一种晶硅电池片热氧化处理设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶硅电池片热氧化处理设备，包括固定座，所述固定座的顶部设置有输送机构，且输送机构相对的两侧之间设置有多个支撑机构，所述支撑机构由支撑架

【技术实现步骤摘要】
一种晶硅电池片热氧化处理设备


[0001]本专利技术涉及晶硅电池片加工领域，尤其涉及一种晶硅电池片热氧化处理设备
。

技术介绍

[0002]随着晶体硅太阳电池技术的发展，良好的表面钝化成为制备高效电池必不可少的条件，表面钝化就是降低半导体的表面活性，使表面的复合速率降低，其主要的方式是饱和半导体表面处的悬挂键，降低表面活性，增加表面的清洁程度，避免由于杂质在表面层的引入而形成复合中心，以此来降低少数载流子的表面复合速率，使器件稳定工作，现有技术中，大多采用热氧化法，在晶体硅太阳电池的硅片的表面生成二氧化硅氧化层，从而达到表面钝化的效果
。
[0003]经检索，申请公布号为
CN114156365A
的中国专利申请，公开了一种晶硅
SE
电池片热氧化处理装置；包括输送架
、
输送带
、
加热室
、
控制面板和两个密封单元，加热室的两端分别设置有输送口和输出口，每个密封单元均包括安装板
、
滑动座
、
连接件
、
驱动组件和密封板，将硅片放置在输送带上，当硅片输送至加热室的内部后，启动驱动组件，使得滑动座在安装板上滑动，通过连接件带动密封板下降，从而将输送口和输出口封闭，使得加热腔密封，当硅片的表面在加热腔内热氧化形成二氧化硅氧化层后，启动驱动组件，通过连接件带动密封板上升，从而使得表面氧化后的硅片通过输出口输出，采用上述结构较少人工上下料的步骤，从而提高工作效率
>。
[0004]现有的晶硅电池片在进行热氧化处理时，需要对晶硅电池片进行翻面处理，以便于使晶硅电池片的多面均能够进行热氧化处理，而在翻面期间，需要通过人工进行翻面，这样会导致设备对晶硅电池片热氧化处理的工作效率降低
。

