本实用新型专利技术属于单晶硅生产制造技术领域,涉及一种新型单晶炉副室清理装置,包括清理主体以及沿所述清理主体周向分布的清理件,所述清理件与副室内壁接触,通过所述清理主体可带动所述清理件位移,以清理所述副室内壁。本实用新型专利技术的有益效果是,设置悬挂于副室内的清理主体以及设在清理主体上的清理件,通过连接件牵引清理主体和清理件相对于副室转动并沿副室内壁上下位移,清理件与副室内壁产生摩擦,以对副室内壁进行清理;设有内孔,与副室内的挂钩连接,能将装置整体悬挂于副室内其不会发生晃动影响其他工序,当不清理时也不需要取走,节省时间并提高了清理效率。节省时间并提高了清理效率。节省时间并提高了清理效率。
【技术实现步骤摘要】
一种新型单晶炉副室清理装置
[0001]本技术属于单晶硅生产制造
,涉及一种新型单晶炉副室清理装置。
技术介绍
[0002]目前行业内竞争日益激烈,单晶生产企业自动化程度逐步提高,从工业2.0时代,逐步迈向工业3.0、4.0时代。单晶拉制过程中,等径、收尾过程已实现自动化控制,而在单晶完成拉制后,复投完成后需进行清理副室,清理副室的过程中依然由人工手动完成。
[0003]在清理副室的过程中,人员操作较为频繁,清副室需人工频繁且多次的拿取副室清理长杆进行清理、人员劳动强度大,且单次清理副室手动操作时间为10min,对人力成本产生极大的浪费,分析其原因为清理副室自动化水平低。因此,需要一种新型单晶炉副室清理装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
[0004]为解决上述存在的技术问题,本技术提供了一种新型单晶炉副室清理装置,能够快速清理副室内壁,降低了操作工人的劳动强度,提升工时有效利用率。
[0005]本技术采用的技术方案是:一种新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:包括清理主体以及沿所述清理主体周向分布的清理件,所述清理件与副室内壁接触,通过所述清理主体可带动所述清理件位移,以清理所述副室内壁。
[0006]进一步的,所述清理主体的部分结构上设有中心通孔,其通过所述中心通孔与连接件连接,通过所述连接件可带动所述清理主体自身转动并沿所述副室内壁上下位移。
[0007]进一步的,所述清理主体包括第一部件、支撑件和第二部件,第一部件通过所述支撑件与所述第二部件连接并形成工字型结构,所述连接件通过所述第二部件上的所述中心通孔与所述清理主体连接,所述清理件设在所述支撑件的外围。
[0008]进一步的,所述清理件为环形件,其外径尺寸大于所述第一部件和所述第二部件的外径尺寸。
[0009]进一步的,所述支撑件包括相互插接的第一支撑件和第二支撑件,所述第一支撑件与第一部件连接,所述第二支撑件与所述第二部件连接。
[0010]进一步的,所述第一支撑件的内径尺寸与所述第二支撑件的外径尺寸相匹配,以使所述第二支撑件插入所述第一支撑件内。
[0011]进一步的,所述清理件沿所述第一支撑件外围设置。
[0012]进一步的,所述第一部件、所述第一支撑件均为中空的圆柱形结构且与所述副室同轴设置。
[0013]进一步的,所述中心通孔与所述副室同轴设置。
[0014]进一步的,所述第二部件靠近所述第一部件的端部设有内孔,其通过所述内孔与所述副室内壁的挂钩连接。
[0015]本技术设计的一种新型单晶炉副室清理装置,设置悬挂于副室内的清理主体
以及设在清理主体上的清理件,通过连接件牵引清理主体和清理件相对于副室转动并沿副室内壁上下位移,清理件与副室内壁产生摩擦,以对副室内壁进行清理,清理效果好且效率高;设有第二部件上设有内孔,与副室内的挂钩连接,能将装置整体悬挂于副室内其不会发生晃动影响其他工序,当不清理时也不需要取走,节省时间并提高了清理效率;设置副室清理系统和副室清理方法,不会对单晶炉副室系统增加新的结构及对单晶炉副室系统的整体结构进行修改,使得副室清理装置安装拆卸简单、方便,清理过程中的操作即可通过单晶炉控制系统控制实现,无需增加新的装置,可以减少直拉单晶工作中的劳动强度,提高副室洁净度,降低断线率,达到降低损失、增加效益的目的。
附图说明
[0016]图1是本技术提供的实施例的结构示意图;
[0017]图2是本技术提供的实施例在使用时的结构示意图。
[0018]图中:
[0019]1、清理主体;11、中心通孔;12、第一部件;13、支撑件;131、第一支撑件;132、第二支撑件;14、第二部件;141、内孔;2、清理件;3、副室;4、连接件;5、钢缆。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步的说明。
