一种制造技术

本发明专利技术公开了一种

【技术实现步骤摘要】
一种IGBT晶圆背面抛光机


[0001]本专利技术属于晶圆加工
，尤其涉及一种
IGBT
晶圆背面抛光机
。

技术介绍

[0002]晶圆是利用高纯度多晶硅经过高温溶解，然后慢慢拉出形成圆柱体的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片；晶圆是目前半导体电路中应用较多的材料，而芯片的制备材料就是晶圆；为了保障晶圆在后期制备芯片时的稳定性和可利用性，通常都会将晶圆进行抛光，使其达到规定的光滑度
。IGBT
一般指绝缘栅双极晶体管，绝缘栅双极晶体管综合了电力晶体管和电力场效应晶体管的优点，具有良好的特性，应用领域很广泛；
IGBT
也是三端器件：栅极，集电极和发射极
。
[0003]现有的
IGBT
晶圆在生产时，需要对其进行抛光处理，抛光机型号功能多样，较为典型的为单面抛光机和双面抛光机，在对晶圆的背面进行抛光作业时，现有的抛光一般都是将晶圆平放，将待抛光的面朝上对其抛光面进行作业，这样会导致抛光的废屑附着在晶圆的表面，废屑对晶圆产生摩擦，影响抛光的质量，而且抛光时缺乏散热的措施，摩擦高温对晶圆的结构和性能有着直接影响，温度过高会导致晶圆热膨胀，为此我们提出了一种
IGBT
晶圆背面抛光机
。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种
IGBT
晶圆背面抛光机
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提出了一种/>IGBT
晶圆背面抛光机，包括底座，设置在底座顶部的打磨槽，该打磨槽的底部开设有贯穿底座的两个排屑孔，位于打磨槽内部的待打磨晶圆，所述底座的顶部设有固定框，所述固定框的一侧设有打磨吹屑组件，该打磨吹屑组件用于对待打磨晶圆的背面进行打磨并吹扫废屑，所述固定框的内部设有吹扫组件，该吹扫组件用于对打磨槽的内部进行吹扫，所述固定框上设有用于带动待打磨晶圆进行升降并转动的驱动组件
。
[0006]优选的，所述打磨吹屑组件包括固定连接在固定框一侧的两个导向杆，所述导向杆的外部活动套设有竖板，所述竖板的底部固定连接有底磨板，且底磨板贯穿排屑孔伸入打磨槽内，所述竖板和底座之间设有第一气囊，所述第一气囊的一端设有第一固定管，所述第一固定管的底端固定连接有第一吹气管
。
[0007]优选的，所述吹扫组件包括第二固定管，所述第二固定管的两端固定连接有与之连通的第二吹气管，且第二吹气管与固定框固定连接，所述竖板和固定框之间设有第二气囊，且第二气囊与第二吹气管连通
。
[0008]优选的，所述驱动组件包括固定连接在竖板上的连接杆，所述连接杆的顶部固定连接有定位板，所述定位板的内部螺纹套设有往复丝杆，且往复丝杆与固定框转动连接，所述往复丝杆的一端固定连接有锥齿轮，所述固定框的顶部内壁设有两个推杆电机，所述推杆电机的底部固定连接有升降框，所述升降框的内部设有吸气组件，所述吸气组件的底部
转动设有转动罩，所述转动罩的底端固定连接有分接管，所述分接管的底端固定连接有两个吸盘，所述分接管上还设有驱动其进行转动的电驱组件，所述升降框的底部固定连接有导向环，所述导向环上滑动设有两个挂板，且挂板与分接管固定连接，所述挂板上固定连接有固定板，所述固定板的顶端固定连接有锥齿环，且锥齿环与锥齿轮啮合传动
。
[0009]优选的，所述吸气组件包括固定连接在升降框内部的吸气泵，所述吸气泵的吸气口固定连接有吸气管，所述吸气管的底端固定连接有吸气头，且吸气头活动套设在转动罩的内部
。
[0010]优选的，所述电驱组件包括固定连接在升降框底部的安装板，所述安装板的一侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固定连接有主动锥齿轮，所述分接管上固定套设有从动锥齿轮，且主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合传动
。
[0011]优选的，所述固定框上开设有升降孔，且升降框活动贯穿升降孔
。
[0012]优选的，所述导向环上设有
L
形坡台，所述挂板上活动镶嵌有滚珠，通过滚珠在
L
形坡台上滑动
。
[0013]优选的，所述竖板上开设有两个导向孔，且导向杆贯穿导向孔
。
[0014]通过本专利技术提出的一种
IGBT
