一种多晶硅料清洗装置制造方法及图纸

技术编号:39534695 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-30 15:20
本实用新型专利技术提供了一种多晶硅料清洗装置,涉及多晶硅料清洗领域,包括:硅料清洗池

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅料清洗装置


[0001]本技术涉及多晶硅料清洗领域,具体涉及一种多晶硅料清洗装置


技术介绍

[0002]多晶硅,是单质硅的一种形态

熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅,多晶硅料是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能

自动控制

信息处理

光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,生产前需要清洗取出多晶硅料表面杂质,经过检索,现有技术
(
申请号:
CN202120000387.6),
文中记载了“通过电机
21
带动清洗箱
25
转动,从而带动原料颠倒转动,与溶液充分反应,并通过毛刷和清洁层
255
对原料进行清洗,避免杂物粘接在原料上”,但是现有技术中滚动刷洗的多晶硅料表面时,小块多晶硅料容易藏在大块多晶硅料缝隙中难以清洗的问题


技术实现思路

[0003]为克服现有技术所存在的缺陷,现提供一种多晶硅料清洗装置,以解决在现有技术中滚动刷洗的多晶硅料表面时,小块多晶硅料容易藏在大块多晶硅料缝隙中难以清洗的问题

[0004]为实现上述目的,提供一种多晶硅料清洗装置,包括:硅料清洗池

活动板架和升降盖板,
[0005]所述活动板架后侧端通过安装轴安装有三组清洗辊;且三组清洗辊前端轴体通过同步传动机构两两连接,所述同步传动机构通过转轴连接有第二电机,所述硅料清洗池内部浸入有盛料框,所述盛料框内侧焊接有三组分筛网板;且分筛网板间距间分布有清洗辊

[0006]进一步的,所述硅料清洗池前表面固定有固定板,所述固定板右下端固定有控制器,所述固定板之间安装有螺纹杆

[0007]进一步的,所述螺纹杆左端通过联轴器连接有第一电机;且第一电机固定在左侧固定板侧面上,所述螺纹杆表面连接有驱动块

[0008]进一步的,所述活动板架呈上下对称翻转
L
型,所述活动板架下端面前侧焊接有驱动块;且驱动块上端固定有第二电机

[0009]进一步的,所述同步传动机构由两组传动轮和皮带组成;且两组传动轮分别固定在相邻两组安装轴表面上,所述活动板架后侧面贴合在盛料框前端槽面处

[0010]进一步的,所述硅料清洗池左右侧通过液压柱连接有升降盖板,所述升降盖板下端面通过滑槽与盛料框上端滑块相活动连接

[0011]进一步的,所述硅料清洗池左侧壁封堵有污水塞,所述盛料框左侧壁设置有三组进出槽口;且三组进出槽口与三组清洗辊位置相齐平

[0012]本技术的有益效果在于,本技术的多晶硅料清洗装置利用盛料框对不同大小的多晶硅料进行分筛浸入清洗液中,通过活动板架上同步传动的三组清洗辊对网板上
的多晶硅料进行刷洗,便于充分清洗大小不一的多晶硅料,实现清洗装置的分筛清洗功能,提高清洗装置清洗的充分性和干净度

附图说明
[0013]图1为本技术实施例的多晶硅料清洗装置的正视结构示意图

[0014]图2为本技术实施例的多晶硅料清洗装置的正视剖面结构示意图

[0015]图3为本技术实施例的盛料框与清洗辊的侧视连接结构示意图

[0016]图4为本技术实施例的清洗辊与活动板架的正视局部连接结构示意图

[0017]图中:
1、
硅料清洗池;
11、
固定板;
12、
控制器;
13、
污水塞;
2、
活动板架;
21、
第一电机;
22、
螺纹杆;
23、
驱动块;
3、
升降盖板;
31、
液压柱;
4、
清洗辊;
41、
安装轴;
42、
第二电机;
43、
同步传动机构;
44、
转轴;
5、
盛料框;
51、
分筛网板;
52、
进出槽口

具体实施方式
[0018]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效

本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变

[0019]参照图1至图4所示,本技术提供了一种多晶硅料清洗装置,包括:硅料清洗池
1、
活动板架2和升降盖板3,
[0020]活动板架2后侧端通过安装轴
41
安装有三组清洗辊4;且三组清洗辊4前端轴体通过同步传动机构
43
两两连接,同步传动机构
43
通过转轴
44
连接有第二电机
42
,硅料清洗池1内部浸入有盛料框5,盛料框5内侧焊接有三组分筛网板
51
;且分筛网板
51
间距间分布有清洗辊
4。
[0021]工作原理:首先将多晶硅料倒入盛料框5第一层分筛网板
51
上,前后晃动盛料框5,使较小的多晶硅料落入到下层的分筛网板
51
上,再下降盛料框5使多晶硅料浸入硅料清洗池1的清洁液中,经过一段时间浸泡后,启动第一电机
21
和第二电机
42
,使三组清洗辊4旋转刷洗分筛网板
51
上的多晶硅料,同时进行左右移动刷洗,清洗后将盛料框5移出硅料清洗池1内,晾干多晶硅料表面液体后取出即可

[0022]在本实施例中,硅料清洗池1前表面固定有固定板
11
,固定板
11
右下端固定有控制器
12
,固定板
11
之间安装有螺纹杆
22。
[0023]作为一种较佳的实施方式,控制器
12
用于控制盛料框5的升降

清洗辊4的旋转和活动板架2的左右移动

[0024]在本实施例中,螺纹杆
22
左端通过联轴器连接有第一电机
21
;且第一电机
21
固定在左侧固定板
11
侧面上,螺纹杆
22
表面连接有驱动块
23。
[0025]作为一种较佳的实施方式,第一电机
21
控制螺纹杆
22<本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多晶硅料清洗装置,包括:硅料清洗池
(1)、
活动板架
(2)
和升降盖板
(3)
,其特征在于:所述硅料清洗池
(1)
左右侧通过液压柱
(31)
连接有升降盖板
(3)
,所述升降盖板
(3)
下端面通过滑槽与盛料框
(5)
上端滑块相活动连接,所述活动板架
(2)
后侧端通过安装轴
(41)
安装有三组清洗辊
(4)
;且三组清洗辊
(4)
前端轴体通过同步传动机构
(43)
两两连接,所述同步传动机构
(43)
通过转轴
(44)
连接有第二电机
(42)
,所述硅料清洗池
(1)
内部浸入有盛料框
(5)
,所述盛料框
(5)
内侧焊接有三组分筛网板
(51)
;且分筛网板
(51)
间距间分布有清洗辊
(4)。2.
根据权利要求1所述的一种多晶硅料清洗装置,其特征在于,所述硅料清洗池
(1)
前表面固定有固定板
(11)
,所述固定板
(11)
右下端固定有控制器
(12)
,所述固定板
(11)
之间安装有螺纹杆
...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐芳芳
申请(专利权)人:无锡科立特能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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