基板分类方法技术

本发明专利技术涉及基板分类方法。本发明专利技术提供一种即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的场合，也能不降低效率地进行分类，并且，即使在某个分类口的盒装满的时候，也不必停止基板从搬入口的流动的基板分类方法。用于基板分类方法的基板分类装置具备：暂时保持收容在设置于搬入口的盒的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入侧缓冲装置的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置之中的至少一台是随机存取缓冲装置。在上述基板分类方法中，一边在随机存取缓冲装置中保持多种基板，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用例如LCD(液晶)工厂或半导体工厂等的超净室内设置的基板分 类装置进行的。
技术介绍
原来，在制作LCD (液晶)等的基板的场合，是在大型的基板(例如玻璃基板)上 形成多个相同的电路图案后，将该基板切断并把得到的所需的电路基板送到下一个压焊工序。近年来，伴随着电路图案的制造工序变得复杂，电路规模变大，电路不良的发生率 有增加的倾向。这种电路不良的基板被原样送到下一个压焊工序的话，压焊工序就没用了。 于是，为了将损失减少到最小限度，在基板的切断前进行各电路图案的功能测试。并且，通过基于电路图案的功能测试的结果，根据基板上的不良电路的位置把基 板分类，从而进行不良电路的修理，或者在切断后废弃包含不良电路的基板。此外，由于有时也用同一条生产线依次制造多个品种的基板，也需要根据不同的 品种对基板进行分类。在这种分类工序中，如下述专利文献1(日本特许第3185595号公报)以及专利文 献2(日本特开2001-163416号公报)所述，通过将在盒内以水平重叠收容的状态搬送到搬 入口的多个基板，用直进式缓冲装置一片片从盒中取出后按种类(每批)搬送到分类口的 盒中来进行基板的分类。在该分类工序，需要按基板种类数准备分类口。即使在批次的数目少的场合，也需 要基板种类数的分类口。在如上所述现有的分类工序中，在要分类的基板的种类数比分类口数更多时，需 要分多次来进行分类工序，从而分类效率低下。此外，直进式缓冲装置只能从下面依次将收容在盒内的基板一片片取出，不能改 换在搬入口的从盒中搬出基板的顺序。因此，在某个分类口的盒装满了的时候，有需要搬送 到该分类口的基板的话，必须停止基板从搬入口的流动直到该分类口的盒的改换结束。
技术实现思路
因此，本专利技术就是鉴于上述问题而提出的技术方案，本专利技术的目的在于提供一种 即使在要分类的基板的种类的数目比分类口的数目更多的场合，也能够不降低效率地进行 分类，并且，即使在某个分类口的盒装满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动的基板 分类方法。为了解决上述问题，达到上述目的，本专利技术具有以下技术方案的任一个。方案1本专利技术的所使用的基板分类装置是，将以水平重叠状态收容在搬入 盒、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类并搬送到与各种类对应的多个分类口，搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置 具备设置于搬入口、暂时保持收容在搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入 侧缓冲装置中的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂 时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬出侧缓冲装置的至少一台是可 把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个 基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置。在本专利技术的中，使用上述基板分类装置，一边将多种基板保持在随 机存取缓冲装置中，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。方案2本专利技术的所使用的基板分类装置是，将以水平冲叠状态收容在搬入 盒、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类并搬送到与各种类 对应的多个分类口，搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置 具备设置于搬入口、暂时保持收容在搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在搬入 侧缓冲装置中的基板一片片搬送到分类口的某一个的搬送装置；以及设置于各分类口、暂 时保持被搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置。