一种真空焊接炉功能管路系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空焊接炉功能管路系统，所述安装板

【技术实现步骤摘要】
一种真空焊接炉功能管路系统


[0001]本技术涉及半导体焊接
，具体为一种真空焊接炉功能管路系统
。

技术介绍

[0002]真空焊接炉作为一种高端的工艺焊接炉，能应对各种复杂焊接环境
。
真空焊接炉相比传统链式炉相比具有较大优势，真空焊接炉能够创造接近真空环境降低焊接的空洞率，同时氮气氛围的存在降低了焊料的氧化程度，并且真空焊接炉内中间过程会通入还原性气体，能够进一步提纯金属，便于锡膏或者焊片的液化
。
[0003]真空焊接炉作为一种高端的工艺焊接炉，同时也是一种自动化设备，在实现一些机构动作时候会需要气源，以及真空焊接炉的腔体里面也是需要在无氧环境下，并且出于保护焊接质量，还需要通入一些还原性的气体，故而需要一种集成动力气源
、
保护气体
、
还原气体的综合性功能的一种真空单元功能管路系统，并且出于安全性以及稳定性考虑，该系统还需具备相应压力
、
流量监测等功能性的管路设计
。
目前市场上的暂无成熟的真空管路单元系统能满足现有的需求，故而需要一种集成的真空单元功能管路系统
。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于：解决真空焊接炉压力气源
、
保护气源
、
还原气源供给及检测的集成性功能管路设计不成熟的问题，焊接质量不稳定
。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种真空焊接炉功能管路系统，包括安装板
、
压力气源通入集成功能单元
、
还原混合气源通入集成功能单元和保护气源通入单元；
[0007]所述安装板
、
压力气源通入集成功能单元
、
还原混合气源通入集成功能单元和保护气源通入单元均安装在安装板上；
[0008]所述压力气源通入集成功能单元供给压力气源，所述还原混合气源通入集成功能单元供给还原混合气源，所述保护气源通入单元供给保护气源
。
[0009]优点：本技术通过将压力气源通入集成功能单元
、
还原混合气源通入集成功能单元和保护气源通入单元集成于安装板上；压力气源通入集成功能单元集成控制真空焊接炉压力气源的输入，还原混合气源通入集成功能单元集成控制真空焊接炉还原混合气源的输入，保护气源通入单元集成控制真空焊接炉保护气体的输入，实现设备生产的可靠性，保证了最终的焊接质量
。
[0010]优选地，所述功能管路系统还包括输出端口
A、
输出端口
B
和输出端口
C
；
[0011]所述输出端口
A、
输出端口
B
和输出端口
C
位于安装板上；
[0012]所述输出端口
A
能够与真空焊接炉输入端连通；所述输出端口
B
能够与真空焊接炉加热腔连通；所述输出端口
C
能够与真空焊接炉预热腔连通
。
[0013]优选地，所述压力气源通入集成功能单元包括压力气源直通接头端
、
压力气源压力计
、
压力气源电磁阀
、
气源输出端；
[0014]所述压力气源直通接头端的输入端能够与压力气源连通，所述压力气源直通接头端的输出端分别经过压力气源压力计和压力气源电磁阀后与气源输出端连通
。
[0015]优选地，所述压力气源采用压缩空气
。
[0016]优选地，所述还原混合气源通入集成功能单元包括还原混合气源直通接头端
、
还原混合气源压力计
、
第一还原混合气源电磁阀
、
还原混合气源手动调压阀
、
第二还原混合气源电磁阀
、
还原混合气源流量计
、
第三还原混合气源电磁阀和第四还原混合气源电磁阀；
[0017]所述还原混合气源直通接头端的输入端能够与还原混合气源连通，输出端依次通过还原混合气源压力计
、
第一还原混合气源电磁阀和还原混合气源手动调压阀后与还原物质罐体的一端连通；所述还原物质罐体的另一端通过第二还原混合气源电磁阀后与还原混合气源流量计的一端连通；
[0018]所述还原混合气源流量计的另一端通过第三还原混合气源电磁阀后与输出端口
C
连通，所述还原混合气源流量计的另一端还通过第四还原混合气源电磁阀能够与输出端口
B
连通
。
[0019]优选地，所述还原混合气源采用氮气
、
甲酸混合气
