一种可移动屏蔽罩制造技术

本申请提供一种可移动屏蔽罩

【技术实现步骤摘要】
一种可移动屏蔽罩、屏蔽设备及测试系统


[0001]本申请涉及单粒子试验
，具体而言，涉及一种可移动屏蔽罩
、
屏蔽设备及测试系统
。

技术介绍

[0002]在单粒子试验过程中，可能会使用到有开口的屏蔽罩以对待测芯片上的区域进行裸露
。
而传统的有开口的屏蔽罩通常是通过定制开口形状
、
大小的方式，对待测芯片上某一特定区域进行裸露，并对待测芯片上的其他区域进行屏蔽，这样的屏蔽罩不可移动，且不具通用性，且也不能用于实现对于待测芯片上某一大区域内导致异常的敏感电路的定位
。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种可移动屏蔽罩
、
屏蔽设备及测试系统，用以解决相关技术存在着的通用性
、
无法用于确定出导致异常的敏感电路的问题
。
[0004]本申请实施例中还提供了一种可移动屏蔽罩，包括：罩体，所述罩体内形成有用于容纳待测芯片的腔体，且所述罩体上所述设有供单粒子试验中的粒子通过的开口，所述开口的尺寸小于所述待测芯片的尺寸；移动部，与所述罩体连接，用于使所述罩体在所述移动部的作用下位移，以使所述开口相对于所述待测芯片位移，以将所述待测芯片的不同位置进行裸露
。
[0005]上述可移动屏蔽罩，由于罩体可在移动部的作用下位移，从而在使用进行上述可移动屏蔽罩单粒子试验测试时，可以通过移动可移动屏蔽罩使得待测芯片通过开口裸露出不同的位置区域，从而可以利用该可移动屏蔽罩实现待测芯片上各不同位置处的电路的单独测试，也即可以利用该可移动屏蔽罩实现对某一大区域
(
例如整个外设的电路所在的区域
)
内导致异常的敏感电路的定位
。
且该可移动屏蔽罩的开口无需按照待测芯片上某一特定区域的形状
、
大小进行定制，可通过移动可移动屏蔽罩的方式实现对于待测芯片上任何区域的测试，具有通用性
。
[0006]进一步地，所述移动部包括伸缩杆；所述伸缩杆的一端与所述罩体固定连接
。
[0007]在上述实现方式中，通过伸缩杆来实现罩体的移动，实现结构简单，利于在工业应用中实现与推广
。
[0008]进一步地，所述移动部包括第一连接杆和第二连接杆；所述第一连接杆的一端与所述罩体固定连接第一连接杆的另一端可移动地设置于所述第二连接杆上
。
[0009]在上述实现方式中，通过第一连接杆与第二连接杆的设置，使得罩体是可移动的，实现结构简单，利于在工业应用中实现与推广
。
[0010]进一步地，所述第一连接杆为伸缩杆
。
[0011]在上述实现方式中，通过第一连接杆与第二连接杆的设置，实现了罩体在第二连接杆的杆体方向的移动，而通过伸缩杆的设置，则实现了罩体在伸缩杆的杆体方向的移动，即使得罩体实现了在四个不同方向上的移动，使得罩体的移动可以更加灵活
。
[0012]进一步地，所述移动部还包括第一电机；所述第一电机与所述第一连接杆连接，用于驱动所述第一连接在所述第二连接杆上移动
。
[0013]在上述实现方式中，通过电机的设置，使得罩体在第二连接杆的杆体方向的移动可以是通过控制电机实现，从而提高了可移动屏蔽罩的可控性
。
[0014]进一步地，所述移动部还包括第二电机；所述第二电机与所述伸缩杆的可伸缩部分连接，用于驱动所述伸缩杆的可伸缩部分伸缩
。
[0015]在上述实现方式中，通过电机的设置，使得罩体在伸缩杆的杆体方向的移动可以是通过控制电机实现，从而提高了可移动屏蔽罩的可控性
。
[0016]进一步地，所述开口的尺寸小于所述待测芯片中目标功能电路的尺寸；所述目标功能电路为所述待测芯片的各功能电路中尺寸最小的功能电路
。
[0017]在上述实现方式中，通过设置开口的尺寸小于待测芯片中尺寸最小的功能电路的尺寸，这样就可以使得通过开口裸露的位置足够的小，从而实现对于更细小的电路的检测
。
[0018]本申请实施例中还提供了一种屏蔽设备，包括：基台，所述基台用于放置待测芯片；前述任一种的可移动屏蔽罩，所述可移动屏蔽罩的移动部的固定于所述基台上
。