在此，搬入侧缓冲装置的至少一台是可 把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个 基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置。在本专利技术的中，使用上述基板 分类装置，避开被搬送到上述多个保持部均保持有基板的搬出侧缓冲装置中的基板，优先 搬送被搬送到上述多个保持部中有空闲的其它搬出侧缓冲装置中的基板。本专利技术的效果如下。在方案1的本专利技术的中，搬出侧缓冲装置的至少一台是随机存取缓 冲装置，基板可插入到保持基板的多个保持部之中的任意保持部，并且，可取出所保持的多 个基板之中的任意基板。因此，可将多种基板保持在随机存取缓冲装置中，然后将基板按每 个种类搬出到不同的搬出盒中。因此，采用本专利技术的的话，即使在分类的基板的种类的数目比分类 口的数目更多的情况下，也能不降低效率地进行分类。此外，即使在某个分类口的搬出盒装 满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动。另外，由于在随机存取缓冲装置中保持多种基板，并将基板按每个种类搬出到不 同的搬出盒，因而即使在分类的基板的种类的数目比分类口的数目多的场合，也能不降低 效率地进行分类。在方案2的本专利技术的中，搬入侧缓冲装置的至少一台是随机存取缓 冲装置，基板可插入到保持基板的多个保持部之中的任意保持部中，并且，可取出所保持的 多个基板之中的任意基板。因此，可将多种基板保持在随机存取缓冲装置中，然后能将基板 按每个种类搬出到不同的搬出盒中。因此，采用本专利技术的的话，能够避开被搬送到上述多个保持部均保 持有基板的搬出侧缓冲装置中的基板，优先搬送被搬送到上述多个保持部中有空闲的其它 搬出侧缓冲装置中的基板。此外，由于在所有的多个保持部中避开被搬送到保持着基板的 搬出侧缓冲装置的基板，优先搬送被搬送到多个保持部中有空的其它搬出侧缓冲装置中的 基板，因此，即使在某个分类口的搬出盒装满了的时候，也不必停止基板从搬入口的流动。附图说明图1是表示在本专利技术的的一个实施方式中所使用的基板分类装置 的构成的俯视图。图2是表示上述基板分类装置的随机存取缓冲装置的构成的立体图。图3是表示上述基板分类装置的直进式缓冲装置的构成的立体图。图4是表示上述随机存取缓冲装置的使用状况的主视图。图5是表示上述基板分类装置的动作的流程图。图6是表示在本专利技术的的另一个实施方式中所使用的基板分类装 置的构成的俯视图。图7是表示图6所示的基板分类装置的动作的流程图。图中1-搬送装置；101-基板；Bi、B2-搬入侧缓冲装置；B3 Bll-搬出侧缓冲装置； C1、C2-盒；C3 Cll-盒。具体实施例方式以下参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在本实施方式的中所使用的装置中，如图1所示，多个种类的多个 基板101以水平重叠的状态收容在盒C1、C2中，从至少一个搬入口搬入。被搬入的基板101 按照种类分类后，被搬送到与各种类对应的分类口。被搬送的基板101被搬出到在各分类 口所设置的盒C3 Cll中。此外，本实施方式的通过使用本实施方式的基板 分类装置来进行。在图1所示的基板分类装置中，搬入口有2个部位，在这些搬入口设置了收容了多 个基板101的盒C1、C2。另外，分类口有9个部位，在这些分类口设置了收容了分类了的基 板101的盒C3 C11。在搬入口设置有暂时保持收容在盒C1、C2中的基板101的搬入侧缓冲装置B1、B2。 另外，在分类口设置有暂时保持收容在盒C3 Cll中的基板101的搬出侧缓冲装置B3 B11。该基板分类装置具备把保持在搬入侧缓冲装置Bl、B2中的基板101 —片片搬送到 分类口的任一个的搬送装置1。搬送装置1是用控制装置(未图示)控制的传送带装置等。 搬送装置1根据种类(品种)或检查结果，把基板101搬送直到归定的分类口的搬出侧缓 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板分类方法，其特征在于，使用基板分类装置，该基板分类装置是将以水平重叠状态收容在搬入盒中、至少从一个搬入口搬入的多个种类的多个基板按每个种类进行分类，搬送到与各种类对应的多个分类口，并搬出到设置于各分类口的搬出盒中的基板分类装置，该基板分类装置具备：设置于上述搬入口、暂时保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入侧缓冲装置；把保持在上述搬入侧缓冲装置中的基板一片片搬送到上述分类口的某一个的搬送装置；以及设置于上述各分类口、暂时保持利用上述搬送装置搬送的基板的搬出侧缓冲装置；上述搬出侧缓冲装置之中的至少一台是可把基板插入到保持基板的多个保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多个基板之中的任意的基板的随机存取缓冲装置；该基板分类方法使用上述基板分类装置，将多种基板一边保持在上述随机存取缓冲装置，一边将基板按每个种类搬出到不同的搬出盒中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：长谷川文夫，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP[日本]