晶圆背面抛光机能够带来如下有益效果：通过驱动组件带动吸附的待打磨晶圆在打磨槽内进行转动打磨，这样打磨面朝下，方便打磨废屑及时落下，避免废屑附着在晶圆表面影响打磨质量；通过打磨吹屑组件和驱动组件配合可以带动底磨板水平往复移动，这样待打磨晶圆不仅可以在底磨板上进行转动打磨，而且底磨板本身水平滑动进行打磨，这样提高打磨的效果；通过打磨吹屑组件可以将落下的废屑及时吹走清理，同时还带动吹扫组件对待打磨晶圆进行吹风，这样上下同时吹风降温，防止晶圆打磨温度过高，有利于晶圆的安全性；综上所述，本方案结构简单，设计新颖，不仅可以带动晶圆转动打磨，还可以通过底磨板水平滑动进行打磨，这样多重打磨提高打磨的效率，而且在打磨时上下同时吹扫，不仅方便将废屑及时清理，有利于打磨的质量，还可以进行吹风降温，避免摩擦高温对晶圆造成伤害
。
附图说明
[0015]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定
。
[0016]在附图中：图1为本专利技术的正视结构示意图
。
[0017]图2为本专利技术的侧视结构示意图
。
[0018]图3为本专利技术的剖视结构示意图
。
[0019]图4为本专利技术的俯视立体结构示意图
。
[0020]图5为本专利技术的仰视立体结构示意图
。
[0021]图6为本专利技术的底座立体结构示意图
。
[0022]图7为本专利技术的打磨吹屑组件立体结构示意图
。
[0023]图8为本专利技术的吹扫组件立体结构示意图
。
[0024]图9为本专利技术的驱动组件立体结构示意图
。
[0025]图中：1底座
、2
打磨槽
、3
排屑孔
、4
固定框
、5
打磨吹屑组件
、501
导向杆
、502
竖板
、503
底磨板
、504
第一气囊
、505
第一固定管
、506
第一吹气管
、6
吹扫组件
、601
第二固定管
、602
第二吹气管
、603
第二气囊
、7
驱动组件
、701
连接杆
、702
定位板
、703
往复丝杆
、704
锥齿轮
、705
推杆电机
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
IGBT
晶圆背面抛光机，包括底座（1），设置在底座（1）顶部的打磨槽（2），该打磨槽（2）的底部开设有贯穿底座（1）的两个排屑孔（3），位于打磨槽（2）内部的待打磨晶圆（8），所述底座（1）的顶部设有固定框（4），其特征在于，所述固定框（4）的一侧设有打磨吹屑组件（5），该打磨吹屑组件（5）用于对待打磨晶圆（8）的背面进行打磨并吹扫废屑，所述固定框（4）的内部设有吹扫组件（6），该吹扫组件（6）用于对打磨槽（2）的内部进行吹扫，所述固定框（4）上设有用于带动待打磨晶圆（8）进行升降并转动的驱动组件（7）
。2.
根据权利要求1所述的一种
IGBT
晶圆背面抛光机，其特征在于，所述打磨吹屑组件（5）包括固定连接在固定框（4）一侧的两个导向杆（
501
），所述导向杆（
501
）的外部活动套设有竖板（
502
），所述竖板（
502
）的底部固定连接有底磨板（
503
），且底磨板（
503
）贯穿排屑孔（3）伸入打磨槽（2）内，所述竖板（
502
）和底座（1）之间设有第一气囊（
504
），所述第一气囊（
504
）的一端设有第一固定管（
505
），所述第一固定管（
505
）的底端固定连接有第一吹气管（
506
）
。3.
根据权利要求2所述的一种
IGBT
晶圆背面抛光机，其特征在于，所述吹扫组件（6）包括第二固定管（
601
），所述第二固定管（
601
）的两端固定连接有与之连通的第二吹气管（
602
），且第二吹气管（
602
）与固定框（4）固定连接，所述竖板（
502
）和固定框（4）之间设有第二气囊（
603
），且第二气囊（
603
）与第二吹气管（
602
）连通
。4.
根据权利要求3所述的一种
IGBT
晶圆背面抛光机，其特征在于，所述驱动组件（7）包括固定连接在竖板（
502
）上的连接杆（
701
），所述连接杆（
701
）的顶部固定连接有定位板（
702
），所述定位板（
702
）的内部螺纹套设有往复丝杆（
703
），且往复丝杆（
703
）与固定框（4）转动连接，所述往复丝杆（
703
）的一端固定连接有锥齿轮（
704
），所述固定框（4）的顶部内壁设有两个推杆电机（
705
），所述推杆电机（
705
）的底部固定连接有升降框（
706
），所述升降框（
706
）的内部设有吸气组件，所述吸气组件的底部转动设有转动罩（
710
），所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海平，佘聿文，佘苏健，
申请(专利权)人：南通恒锐半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：