技术实现思路

[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶硅电池片热氧化处理设备，包括固定座，所述固定座的顶部设置有输送机构，且输送机构相对的两侧之间设置有多个支撑机构，所述支撑机构由支撑架
、
两个连接带
、
两个固定组件
、
固定块
、
转辊和多个转动叶组成，且两个连接带对称固定在支撑架的两侧，所述连接带为弹性材质，所述支撑架顶部的两侧分别开设有支撑口和转动口，且支撑口的一侧内壁与固定块之间通过轴承形成转动连接，其中一个所述固定组件与支撑口的另一侧内壁之间通过轴承形成转动连接，另一个所述固定组件与固定块之间通过螺栓连接有第二弹簧，所述转动口的一侧内壁与转辊之间通过轴承形成转动连接，且转辊与其中一个固定组件固定连接，多个所述转动叶倾斜设置在转辊的外壁上，所述固定座的顶部通过螺栓连接有防护罩，且防护罩的顶部通过螺栓连接有加热箱，所述加热箱的内部设置有加热器，所述加热箱和防护罩之间设置有导管，所述加热箱的内部设置有喷气机构
。
[0007]优选地，所述加热箱顶部的两侧分别通过螺栓连接有第一泵体和第二泵体，且第一泵体的一端设置有氮气进口，第一泵体的另一端设置有输氮管，第二泵体的一端设置有
氧气进口，第二泵体的另一端设置有输氧管，输氧管和输氮管的一端均延伸至加热箱的内部
。
[0008]优选地，所述输送机构包括四个支撑板
、
两个转杆
、
四个齿轮和两个齿链，且四个支撑板的底部与固定座之间通过螺栓连接，两个转杆的两端分别与相邻的两个支撑板之间通过轴承形成转动连接，四个齿轮分别对称固定在两个转杆外壁的两端，齿链与齿轮啮合，连接带与齿链固定连接，其中一个支撑板的一侧通过螺栓连接有电机，电机的一端与其中一个转杆固定连接
。
[0009]优选地，所述固定组件由固定板和两个夹板组成，且固定板的一侧开设有限位口，限位口内壁的两侧均滑动连接有滑块，滑块与夹板固定连接，滑块的一侧与限位口的一侧内壁之间通过螺栓连接有第一弹簧
。
[0010]优选地，所述喷气机构由风机
、
连接管
、
多个第一喷气管和多个第二喷气管组成，且风机与连接管之间设置有进气管，多个第一喷气管等距离固定在连接管的一侧，第一喷气管的一端延伸至连接管的内部，第一喷气管的底部开设有喷气口
。
[0011]优选地，多个所述第二喷气管等距离固定在连接管的另一侧，且第二喷气管的形状为
L
型，第二喷气管的一端向着中间的位置倾斜设置
。
[0012]优选地，所述导管内部的两侧分别设置有第一排气口和第二排气口，且第一排气口的位置与支撑口的位置相对应，第二排气口的位置与转动口的位置相对应，第二排气口位于第二喷气管的正下方，第二排气口的内部设置有导流机构
。
[0013]优选地，所述导流机构由两个导流板组成，且两个导流板分别与第二排气口的两侧内壁之间通过铰链连接，两个导流板倾斜设置，导流板与第二排气口的内壁之间通过螺栓连接有第三弹簧
。
[0014]优选地，所述第二排气口相对的两侧内壁之间通过轴承转动连接有转轴，且转轴的外壁位于中间的位置通过螺栓连接有多个叶片，转轴外壁的两侧均设置有凸起部，两个凸起部的外壁均转动套接有轴套，轴套与导流板之间通过铰链连接有连接轴，导流板与第二排气口的一侧内壁之间粘接有鼓气囊，鼓气囊与第二排气口的内壁之间贯穿开设有出气口
。
[0015]本专利技术的有益效果为：
[0016]1.
本专利技术通过设置的支撑机构和喷气机构，在对晶硅电池片进行热氧化处理时，将晶硅电池片固定在两个固定组件之间，固定完成后，通过输送机构对晶硅电池片进行输送处理，期间，分别通过第一泵体和第二泵体将氮气和氧气输送至加热箱的内部，并通过加热器对加热箱的内部进行加热处理，启动风机，通过风机和喷气机构将加热箱内部的气体向下输送，从而在氮气的保护下，使得氧气与晶硅电池片在高温下氧化，在晶硅电池片的表面生成二氧化硅氧化层，同时，转动叶会在喷气机构的作用下带动转辊进行转动，从而使晶硅电池片在进行热氧化处理的同时能够进行翻面处理，以便于对晶硅电池片的其余表面进行热氧化处理，提高设备对晶硅电池片的热氧化效率；
[0017]2.
本专利技术通过设置的导流机构，当喷气机构对加热箱内部的气体向下输送时，叶片会在第二喷气管的作用下带动转轴进行转动，凸起部会随着转轴的转动而进行同步转动，此时，连接轴会在轴套和凸起部的作用下进行上下往复偏转，而导流板则会在连接轴的作用下进行往复偏转，此时，导流板会对鼓气囊进行挤压，而鼓气囊内部的气体在受到挤压
后会通过出气口喷射出，喷射出的气体会作用在转动叶的一侧，从而使转动叶在气流的作用下带动转辊进行转动，以便于提高晶硅电池片的翻面效果
。
附图说明
[0018]图1为本专利技术提出的一种晶硅电池片热氧化处理设备的结构示意图；
[0019]图2为本专利技术提出的一种晶硅电池本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶硅电池片热氧化处理设备，包括固定座
(1)
，其特征在于，所述固定座
(1)
的顶部设置有输送机构
(2)
，且输送机构
(2)
相对的两侧之间设置有多个支撑机构
(19)
，所述支撑机构
(19)
由支撑架
(21)、
两个连接带
(20)、
两个固定组件
(24)、
固定块
(23)、
转辊
(26)
和多个转动叶
(27)
组成，且两个连接带
(20)
对称固定在支撑架
(21)
的两侧，所述连接带
(20)
为弹性材质，所述支撑架
(21)
顶部的两侧分别开设有支撑口
(22)
和转动口
(25)
，且支撑口
(22)
的一侧内壁与固定块
(23)
之间通过轴承形成转动连接，其中一个所述固定组件
(24)
与支撑口
(22)
的另一侧内壁之间通过轴承形成转动连接，另一个所述固定组件
(24)
与固定块
(23)
之间通过螺栓连接有第二弹簧
(33)
，所述转动口
(25)
的一侧内壁与转辊
(26)
之间通过轴承形成转动连接，且转辊
(26)
与其中一个固定组件
(24)
固定连接，多个所述转动叶
(27)
倾斜设置在转辊
(26)
的外壁上，所述固定座
(1)
的顶部通过螺栓连接有防护罩
(3)
，且防护罩
(3)
的顶部通过螺栓连接有加热箱
(4)
，所述加热箱
(4)
的内部设置有加热器，所述加热箱
(4)
和防护罩
(3)
之间设置有导管
(12)
，所述加热箱
(4)
的内部设置有喷气机构
(13)。2.
根据权利要求1所述的一种晶硅电池片热氧化处理设备，其特征在于，所述加热箱
(4)
顶部的两侧分别通过螺栓连接有第一泵体
(6)
和第二泵体
(9)
，且第一泵体
(6)
的一端设置有氮气进口
(5)
，第一泵体
(6)
的另一端设置有输氮管
(7)
，第二泵体
(9)
的一端设置有氧气进口
(10)
，第二泵体
(9)
的另一端设置有输氧管
(8)
，输氧管
(8)
和输氮管
(7)
的一端均延伸至加热箱
(4)
的内部
。3.
根据权利要求1所述的一种晶硅电池片热氧化处理设备，其特征在于，所述输送机构
(2)
包括四个支撑板
(14)、
两个转杆
(16)、
四个齿轮
(17)
和两个齿链
(18)
，且四个支撑板
(14)
的底部与固定座
(1)
之间通过螺栓连接，两个转杆
(16)
的两端分别与相邻的两个支撑板
(14)
之间通过轴承形成转动连接，四个齿轮
(17)
分别对称固定在两个转杆
(16)
外壁的两端，齿链
(18)
与齿轮
(17)
啮合，连接带
(20)
与齿链
(18)
固定连接，其中一个支撑板
(14)
的一侧通过螺栓连接有电机
(15)
，电机
(15)
的一端与其中一个转...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：浙江东渐光能有限公司，
类型：发明
国别省市：