[0019]进一步地，所述可移动屏蔽罩为前述具有第二连接杆的可移动屏蔽罩；所述第二连接杆的两端固定于所述基台上
。
[0020]本申请实施例中还提供了一种测试系统，包括：测试系统，用于发出粒子对待测芯片进行单粒子试验；屏蔽设备，所述屏蔽设备包括用于放置所述待测芯片的基台，前述具有电机的可移动屏蔽罩，以及用于控制所述第一电机或第二电机工作的控制单元；控制器，分别与所述可移动屏蔽罩的控制单元以及所述测试系统通信连接，用于控制所述测试系统启动单粒子试验，并控制所述可移动屏蔽罩的罩体移动，在单粒子试验过程中通过所述开口按照预设轨迹对所述待测芯片进行裸露，以使所述测试系统发出的粒子通过所述开口对所述待测芯片的裸露位置进行辐射
。
[0021]通过上述测试系统，可以实现对于可移动屏蔽罩的自动化控制，并可以实现对于待测芯片的不同裸露位置的单独测试，可以实现对某一大区域内导致异常的敏感电路的定位
。
[0022]本申请实施例提供了一种单粒子试验测试方法，应用于单粒子试验系统，所述单粒子试验系统包括测试系统
、
可移动屏蔽罩和控制器；所述测试系统用于发出粒子对待测芯片进行单粒子试验；所述可移动屏蔽罩上具有开口，所述可移动屏蔽罩用于覆盖于所述待测芯片上，且所述开口的尺寸小于所述待测芯片的尺寸；所述控制器分别与所述可移动屏蔽罩和所述测试系统通信连接；所述方法包括：
[0023]通过所述控制器控制所述测试系统启动单粒子试验，并控制所述可移动屏蔽罩移动，在单粒子试验过程中通过所述开口按照预设轨迹对所述待测芯片进行裸露，以使所述测试系统发出的粒子通过所述开口对所述待测芯片的裸露位置进行辐射；
[0024]通过所述控制器获取在所述可移动屏蔽罩的移动过程中所述待测芯片的每一裸露位置对应的测试结果；
[0025]通过所述控制器从各所述测试结果中确定出表征不达标的目标测试结果；所述目标测试结果对应的裸露位置处的电路为所述待测芯片中的敏感电路
。
[0026]在上述实现方式中，由于在单粒子试验过程中，测试系统发出的粒子可以通过开
口对待测芯片的裸露位置进行辐射，每裸露一处，控制器就可以得到待测芯片进行裸露位置处的电路的测试结果，这样就可以根据每一个裸露位置对应的测试结果，确定出表征不达标的目标测试结果所对应的裸露位置处的电路，从而得到单粒子试验过程中导致待测芯片异常的敏感电路，解决了相关技术存在着的无法确定出导致异常的敏感电路的问题
。
[0027]进一步地，在通过所述控制器控制所述可移动屏蔽罩移动之前，所述方法还包括：通过所述控制器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种可移动屏蔽罩，其特征在于，包括：罩体，所述罩体内形成有用于容纳待测芯片的腔体，且所述罩体上所述设有供单粒子试验中的粒子通过的开口，所述开口的尺寸小于所述待测芯片的尺寸；移动部，与所述罩体连接，用于使所述罩体在所述移动部的作用下位移，以使所述开口相对于所述待测芯片位移，以将所述待测芯片的不同位置进行裸露
。2.
如权利要求1所述的可移动屏蔽罩，其特征在于，所述移动部包括伸缩杆；所述伸缩杆的一端与所述罩体固定连接
。3.
如权利要求1所述的可移动屏蔽罩，其特征在于，所述移动部包括第一连接杆和第二连接杆；所述第一连接杆的一端与所述罩体固定连接；第一连接杆的另一端可移动地设置于所述第二连接杆上
。4.
如权利要求3所述的可移动屏蔽罩，其特征在于，所述第一连接杆为伸缩杆
。5.
如权利要求3或4所述的可移动屏蔽罩，其特征在于，所述移动部还包括第一电机；所述第一电机与所述第一连接杆连接，用于驱动所述第一连接在所述第二连接杆上移动
。6.
如权利要求2或4所述的可移动屏蔽罩，其特征在于，所述移动部还包括第二电机；所述第二电机与所述伸缩杆的可伸缩部分连接，用于驱动所述伸缩杆的可伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭浩，王强，
申请(专利权)人：飞腾信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：