上下料装置和加工设备制造方法及图纸

技术编号:39537851 阅读:16 留言:0更新日期:2023-11-30 15:22
本发明专利技术的实施例提供了一种上下料装置和加工设备。上下料装置包括:安装底板和安装顶板;第一升降板和第二升降板;多个固定支撑杆,多个固定支撑杆的底端连接至安装底板,多个固定支撑杆的顶端连接至安装顶板,多个固定支撑杆的中部穿过第一升降板;升降支撑杆,升降支撑杆的底端连接至第一升降板,升降支撑杆的顶端连接至第二升降板,其中第二升降板用于放置料盒并带动料盒升降,第二升降板上设置有用于识别上下料装置的安装方向的防装反部。本发明专利技术上下料装置通过在第二升降板上设置防装反部,安装人员可以清晰地分辨出上下料装置的安装方向。这样,安装人员可以将上下料装置安装至正确的位置。如此,上下料装置的返工率较低,安装效率较高。装效率较高。装效率较高。

【技术实现步骤摘要】
上下料装置和加工设备


[0001]本专利技术涉及物料加工
,具体地,涉及一种上下料装置和一种具有其的加工设备。

技术介绍

[0002]在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域,半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。切割方式通常有两种:一种是刀轮切割,另一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割,简称隐切)为例,通过将激光光束聚集在待加工物料内部,从而形成炸点。通过精确控制聚焦物镜与待加工物料表面之间的距离,在物料内部形成微裂缝,再通过劈刀或真空裂片使彼此相邻的晶粒分离。
[0003]传统的激光加工设备主要包括上料装置、加工装置以及下料装置。具体地,上料装置可以将待加工物料运送到加工装置的载台上,然后通过加工装置的加工机构对载台上的待加工物料进行切割,以形成已加工物料。下料装置将已加工物料运送到指定位置。然后上料装置接着继续上料,加工装置继续加工,如此往复。
[0004]然而传统的激光加工设备存在以下缺陷:对于上料装置和/或下料装置,装配人员容易分不清其的安装方向,从而导致安装错误。因此,上料装置和/或下料装置经常需要返工,装配的效率较低。

