旋转靶材顶部自动注铟装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是关于一种旋转靶材顶部自动注铟装置，用于旋转靶材的注铟焊接，所述旋转靶材包括管材和靶管，所述管材和靶材之间具有配合间隙

【技术实现步骤摘要】
旋转靶材顶部自动注铟装置


[0001]本技术涉及涂铟
，特别是涉及一种旋转靶材顶部自动注铟装置
。

技术介绍

[0002]靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，镀膜靶材是通过磁控溅射
、
多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源
。
[0003]中国专利
CN112080727B
公开了一种旋转靶材的绑定方法，所述绑定方法包括背管外表面金属化
、
靶筒内壁金属化
、
组装
、
灌铟绑定，所述靶筒是圆柱状，其内径与所述背管外径相配，间隙内包裹有胶片，同时胶片的底部有弹簧状的折叠，当进行铟的灌注时，将该胶片缓缓抽出，带出氧化物和气泡
。
[0004]然而，现有的旋转靶材绑定方式中靶材和管材之间间隙小，难以保证适宜焊接率，难以在大功率环境下工作的技术问题
。
并且在旋转靶材在注铟过程中的温度分布均衡性差，导致焊料流通不一致，影响焊接效果的技术问题，因此需要改进
。

技术实现思路

[0005]为克服相关技术中存在的问题，本技术实施例提供一种旋转靶材顶部自动注铟装置
。
[0006]根据本技术实施例的第一方面，提供一种旋转靶材顶部自动注铟装置，用于旋转靶材的注铟焊接，所述旋转靶材包括管材和套设于所述管材外的靶管，所述管材和所述靶材之间具有配合间隙，所述旋转靶材顶部自动注铟装置包括：
[0007]储铟装置，所述储铟装置设置有容纳腔，所述储铟装置套设于所述管材的一端，所述容纳腔设置有朝向所述配合间隙的输出口；
[0008]第一磁感加热装置，盘绕于所述靶管外并沿所述旋转靶材的长度方向螺旋延伸；
[0009]旋转装置，连接于所述旋转靶材的另一端，以驱动所述旋转靶材旋转
。
[0010]在一实施例中，所述储铟装置包括储铟容器和盘绕于所述储铟容器的第二磁感加热装置，所述第二磁感加热装置用于加热所述容纳腔内的铟材料，所述储铟容器套设于所述管材
。
[0011]在一实施例中，所述储铟容器包括底盘
、
环绕所述底盘设置的环形壁及凸出所述底盘的定位圈，所述输出口贯穿所述底盘，所述输出口位于所述定位圈的围绕区域内
。
[0012]在一实施例中，所述输出口的边缘朝向所述定位圈一侧倾斜的凹陷壁，所述配合间隙位于所述凹陷壁的延长方向
。
[0013]在一实施例中，所述储铟装置还包括安装于所述定位圈的密封件，所述密封件弹性密封所述靶管和所述定位圈
。
[0014]在一实施例中，所述储铟装置沿平行于重力方向设置
。
[0015]在一实施例中，还包括穿插连接于所述旋转靶材的冷却组件，所述冷却组件内流通有冷却介质
。
[0016]在一实施例中，所述冷却组件包括冷却主体及分布于所述冷却主体内的至少一条流道，所述流道包括输入接口
、
输出接口
、
连接所述输入接口和输出接口的弯折部，所述弯折部配置为弯曲的流道结构
。
[0017]在一实施例中，所述弯折部为往复弯折至少二道的
U 形流道；或者，所述弯折部为螺旋流道；或者，所述弯折部为多条分支流道，分支流道的两端分别汇聚至所述输入接口和输出接口
。
[0018]在一实施例中，所述冷却主体设置有环形的嵌设槽，所述管材插接嵌入所述嵌设槽
。
[0019]本技术的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：储铟装置将焊料自旋转靶材的顶部采用注铟，焊料能够沿配合间隙流通及扩散至整个配合间隙，焊接率高，焊接效果好
。
第一磁感加热装置螺旋盘绕于旋转靶材外，可均衡加热整根旋转靶材，焊料流通顺畅
。
旋转装置可带动整个旋转靶材转动，从而促进焊料动态流通，进一步提高流通效率
。
[0020]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术
。
附图说明
[0021]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理
。
[0022]图1是根据一示例性实施例示出旋转靶材顶部自动注铟装置的立体结构示意图
。
[0023]图2是根据一示例性实施例示出超声波自动涂铟装置的结构示意图
。
[0024]图3是根据一示例性实施例示出的局部放大结构示意图
。
[0025]图4是根据一示例性实施例示出的储铟容器的结构示意图
。
[0026]图中，储铟装置
10
；输出口
11
；容纳腔
12
；储铟容器
13
；环形壁
131
；底盘
132
；定位圈
133
；凹陷壁
134
；第二磁感加热装置
14
；密封件
15
；第一磁感加热装置
20
；冷却组件
30
；流道
31
；输入接口
311
；输出接口
312
；弯折部
313
；冷却主体
32
；插接部
321
；嵌设槽
322
；旋转装置
40
；旋转靶材
50
；管材
51
；靶管
52
；配合间隙
53
；焊料
60。
实施方式
[0027]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略
、
放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的
。
[0028]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义
。
[0029]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示
部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种旋转靶材顶部自动注铟装置，用于旋转靶材的注铟焊接，所述旋转靶材包括管材和套设于所述管材外的靶管，所述管材和所述靶材之间具有配合间隙，其特征在于，所述旋转靶材顶部自动注铟装置包括：储铟装置，所述储铟装置设置有容纳腔，所述储铟装置套设于所述管材的一端，所述容纳腔设置有朝向所述配合间隙的输出口；第一磁感加热装置，盘绕于所述靶管外并沿所述旋转靶材的长度方向螺旋延伸；旋转装置，连接于所述旋转靶材的另一端，以驱动所述旋转靶材旋转
。2.
根据权利要求1所述的旋转靶材顶部自动注铟装置，其特征在于，所述储铟装置包括储铟容器和盘绕于所述储铟容器的第二磁感加热装置，所述第二磁感加热装置用于加热所述容纳腔内的铟材料，所述储铟容器套设于所述管材
。3.
根据权利要求2所述的旋转靶材顶部自动注铟装置，其特征在于，所述储铟容器包括底盘
、
环绕所述底盘设置的环形壁及凸出所述底盘的定位圈，所述输出口贯穿所述底盘，所述输出口位于所述定位圈的围绕区域内
。4.
根据权利要求3所述的旋转靶材顶部自动注铟装置，其特征在于，所述输出口的边缘朝向所述定位圈一侧倾斜的凹陷壁，所述配合间隙位于所述凹陷壁的延长方向
。5.
根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈以勤，朱永明，程奕，张圣，
申请(专利权)人：森祥宁波新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：