[0021]参照图1和图2所示,一种新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:包括清理主体1以及沿清理主体1周向分布的清理件2,清理件2与副室3内壁接触,通过清理主体1可带动清理件2位移,以清理副室3内壁。
[0022]优选的,清理主体1的部分结构上设有中心通孔11,其通过中心通孔11与连接件4连接,通过连接件4可带动清理主体1自身转动并沿副室3内壁上下位移。在本实施例中,为了便于该副室清理装置顺利在单晶炉副室3内位移,该连接件4形状优选为顶部为圆锥形且能插入中心通孔11并将两者固定在一起的结构。
[0023]优选的,清理主体1包括第一部件12、支撑件13和第二部件14,第一部件12通过支撑件与13所第二部件14连接并形成工字型结构,连接件4通过第二部件12上的中心通孔11与清理主体1连接,清理件2设在支撑件13的外围。
[0024]优选的,清理件2为环形件,其外径尺寸大于第一部件12和第二部件14的外径尺寸。为使得设于清理主体1上的清理件2能够与副室3的内壁接触,且清理件2与副室3的内壁的接触为面接触,提高清理件2的清理效率,该清理主体1的形状与单晶炉副室3的内壁的形状相适应。
[0025]优选的,支撑件13包括相互插接的第一支撑件131和第二支撑件132,第一支撑件131与第一部件12连接,第二支撑件132与第二部件14连接。
[0026]优选的,第一支撑件131的内径尺寸与第二支撑件132的外径尺寸相匹配,以使第二支撑件132插入第一支撑件131内。在本实施例中,第二支撑件132的厚度略大于第一支撑件131的厚度,两者插接时,第二支撑件132的部分结构伸出第一部件12外,伸出的这部分结构可以跟副室内壁接触,以使得清理装置悬挂在副室顶部的时候不会发生晃动,保证生产过程中的稳定性和安全性。
[0027]优选的,清理件2沿第一支撑件131外围设置。在本实施例中,清理件2为环形件,其沿第一支撑件131外围设置且上下两端分别与第一部件12和第二部件14接触,清理件2的外径尺寸大于第一部件12和第二部件14的外径尺寸,实现了清理件2对副室3内壁的清理,但同时清理主体1不接触副室3内壁,带动清理件2稳定转动、位移的同时不会对副室3内壁造成损伤,提高了清理效率。清理件2可以是弹力棉、清洁刷或者其他清理结构,在此不做具体限定。
[0028]优选的,第一部件12、第一支撑件131均为中空的圆柱形结构且与副室3同轴设置。第一部件12和第一支撑件131为空腔结构,在一定程度上能够保证该副室清理装置具有一定重量,使得其能够转动的同时实现较好的清理效果。
[0029]优选的,中心通孔11与副室3同轴设置。在本实施例中,第二支撑件132为圆柱形结构,其中心位置设有中心通孔11,连接件4设在中心通孔11内,使用时可以通过提拉头与连接件4连接后,带动整个清理装置转动的同时上下位移。当然,也可以是通过钢缆5带动重锤与连接件4连接,带动整个清理装置转动的同时上下位移,在此不做具体限定。
[0030]优选的,本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:包括清理主体以及沿所述清理主体周向分布的清理件,所述清理件与副室内壁接触,通过所述清理主体可带动所述清理件位移,以清理所述副室内壁。2.根据权利要求1所述的新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:所述清理主体的部分结构上设有中心通孔,其通过所述中心通孔与连接件连接,通过所述连接件可带动所述清理主体自身转动并沿所述副室内壁上下位移。3.根据权利要求2所述的新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:所述清理主体包括第一部件、支撑件和第二部件,第一部件通过所述支撑件与所述第二部件连接并形成工字型结构,所述连接件通过所述第二部件上的所述中心通孔与所述清理主体连接,所述清理件设在所述支撑件的外围。4.根据权利要求3所述的新型单晶炉副室清理装置,其特征在于:所述清理件为环形件,其外径尺寸大于所述第一部件和所述第二部件的外径尺寸。5.根据权利要求3至4任一项...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘振宇,高建芳,李鹏飞,王建龙,许建,王林,张红霞,
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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