本实用新型专利技术提供了一种适用于多种尺寸掩模版的掩模版载具，其主要包括一个具有中空槽以及环绕所述中空槽的嵌入凹槽的基座和可拆卸的多种尺寸的三个板夹组成，使用时将目标尺寸的板夹首先装入基座中，搭配特殊设计的锁紧机构，组成目标尺寸的光掩模载具，然后便可以实现掩模版简单的载入载出以及锁紧。本实用新型专利技术将相应尺寸的掩模版载入在掩模版载具中时，可以实现不同尺寸的掩膜版在同一修补机中进行缺陷修补，从而大大提高使用便利性和节约设备成本。备成本。备成本。
【技术实现步骤摘要】
适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具
[0001]本技术属于半导体集成电路设计及制造领域，特别是涉及一种适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具。
技术介绍
[0002]掩模版在制造过程中因为各种原因，会产生各种各样的缺陷。常见的缺陷有铬点、针孔铬突出、铬缺失等，这些缺陷在使用中会造成晶圆的大量报废。所以为保证掩模版在晶圆厂使用过程中的良率，晶圆厂在掩模版出货前都要求对缺陷进行修补。快速有精准的修补工艺是对掩模版质量以及交货期的重要保证。目前在掩模版制造行业中，使用镭射激光产生高温将缺陷气化是比较常见的修补工艺。镭射激光修补工艺的特点是修补速度快，可修补缺陷的尺寸范围较大。一般为了满足不同客户不同技术等级的需求，掩模厂都会配备针对不同尺寸、厚度的光掩模的镭射修补功能。
[0003]目前的镭射修补机通常只针对于一种尺寸的掩模版材，这就造成了其他尺寸掩模版需要修补时，需要另外配备多台镭射修补机，从而导致成本的大大增加。
[0004]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，用于解决现有技术中掩模版载具仅适用于单一尺寸的掩模版的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，所述掩模版载具包括：基座，所述基座设置有中空槽以及环绕所述中空槽的嵌入凹槽；第一板夹，所述第一板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第一基板，所述第一基板中部设置有适于承载第一尺寸掩膜版的第一承载槽，所述第一板夹上还设置有第一锁紧机构，用于将所述第一尺寸掩膜版固定于所述第一承载槽内；第二板夹，所述第二板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第二基板，所述第二基板中部设置有适于承载第二尺寸掩膜版的第二承载槽，所述第二板夹上还设置有第二锁紧机构，用于将所述第二尺寸掩膜版固定于所述第二承载槽内；第三板夹，所述第三板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第三基板，所述第三基板中部设置有适于承载第三尺寸掩膜版的第三承载槽，所述第三板夹上还设置有第三锁紧机构，用于将所述第三尺寸掩膜版固定于所述第三承载槽内；其中，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，所述第二尺寸大于所述第一尺寸。
[0007]可选地，所述第一基板、第二基板和第三基板的外围尺寸均与所述嵌入凹槽的尺寸相同，以使所述第一基板、第二基板和第三基板嵌入所述嵌入凹槽后为紧密连接。
[0008]可选地，所述第一尺寸掩膜版为7英寸的掩膜版。
[0009]可选地，所述第二尺寸掩膜版为6英寸的掩膜版。
[0010]可选地，所述第三尺寸掩膜版为5英寸的掩膜版。
[0011]可选地，所述第一锁紧机构、第二锁紧机构和第三锁紧机构包括旋动装置、传动装置和锁紧装置，所述旋动装置与所述装置连接，所述传送装置与所述锁紧装置连接，所述锁紧装置包括销片和穿过所述销片的固定转轴，通过旋转所述旋动装置，由所述传动装置带动所述销片相对所述固定转轴作偏心旋转运动使其将相应的掩膜版固定在相应的承载槽内。
[0012]可选地，所述嵌入凹槽外的一角区域还设置有缺口，当所述第一板夹、第二板夹或第三板夹嵌入所述嵌入凹槽时，所述第一板夹、第二板夹或第三板上的旋动装置收纳于所述缺口内，所述缺口为所述旋动装置提供旋转的空间。
[0013]可选地，所述第一承载槽、第二承载槽和第三承载槽的内壁均设置多个定位销钉，用于将所述第一尺寸掩膜版、第二尺寸掩膜版和第三尺寸掩膜版定位固定于目标平面位置。
[0014]可选地，所述第一承载槽、第二承载槽和第三承载槽中还设置有承托部，用于将所述第一尺寸掩膜版、第二尺寸掩膜版和第三尺寸掩膜版定位固定于目标高度位置，并减小所述第一尺寸掩膜版、第二尺寸掩膜版和第三尺寸掩膜版与所述第一承载槽、第二承载槽和第三承载槽的接触。
[0015]可选地，所述基座上还设置有把手。
[0016]如上所述，本技术的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，具有以下有益效果：