技术实现思路

[0005]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题,根据本专利技术的一个方面,提供了一种上下料装置。上下料装置包括:安装底板和安装顶板;第一升降板和第二升降板;多个固定支撑杆,所述多个固定支撑杆的底端连接至所述安装底板,所述多个固定支撑杆的顶端连接至所述安装顶板,所述多个固定支撑杆的中部穿过所述第一升降板;升降支撑杆,所述升降支撑杆的底端连接至所述第一升降板,所述升降支撑杆的顶端连接至所述第二升降板,其中所述第二升降板用于放置料盒并带动所述料盒升降,所述第二升降板上设置有用于识别所述上下料装置的安装方向的防装反部。
[0006]示例性地,所述防装反部包括第一防装反部和第二防装反部,所述第一防装反部和所述第二防装反部分别设置在所述第二升降板沿水平方向上相对的第一侧和第二侧。
[0007]示例性地,所述第一防装反部包括从所述第一侧的边缘朝向所述第二侧凹陷的第一凹槽,所述第二防装反部包括从所述第二侧的边缘朝向所述第一侧凹陷的第二凹槽,所述第一凹槽和所述第二凹槽的结构和/或尺寸彼此不同。
[0008]示例性地,所述第二升降板的底侧设置有用于驱动所述第二升降板升降的升降机构。
[0009]示例性地,所述升降机构包括驱动组件和沿竖直方向设置的滚珠丝杠,所述驱动组件安装在所述安装顶板的底侧,所述驱动组件与所述滚珠丝杠的螺杆连接以驱动所述螺杆旋转,所述滚珠丝杠的螺母固定在所述第一升降板上。
[0010]示例性地,所述螺杆的顶端连接至所述安装顶板,且底端穿过所述第一升降板并呈自由悬置状态。
[0011]示例性地,所述升降机构对所述第二升降板的支撑中心、所述多个固定支撑杆的对所述安装顶板的支撑中心、以及所述升降支撑杆对所述第二升降板的支撑中心位于同一竖直线上。
[0012]示例性地,所述升降支撑杆呈中空的管状结构。
[0013]示例性地,所述第二升降板的顶面上设置有用于定位所述料盒的挡块。
[0014]根据本专利技术另的一个方面,还提供了一种加工设备。加工设备包括如上任一种所述的上下料装置。
[0015]本专利技术实施例提供的上下料装置,通过在第二升降板上设置防装反部,安装人员可以清晰地分辨出上下料装置的安装方向。这样,安装人员可以将上下料装置安装至正确的位置。如此,上下料装置的返工率较低,安装效率较高。
[0016]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念,这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征,更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0017]以下结合附图,详细说明本专利技术的优点和特征。
附图说明
[0018]本专利技术的下列附图在此作为本专利技术的一部分用于理解本专利技术。附图中示出了本专利技术的实施方式及其描述,用来解释本专利技术的原理。在附图中,
[0019]图1为根据本专利技术的一个示例性实施例的加工设备的立体图;
[0020]图2为图1中示出的上下料装置的立体图;以及
[0021]图3为图1中示出的上下料装置的立体图,其中移除了料盒。
[0022]其中,上述附图包括以下附图标记:
[0023]100、上下料装置;210、安装底板;220、安装顶板;310、第一升降板;320、第二升降板;321、第一侧;322、第二侧;330、防装反部;331、第一防装反部;332、第二防装反部;340、检修孔;350、挡块;360、避让缺口;400、固定支撑杆;410、导向套;500、升降支撑杆;600、料盒;610、仓位;620、物料;700、升降机构;710、驱动组件;711、驱动件;712、驱动件固定座;713、主动轮;714、从动轮;715、传动带;720、滚珠丝杠;721、螺杆;722、螺母;810、拖链;820、拖链架;900、加工设备;920、搬运装置;930、防掉落装置;940、定位装置;950、取放料装置;951、第一取放料组件;952、第二取放料组件;953、旋转驱动件;960、加工装置;961、Z轴运动机构;962、光路机构;963、载台。
具体实施方式
[0024]在下文的描述中,提供了大量的细节以便能够彻底地理解本专利技术。然而,本领域技术人员可以了解,如下描述仅示例性地示出了本专利技术的优选实施例,本专利技术可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外,为了避免与本专利技术发生混淆,对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0025]根据本专利技术的一个方面,提供了一种上下料装置。该上下料装置可以应用至任意
合适的设备中,包括但不限于加工设备或者移载设备。因此,根据本专利技术的另一个方面,还提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。加工设备可以对物料进行上料、加工、下料以及其他处理。下面结合具体实施例对本专利技术实施例的上下料装置和加工设备进行详细描述。
[0026]如图2

3所示,上下料装置100可以包括安装底板210、安装顶板220、第一升降板310、第二升降板320、固定支撑杆400和升降支撑杆500。
[0027]安装底板210可以用于固定上下料装置100。在上下料装置100应用至加工设备的实施例中,安装底板210可以通过焊接或者连接件连接等任意合适的方式连接至加工设备上相关的部件。安装顶板220可以位于安装底板210的上方。安装底板210和安装顶板220可以间隔开设置。第二升降板320可以位于第一升降板310的上方。第一升降板310和第二升降板320可以间隔开设置。第二升降板320可以用于放置料盒600并带动料盒升降。料盒600可以仅承载在第二升降板320上。或者,料盒600可以通过焊接、连接件连接或者卡接等任意合适的方式连接至第二升降板320。在一些实施例中,第二升降板320本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种上下料装置,其特征在于,包括:安装底板和安装顶板;第一升降板和第二升降板;多个固定支撑杆,所述多个固定支撑杆的底端连接至所述安装底板,所述多个固定支撑杆的顶端连接至所述安装顶板,所述多个固定支撑杆的中部穿过所述第一升降板;升降支撑杆,所述升降支撑杆的底端连接至所述第一升降板,所述升降支撑杆的顶端连接至所述第二升降板,其中所述第二升降板用于放置料盒并带动所述料盒升降,所述第二升降板上设置有用于识别所述上下料装置的安装方向的防装反部。2.如权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所述防装反部包括第一防装反部和第二防装反部,所述第一防装反部和所述第二防装反部分别设置在所述第二升降板沿水平方向上相对的第一侧和第二侧。3.如权利要求2所述的上下料装置,其特征在于,所述第一防装反部包括从所述第一侧的边缘朝向所述第二侧凹陷的第一凹槽,所述第二防装反部包括从所述第二侧的边缘朝向所述第一侧凹陷的第二凹槽,所述第一凹槽和所述第二凹槽的结构和/或尺寸彼此不同。4.如权利要求1所述的上下料装置,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘伟雄陈先文
申请(专利权)人:深圳镁伽科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1