【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅料清洗装置
[0001]本技术涉及多晶硅料清洗领域,具体涉及一种多晶硅料清洗装置
。
技术介绍
[0002]多晶硅,是单质硅的一种形态
。
熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,多晶硅料是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能
、
自动控制
、
信息处理
、
光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,生产前需要清洗取出多晶硅料表面杂质,经过检索,现有技术
(
申请号:
CN202120000387.6),
文中记载了“通过电机
21
带动清洗箱
25
转动,从而带动原料颠倒转动,与溶液充分反应,并通过毛刷和清洁层
255
对原料进行清洗,避免杂物粘接在原料上”,但是现有技术中滚动刷洗的多晶硅料表面时,小块多晶硅料容易藏在大块多晶硅料缝隙中难以清洗的问题
。
技术实现思路
[0003]为克服现有技术所存在的缺陷,现提供一种多晶硅料清洗装置,以解决在现有技术中滚动刷洗的多晶硅料表面时,小块多晶硅料容易藏在大块多晶硅料缝隙中难以清洗的问题
。
[0004]为实现上述目的,提供一种多晶硅料清洗装置,包括:硅料清洗池
、
活动板架和升降盖板,
[0005]所述活动板架后侧端通过安装轴安装有三组清洗辊;且三组清洗辊 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种多晶硅料清洗装置,包括:硅料清洗池
(1)、
活动板架
(2)
和升降盖板
(3)
,其特征在于:所述硅料清洗池
(1)
左右侧通过液压柱
(31)
连接有升降盖板
(3)
,所述升降盖板
(3)
下端面通过滑槽与盛料框
(5)
上端滑块相活动连接,所述活动板架
(2)
后侧端通过安装轴
(41)
安装有三组清洗辊
(4)
;且三组清洗辊
(4)
前端轴体通过同步传动机构
(43)
两两连接,所述同步传动机构
(43)
通过转轴
(44)
连接有第二电机
(42)
,所述硅料清洗池
(1)
内部浸入有盛料框
(5)
,所述盛料框
(5)
内侧焊接有三组分筛网板
(51)
;且分筛网板
(51)
间距间分布有清洗辊
(4)。2.
根据权利要求1所述的一种多晶硅料清洗装置,其特征在于,所述硅料清洗池
(1)
前表面固定有固定板
(11)
,所述固定板
(11)
右下端固定有控制器
(12)
,所述固定板
(11)
之间安装有螺纹杆
...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐芳芳,
申请(专利权)人:无锡科立特能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
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