一种半导体检测装置制造方法及图纸

本申请公开了一种半导体检测装置，涉及检测装置技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种半导体检测装置


[0001]本申请涉及检测装置
，具体涉及一种半导体检测装置
。

技术介绍

[0002]半导体是一种电子材料，它具有介于导体和绝缘体之间的导电特性
。
它常用于制造电子元件和集成电路
。
半导体的导电性可以通过控制施加在其上的电场或电流来改变，使其在电子学和计算机科学中得到广泛应用
。
[0003]常见的半导体材料如单晶硅电池片，其在加工完成后需要对其表面进行检测，以保障其质量，现有的检测通常依靠目视检测与摄像头检测，目视检测来观察单晶硅电池片上的大块异物，而摄像头检测则用于对单晶硅电池片的表面进行细微检测，可以检测到较小的缺陷
、
裂纹或异物，现有的检测装置的摄像头一般采用垂直于单晶硅电池片的方式竖立设置，这样投射出来的影像无法观察到单晶硅电池片沟壑侧壁上的异物与沟壑拐角内的异物与缺陷，降低了检测的精确度，因此本专利技术提出一种导体检测装置
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于：为解决上述
技术介绍
中的问题，本申请提供了一种半导体检测装置
。
[0005]本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0006]一种半导体检测装置，包括：
[0007]承载架，所述承载架上固定连接有斜面台，所述斜面台一侧固定连接有位于承载架上的控制终端；
[0008]输送组件，所述斜面台上构造有条形槽，所述输送组件包括转动安装在条形槽两端的两个转轴，两个所述转轴之间套接有用于间隔承接单晶硅电池片的传送带；
[0009]清理组件，所述斜面台上构造有两个位于条形槽两侧的贯穿口，所述清理组件包括固定连接在两个贯穿口相背侧的气缸推杆一，两个所述气缸推杆一的输出端均安装有喷气件，所述贯穿口底部连通有收集机构；
[0010]角度调节件，安装在斜面台的条形槽中部且用于倾斜顶升单晶硅电池片；
[0011]观测组件，包括固定连接在斜面台上水平座，所述水平座上滑动安装有与角度调节件水平相对设置的翻转升降座，所述翻转升降座的输出端固定连接有摄像头
。
[0012]进一步地，所述传送带包括两个平行设置的同步带，两个所述同步带之间可拆卸连接有多个阵列设置的承载条，所述斜面台上构造有两个位于两个同步带相背侧的导向挡板，所述条形槽中部沿其长度方向构造有位于两个同步带之间的承载板
。
[0013]进一步地，所述承载条包括橡胶条，所述橡胶条中部构造有弧形条，所述橡胶条的两端均贯穿安装有与同步带相连接的按扣
。
[0014]进一步地，所述喷气件包括固定连接在气缸推杆一输出端的集气块，所述集气块内部构造有内腔，所述集气块一端固定连通有输气软管且另一端固定连通有多个
L
型喷管，
所述
L
型喷管的喷口端朝向斜面台设置
。
[0015]进一步地，所述收集机构包括固定连接在贯穿口底部的安装框，所述安装框上构造有斜板，所述斜板上可拆卸连接有开口与贯穿口相连通的集尘袋，所述安装框上固定连接有与集尘袋相连通的抽气扇
。
[0016]进一步地，所述集尘袋包括平板，所述平板上构造有两个滑动插设在斜板上的插块，所述平板底部固定连接有收集袋，所述平板上构造有与抽气扇相连通的圆孔，所述圆孔内固定连接有滤尘布
。
[0017]进一步地，所述角度调节件包括贯穿安装在承载板上的
U
型块，所述
U
型块内构造有两个相对设置的弧形滑槽，两个所述弧形滑槽之间滑动安装有弧形块，所述弧形块的顶面为平面且与承载板的上表面相平齐，所述
U
型块一端固定连接有贯穿电机，所述贯穿电机的输出轴一端固定连接有转动安装在
U
型块内的螺杆，所述弧形块的弧面上固定连接有与螺杆螺纹配合的齿条，所述贯穿电机输出轴的另一端固定连接有转钮
。
[0018]进一步地，所述水平座上构造有水平滑轨，所述翻转升降座滑动安装在水平滑轨上，所述水平滑轨上的一端固定连接有用于推动翻转升降座移动的气缸推杆三
。
[0019]进一步地，所述翻转升降座包括滑动安装在水平滑轨上的底座，所述底座上铰接有翻转框，所述底座与翻转框之间安装有限位件，所述翻转框上沿其长度方向滑动安装有滑块，所述摄像头固定连接在滑块底部，所述翻转框上转动安装有螺纹贯穿滑块的丝杆，所述翻转框上固定连接有用于驱动丝杆转动的驱动电机
。
[0020]进一步地，所述底座上构造有凹槽，所述限位件包括铰接在凹槽内的螺纹筒，所述翻转框上铰接有环块，所述环块内转动安装有螺纹插设在螺纹筒内的调节螺钮
。
[0021]本申请的有益效果如下：
[0022]本申请通过将输送组件设立在斜面台上，可以使单晶硅电池片被倾斜运输到观测组件下方的角度调节件上，可以使摄像头与单晶硅电池片倾斜相对，以便于观察沟壑内的情况，而后续通过角度调节件的调整可以使单晶硅电池片抬升至不同的放置角度，以便于摄像头在不同倾斜角度进行观察，增加了装置的灵活性，提高检测的精确度
