喷头构成部件及制造方法、液体喷射头、单元、喷射液体的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种既能确保耐液性又能确保与其他部件的粘结性的喷头构成部件、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置以及喷头构成部件的制造方法。由含有贵金属的合金形成的用于液体喷射头的喷头构成部件，其特征在于：将与液体接触的区域的最表面作为第一区域、将赋予有粘接剂的区域的最表面作为第二区域时，所述第二区域中的所述贵金属的比率低于所述第一区域中的所述贵金属的比率。第一区域中的所述贵金属的比率。第一区域中的所述贵金属的比率。

【技术实现步骤摘要】
喷头构成部件及制造方法、液体喷射头、单元、喷射液体的装置


本专利技术涉及喷头构成部件、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置以及喷头构成部件的制造方法。

技术介绍

在液体喷射头中，为了制作复杂的立体结构，是将多个零件粘帖在一起来制作的。零件的制作工序各种各样，为了再现性良好地制作精细的图案，例如使用基于电铸的方法。已知通过电铸来制作喷嘴板、流路板、振动板部件等。由于用于液体喷射头的零件(部件)具有与液体(例如，墨液)接触的部位，因此需要提高耐墨性。为了能够应对多种墨液种类，也要求提高耐墨性。在现有技术中，为了提高耐墨性，提出了使用贵金属或含有贵金属的合金。在专利文献1中，公开了一种喷嘴板，其由含有钯和镍的电铸合金构成，设有在厚度方向贯通的孔，所述电铸合金中的钯和镍的比率为45：55～95：5。专利文献1的目的是，在使用含有钯和镍的合金来通过电铸制作的喷嘴板中，使钯和镍的比率合理化，在确保对镍的溶解的耐腐蚀性的同时，进一步提高拉伸强度等的机械特性。在专利文献2中，公开了一种金属部件，其是至少含有铂族金属的合金，最表面的上述铂族金属的比率比内部的上述铂族金属的比率高。根据专利文献2，能够实现与表面处理膜(紧贴膜)的密接性的提高和耐腐蚀性的提高。但是，在专利文献1中，虽然规定了喷嘴板的钯比率，但在镀敷时在合金表面发生贵金属的偏析，存在着与粘接剂的密接性变差的问题。如果与粘接剂的密接性变差，则在喷头组装时，在它们的界面有时粘结状态会被破坏，从而发生泄漏。另外，考虑到与粘接剂的密接性而降低贵金属的比率时，有时会得不到所期望的机械特性。在专利文献2中，虽然可以提高与表面处理膜的密接性和耐腐蚀性，但为了与其他部件粘结而赋予粘接剂时，有时会损害与粘接剂的密接性。于是，本专利技术的目的在于提供一种既能确保耐液性又能确保与其他部件的粘结性的喷头构成部件。【专利文献1】(日本)特开平2011
‑
88388号公报【专利文献1】(日本)特开2019
‑
116653号公报