。
[0020]优选地，保护气源通入单元包括保护气源直通接头端
、
保护气源压力计
、
第一保护气源电磁阀
、
第二保护气源电磁阀
、
第一保护气源流量计
、
第二保护气源流量计和第三保护气源流量计；
[0021]所述保护气源直通接头端的输入端与保护气源连通，输出端与保护气源压力计的一端连通；
[0022]所述第一保护气源电磁阀的一端与保护气源压力计的另一端连通，所述第一保护气源电磁阀的另一端通过第一保护气源流量计后与输出端口
C
连通；
[0023]所述第二保护气源电磁阀的一端与保护气源压力计的另一端连通，所述第二保护气源电磁阀的另一端通过第二保护气源流量计后与输出端口
B
连通；
[0024]所述第三保护气源流量计的一端与保护气源压力计的另一端连通，所述第三保护气源流量计的另一端与输出端口
A
连通
。
[0025]优选地，所述保护气源采用氮气
。
[0026]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过真空单元功能管路布局集成设计，实现了真空焊接炉对压缩空气的输入压力反馈的实时精准控制输入的通断，实现了真空焊接炉对氮气的进入三种不同腔体内的输入压力控制
、
流量控制以及电控通断的精准工艺需求，满足多规格产品需求不同压力以及流量条件下焊接质量工艺参数的需求，实现多产品同设备生产的可靠性，并集成实现了甲酸还原气体输入可控
、
可调
、
可监测这一管路功能的实现，保障了产品焊接质量
。
附图说明
[0027]图1为本技术的实施例的俯视图；
[0028]图2为本技术的实施例的整体结构示意图；
[0029]图3为本技术的实施例的左视图；
[0030]图4为本技术的实施例的主视图；
[0031]图中：
1、
安装板；
2、
压力气源通入集成功能单元；
21、
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种真空焊接炉功能管路系统，其特征在于：包括安装板
(1)、
压力气源通入集成功能单元
(2)、
还原混合气源通入集成功能单元
(3)、
保护气源通入单元
(4)
；所述安装板
(1)、
压力气源通入集成功能单元
(2)、
还原混合气源通入集成功能单元
(3)
和保护气源通入单元
(4)
均安装在安装板
(1)
上；所述压力气源通入集成功能单元
(2)
供给压力气源，所述还原混合气源通入集成功能单元
(3)
供给还原混合气源，所述保护气源通入单元
(4)
供给保护气源
。2.
根据权利要求1所述的真空焊接炉功能管路系统，其特征在于：所述功能管路系统还包括输出端口
A、
输出端口
B
和输出端口
C
；所述输出端口
A、
输出端口
B
和输出端口
C
位于安装板
(1)
上；所述输出端口
A
能够与真空焊接炉输入端连通；所述输出端口
B
能够与真空焊接炉加热腔连通；所述输出端口
C
能够与真空焊接炉预热腔连通
。3.
根据权利要求1所述的真空焊接炉功能管路系统，其特征在于：所述压力气源通入集成功能单元
(2)
包括压力气源直通接头端
(21)、
压力气源压力计
(22)、
压力气源电磁阀
(23)、
气源输出端
(24)
；所述压力气源直通接头端
(21)
的输入端能够与压力气源连通，所述压力气源直通接头端
(21)
的输出端分别经过压力气源压力计
(22)
和压力气源电磁阀
(23)
后与气源输出端
(24)
连通
。4.
根据权利要求3所述的真空焊接炉功能管路系统，其特征在于：所述压力气源采用压缩空气
。5.
根据权利要求1所述的真空焊接炉功能管路系统，其特征在于：所述还原混合气源通入集成功能单元
(3)
包括还原混合气源直通接头端
(31)、
还原混合气源压力计
(32)、
第一还原混合气源电磁阀
(33)、
还原混合气源手动调压阀
(34)、
第二还原混合气源电磁阀
(35)、
还原混合气源流量计
(36)、
第三还原混合气源电磁阀
(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，姜季均，石秀斌，高硕，
申请(专利权)人：科威尔技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：