接件，所述驱动缸用于驱动所述连接件上下移动
。
[0009]进一步地，所述可调滤膜为
UPE
过滤膜，所述可调滤膜扩张后结构变得松散从而使所述可调滤膜的孔径变大
。
[0010]进一步地，所述可调滤膜为
PEEK
膜轧制诸多通孔制成，所述可调滤膜扩张后使所述通孔的孔径变大
。
[0011]进一步地，所述可调滤膜孔径的可调范围为
0.2
μ
m~1
μ
m
，所述可调滤膜未扩张时的厚度为
50
μ
m ~100
μ
m。
[0012]进一步地，所述
n
级过滤装置的出液口均设置有流量传感器
。
[0013]进一步提供一种连续生产的光刻胶精密过滤系统的控制方法，基于任意一项所述的一种连续生产的光刻胶精密过滤系统；当所述
n
级过滤装置的滤膜均正常时，若干所述电磁阀关闭所述备用过滤装置的进液口和出液口的通道，从而隔离所述备用过滤装置，使所述
n
级过滤装置的第
i
级过滤装置的出液口连通至第
i+1
级过滤装置的进液口；当第
i
级过滤装置的滤膜均需要更换时，若干所述电磁阀关闭第
i
级过滤装置的进液口和出液口的通道，从而隔离第
i
级过滤装置，若干所述电磁阀打开所述备用过滤装置的进液口与第
i
‑1级过滤装置的出液口之间的通道
、
所述备用过滤装置的出液口与第
i+1
级过滤装置的进液口之间的通道，通过所述可调滤膜机构调节所述备用过滤装置的过滤孔径与第
i
级过滤装置的滤膜的孔径相匹配，从而将所述备用过滤装置代替相应级过滤装置
。
[0014]进一步地，当第
n
级过滤装置的滤膜均需要更换时，通过所述电磁阀连通所述过滤后光刻胶溶液输出端与所述备用过滤装置的出液口之间的通道，当第
n
级以外的过滤装置的滤膜需要更换时，通过所述电磁阀连通所述第
n
级过滤装置的出液口与所述过滤后光刻胶溶液输出端
。
[0015]因此，本专利技术提供以下的效果和
/
或优点：本申请对光刻胶溶液进行分级进行拦截颗粒，在每一级分别拦截由大到小的颗粒，从而实现光刻胶溶液的精密过滤
。
通过备用过滤装置可以在任何一级过滤装置需要更
换滤膜时，替代其进行过滤
。
在所述...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种连续生产的光刻胶精密过滤系统，其特征在于：包括：待过滤光刻胶溶液输入端；
n
级过滤装置，第1级过滤装置的进液口连接至待所述过滤光刻胶溶液输入端，第
i
级过滤装置的出液口连接至第
i+1
级过滤装置的进液口，其中
n
为大于2的正整数，
i
为
1~n
之间的正整数，每一级过滤装置内均设置有滤膜，第
i
级过滤装置的滤膜的孔径大于第
i+1
级过滤装置的滤膜的孔径，待过滤光刻胶溶液在每一级过滤装置中被相应的固定孔径的滤膜过滤；备用过滤装置，所述备用过滤装置的进液口与第1级过滤装置的进液口
、
第
1~n
‑1级过滤装置的出液口并联，所述备用过滤装置的出液口连接至第
2~n
级过滤装置的进液口，所述备用过滤装置内设置有可调滤膜机构；过滤后光刻胶溶液输出端，连接至所述备用过滤装置的出液口或第
n
级过滤装置的出液口；若干电磁阀，分别连接于待过滤光刻胶溶液输入端
、
第
1~n
‑1级过滤装置的出液口到所述备用过滤装置的进液口之间的通道，以及连接于第
2~n
级过滤装置的进液口到所述备用过滤装置的出液口的通道，以及连接于第
n
级过滤装置的出液口
、
备用过滤装置的出液口
、
过滤后光刻胶溶液输出端之间的通道，用于控制
n
级过滤装置
、
备用过滤装置之间的连接关系，从而隔离其中一级过滤装置，并将所述备用过滤装置代替相应级过滤装置；所述备用过滤装置包含壳体，所述可调滤膜机构包括：弹性网，挂设于所述壳体内；刚性调节装置，围设于所述弹性网的外围，改变所述刚性调节装置的刚性可调节所述弹性网的扩张难易程度；可调滤膜，挂设于所述弹性网的内壁，所述可调滤膜内的液体产生的压强使所述可调滤膜和所述弹性网一同扩张，所述弹性网的扩张量受所述刚性调节装置控制，所述可调滤膜扩张后所述可调滤膜的孔径可变大
。2.
根据权利要求1所述的一种连续生产的光刻胶精密过滤系统，其特征在于：刚性调节装置包括若干弹簧，所述弹簧的外围套接有柔性套管，所述弹簧的底端连接至所述壳体的底端，所述弹簧的顶端连接至连接件，所述连接件被驱动可上下移动，连接件上移后使所述弹簧被拉紧，从而提高所述弹簧的刚性
。3.
根据权利要求2所述的一种连续生产的光刻胶精密过滤系统，其特征在于：所述壳体的顶端连接有若干驱动缸，所述驱动缸的输出轴连接至所述连接件，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾育红，许湘麟，林俊兴，陈志宏，
申请(专利权)人：福建省德尚电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：