。
附图说明
[0023]图1是本申请立体结构图；
[0024]图2是本申请立体结构半剖图；
[0025]图3是本申请承载条立体结构图；
[0026]图4是本申请喷气件立体结构半剖图；
[0027]图5是本申请收集机构立体结构半剖图；
[0028]图6是本申请角度调节件立体结构图；
[0029]图7是本申请图6中立体结构半剖图；
[0030]图8是本申请观测组件立体结构图；
[0031]图9是本申请图8中立体结构半剖图；
[0032]图
10
是本申请图9中
A
处的放大图；
[0033]附图标记：
1、
承载架；
2、
斜面台；
201、
条形槽；
202、
贯穿口；
203、
导向挡板；
204、
承载板；
3、
控制终端；
4、
输送组件；
401、
转轴；
402、
传送带；
4021、
同步带；
4022、
承载条；
40221、
橡胶条；
40222、
弧形条；
40223、
按扣；
5、
清理组件；
501、
气缸推杆一；
502、
喷气件；
5021、
集气块；
5022、
内腔；
5023、
输气软管；
5024、L
型喷管；
503、
收集机构；
5031、
安装框；
5032、
斜板；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体检测装置，其特征在于，包括：承载架
(1)
，所述承载架
(1)
上固定连接有斜面台
(2)
，所述斜面台
(2)
一侧固定连接有位于承载架
(1)
上的控制终端
(3)
；输送组件
(4)
，所述斜面台
(2)
上构造有条形槽
(201)
，所述输送组件
(4)
包括转动安装在条形槽
(201)
两端的两个转轴
(401)
，两个所述转轴
(401)
之间套接有用于间隔承接单晶硅电池片的传送带
(402)
；清理组件
(5)
，所述斜面台
(2)
上构造有两个位于条形槽
(201)
两侧的贯穿口
(202)
，所述清理组件
(5)
包括固定连接在两个贯穿口
(202)
相背侧的气缸推杆一
(501)
，两个所述气缸推杆一
(501)
的输出端均安装有喷气件
(502)
，所述贯穿口
(202)
底部连通有收集机构
(503)
；角度调节件
(6)
，安装在斜面台
(2)
的条形槽
(201)
中部且用于倾斜顶升单晶硅电池片；观测组件
(7)
，包括固定连接在斜面台
(2)
上水平座
(701)
，所述水平座
(701)
上滑动安装有与角度调节件
(6)
水平相对设置的翻转升降座
(702)
，所述翻转升降座
(702)
的输出端固定连接有摄像头
(703)。2.
根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述传送带
(402)
包括两个平行设置的同步带
(4021)
，两个所述同步带
(4021)
之间可拆卸连接有多个阵列设置的承载条
(4022)
，所述斜面台
(2)
上构造有两个位于两个同步带
(4021)
相背侧的导向挡板
(203)
，所述条形槽
(201)
中部沿其长度方向构造有位于两个同步带
(4021)
之间的承载板
(204)。3.
根据权利要求2所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述承载条
(4022)
包括橡胶条
(40221)
，所述橡胶条
(40221)
中部构造有弧形条
(40222)
，所述橡胶条
(40221)
的两端均贯穿安装有与同步带
(4021)
相连接的按扣
(40223)。4.
根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述喷气件
(502)
包括固定连接在气缸推杆一
(501)
输出端的集气块
(5021)
，所述集气块
(5021)
内部构造有内腔
(5022)
，所述集气块
(5021)
一端固定连通有输气软管
(5023)
且另一端固定连通有多个
L
型喷管
(5024)
，所述
L
型喷管
(5024)
的喷口端朝向斜面台
(2)
设置
。5.
根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于，所述收集机构
(503)
包括固定连接在贯穿口
(202)
底部的安装框
(5031)
，所述安装框
(5031)
上构造有斜板
(5032)
，所述斜板
(5032)
上可拆卸连接有开口与贯穿口
(202)
相连通的集尘袋
(5033)<...

【专利技术属性】
技术研发人员：张泽华，
申请(专利权)人：深圳市飞兆微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：