[0017]本技术掩模版载具适用于多种尺寸的掩模版，适用范围包括大小为5英寸的掩模版、大小为7英寸的掩模版、大小为6英寸的掩模版。本技术的掩模版载具包括一个具有中空槽以及环绕所述中空槽的嵌入凹槽的基座和可拆卸的多种尺寸(如5寸、6寸、7寸)的三个板夹组成，使用时将目标尺寸的板夹首先装入基座中，搭配特殊设计的锁紧机构，组成目标尺寸的光掩模载具，然后便可以实现掩模版简单的载入载出以及锁紧。本技术将相应尺寸的掩模版载入在掩模版载具中时，可以实现不同尺寸的掩膜版在同一修补机中进行缺陷修补，从而大大提高使用便利性和节约设备成本。
附图说明
[0018]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于说明本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例。
[0019]图1～图2显示为本技术实施例的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具的基座结构示意图。
[0020]图3～图8显示为本技术实施例的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具的第一板夹、第二板夹和第三板夹结构示意图。
[0021]图9～图14显示为实施例的适用于多尺寸掩膜版在使用时的组装结构示意图。
[0022]元件标号说明
[0023]1基座
[0024]11中空槽
[0025]12嵌入凹槽
[0026]13缺口
[0027]14把手
[0028]2第一板夹
[0029]21第一基板
[0030]22第一承载槽
[0031]23第一锁紧机构
[0032]3第二板夹
[0033]31第二基板
[0034]32第二承载槽
[0035]33第二锁紧机构
[0036]4第三板夹
[0037]41第三基板
[0038]42第三承载槽
[0039]43第三锁紧机构
[0040]231、331、431旋动装置
[0041]232、332、432传动装置
[0042]233、333、433锁紧装置
[0043]2331、3331、4331销片
[0044]2332、3332、4332固定转轴
[0045]24、34、44定位销钉
[0046]25、35、45承托部
[0047]5第一尺寸掩膜版
[0048]6第二尺寸掩膜版
[0049]7第三尺寸掩膜版
具体实施方式
[0050]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，其特征在于，所述掩模版载具包括：基座，所述基座设置有中空槽以及环绕所述中空槽的嵌入凹槽；第一板夹，所述第一板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第一基板，所述第一基板中部设置有适于承载第一尺寸掩膜版的第一承载槽，所述第一板夹上还设置有第一锁紧机构，用于将所述第一尺寸掩膜版固定于所述第一承载槽内；第二板夹，所述第二板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第二基板，所述第二基板中部设置有适于承载第二尺寸掩膜版的第二承载槽，所述第二板夹上还设置有第二锁紧机构，用于将所述第二尺寸掩膜版固定于所述第二承载槽内；第三板夹，所述第三板夹具有适于嵌入所述嵌入凹槽的第三基板，所述第三基板中部设置有适于承载第三尺寸掩膜版的第三承载槽，所述第三板夹上还设置有第三锁紧机构，用于将所述第三尺寸掩膜版固定于所述第三承载槽内；其中，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，所述第二尺寸大于所述第一尺寸。2.根据权利要求1所述的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，其特征在于：所述第一基板、第二基板和第三基板的外围尺寸均与所述嵌入凹槽的尺寸相同，以使所述第一基板、第二基板和第三基板嵌入所述嵌入凹槽后为紧密连接。3.根据权利要求1所述的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，其特征在于：所述第一尺寸掩膜版为7英寸的掩膜版。4.根据权利要求1所述的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，其特征在于：所述第二尺寸掩膜版为6英寸的掩膜版。5.根据权利要求1所述的适用于多尺寸掩膜版的掩模版载具，其特征在于：所述第三尺...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜巍，郭健睿，李红禹，
申请(专利权)人：上海凸版光掩模有限公司，
类型：新型
国别省市：
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