技术实现思路

为了解决上述课题，本专利技术的喷头构成部件是一种由含有贵金属的合金形成的用于液体喷射头的喷头构成部件，其特征在于：将与液体接触的区域的最表面作为第一区域、将赋予有粘接剂的区域的最表面作为第二区域时，所述第二区域中的所述贵金属的比率低于所述第一区域中的所述贵金属的比率。根据本专利技术，能够提供一种既能确保耐液性又能确保与其他部件的粘结性的喷头
构成部件。
附图说明
图1的(A)和(B)所示是本专利技术所涉及的喷头构成部件的一个例子的主要部分剖面概要图。图2所示是镀敷电流的一个例示图。图3所示是抗蚀剂层的一例的概要图。图4所示是第二区域的一例的平面概要图。图5是表示第二区域的另一例的平面概要图。图6的(A)和(B)所示是本专利技术所涉及的喷头构成部件的另一例的主要部分剖面概要图。图7的(A)～(D)所示是本专利技术所涉及的喷头构成部件的另一例的主要部分剖面概要图。图8所示是与本专利技术的一个实施方式所涉及的液体喷射头的喷嘴排列方向为正交的方向(液体室长边方向)的剖面说明图。图9所示该喷头的喷嘴排列方向(液体室短边方向)的剖面说明图。图10所示是本专利技术所涉及的喷射液体装置的一例的主要部分俯视说明图。图11所示是是该装置的主要部分侧面说明图。图12所示是本专利技术涉及的液体喷射单元的另一个例子的主要部分俯视说明图。图13所示是本专利技术涉及的液体喷射单元的又一个例子的正面说明图。
具体实施方式
以下，参照附图对本专利技术所涉及的喷头构成部件、液体喷射头、液体喷射单元、喷射液体的装置以及喷头构成部件的制造方法进行说明。还有，本专利技术不局限于以下所示的实施方式，对于其他的实施方式、追加、修正、删除等，在本领域技术人员所能想到的范围内可以进行变更，无论是怎样的方式，只要起到本专利技术的作用和效果，都在本专利技术的范围内。本专利技术的喷头构成部件所涉及的一个实施方式是一种由含有贵金属的合金形成的用于液体喷射头的喷头构成部件，其特征在于：将与液体接触的区域的最表面作为第一区域、将赋予有粘接剂的区域的最表面作为第二区域时，所述第二区域中的所述贵金属的比率低于所述第一区域中的所述贵金属的比率。根据本专利技术，能够在确保耐墨性和耐水性等耐液性的同时，确保与其他部件的粘结性。在本专利技术中，由于能够确保与粘接剂的密接性，因此在喷头组装时，能够抑制在这些界面的粘结状态被破坏，能够抑制泄漏的发生。另外，能够防止为了确保与粘接剂的密接性而过度降低贵金属的比率，并且能够抑制机械特性的损害。图1所示是用于说明本实施方式的喷头构成部件的一例的剖面概要图。图1的(A)所示是本例的喷头构成部件1和其他部件(例如流路板102)通过粘接剂160被粘结的状态的主要部分剖面概要图。在开口109中，液体(例如墨液)流过或积存。作为喷头构成部件1的用途，例如可以用于流路形成部件、液体室形成部件、振动板部件等。
图1的(B)所示是本例的喷头构成部件1的主要部分剖视概要图，是表示未与其他部件粘结的状态的图。图1的(B)所示的虚线部分示意性地表示赋予粘接剂160的部位。在本例的喷头构成部件1中，如图1的(B)所示，将与液体接触的区域的最表面作为第一区域161，将赋予粘接剂的区域的最表面作为第二区域162。最表面例如是从表面到深度10nm的区域。另外，符号170表示喷头构成部件1的内部。另外，有时将内部170称为主体等。本专利技术工作者经探讨研究发现，在距表面的深度为几十nm左右的区域中，贵金属的比率(有时称为贵金属比率等)越高，耐液性就越好，但贵金属比率越高，存在有密接性越差的倾向。于是，在本实施方式中，在与其他部件的粘结有关的部位，选择性地降低最表面的贵金属的比率，由此来提高与其他部件的粘结性。在本实施方式中，第二区域162中的贵金属的比率低于第一区域161中的贵金属的比率。由此，能够在确保耐液性的同时确保与粘接剂的密接性。通过确保与粘接剂的密接性，能够提高与其他部件的粘结性。在本实施方式中，是以不影响内部的贵金属比率以及与接触液体相关的部位的贵金属比率的方式，来选择性地降低第二区域162中的贵金属的比率的。由此，能够确保耐液性，并且能够确保粘结性。制造方法的详细例在后面叙述。第一区域161中的贵金属的比率优选为80atom％以上。在这种情况下，可以提高耐液性。第二区域162中的贵金属的比率优选小于80atom％。在该情况下，能够提高与粘接剂的密接性。更优选的是第一区域161中的贵金属的比率为80atom％以上，且第二区域162中的贵金属的比率小于80atom％。这种情况下，能够以高水准来兼顾耐液性和与粘接剂的密接性。第一区域161及第二区域162中的贵金属的比率可以使用XPS(X射线光电子光谱系统)来测定。作为XPS，例如可以使用ThermoFisherScientific制的K
‑
Alpha(注册商标)。优选的是第一区域161中的贵金属的比率与内部170的贵金属的比率不同，并且第二区域162中的贵金属的比率与内部170的贵金属的比率不同。这样，在本实施方式中，具有能够将第一区域161、第二区域16本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种由含有贵金属的合金形成的用于液体喷射头的喷头构成部件，其特征在于：将与液体接触的区域的最表面作为第一区域、将赋予有粘接剂的区域的最表面作为第二区域时，所述第二区域中的所述贵金属的比率低于所述第一区域中的所述贵金属的比率。2.根据权利要求1所述的喷头构成部件，其特征在于：所述第一区域中的所述贵金属的比率为80atom％以上，所述第二区域中的所述贵金属的比率小于80atom％。3.一种由含有贵金属的合金形成的用于液体喷射头的喷头构成部件，其特征在于：将与液体接触的区域的最表面作为液体接触区域，将与其他部件粘结的区域且形成有表面处理膜的区域作为表面区域时，所述液体接触区域中的所述贵金属的比率与所述喷头构成部件的内部中的所述贵金属的比率相同，所述表面区域中的所述贵金属的比率低于所述喷头构成部件的内部中的所述贵金属的比率。4.根据权利要求3所述的喷头构成部件，其特征在于：所述喷头构成部件的内部的所述贵金属的比率为80atom％以上。5.根据权利要求1或3所述的喷头构成部件，其特征在于：所述最表面是从表面到深度10nm为止的区域。6.根据权利要求1所述的喷头构成部件，其特征在于：所述第一区域中的所述贵金属的比率与内部的所述贵金属的比率不同，并且，所述第二区域中的所述贵金属的比率与内部的所述贵金属的比率不同。7.根据权利要求1所述的喷头构成部件，其特征在于：所述第二区域具有所述贵金属的比率为不同的高区域和低区域，所述高...

【专利技术属性】
技术研发人员：都筑康平，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：