一种半导体晶圆翘曲形变测试系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，包括箱体与测试组件，所述箱体的内部固定连接有隔板，且测试组件设置在隔板的左侧，所述隔板的右侧设置有加热组件，所述箱体的左侧设置有转动盘，所述转动盘的底部设置有间歇组件，所述转动盘的顶部两侧设置有载体组件；本发明专利技术涉及半导体晶圆测试技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆翘曲形变测试系统


[0001]本专利技术涉及半导体晶圆测试
，具体为一种半导体晶圆翘曲形变测试系统
。

技术介绍

[0002]半导体晶圆是制造集成电路的基础材料之一，在集成电路制造过程中，准确的尺寸和平整度对于正常运行和可靠性是至关重要的，因此，对晶圆的形变和平整度进行测试和评估是非常重要的步骤
。
[0003]然而在对半导体晶圆进行测试时，需要将半导体晶圆放入至放置板中，再将放置板移动至测试组件中，利用测试组件对半导体晶圆进行翘曲形变测试，但是在将位于放置板内的半导体晶圆移动至测试组件中这个过程中，外界灰尘容易落在晶圆，从而影响后续测试数据的准确性
。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，解决了
技术介绍
中所提及的技术问题
。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，包括箱体与测试组件，所述箱体的内部固定连接有隔板，且测试组件设置在隔板的左侧，所述隔板的右侧设置有加热组件，所述箱体的左侧设置有转动盘，所述转动盘的底部设置有间歇组件，所述转动盘的顶部两侧设置有载体组件；
[0006]所述载体组件包括固定安装在转动盘顶部一侧的立柱，所述立柱的顶部固定连接有固定架，所述固定架的侧壁固定连接有推动杆，所述固定架的表面设置有网格放置板，所述网格放置板用于晶圆的放置，且网格放置板的位于与通槽的位置相互对应，所述固定架的顶部一侧设置有盖板，且盖板的规格与网格放置板的规格相互适配，所述盖板的一侧设置有套筒件，所述套筒件内设置有翻转机构，且盖板设置在翻转机构上
。
[0007]作为本技术方案的进一步优选，所述套筒件包括固定安装在固定架内侧端的底板，所述底板的表面开设有移动槽，所述底板的顶部固定连接有套筒，所述套筒件的内部开设有横槽，所述横槽的一侧开设有滑槽，且滑槽与横槽连通设置，所述滑槽包括直槽与弧形槽，直槽与弧形槽连通设置
。
[0008]作为本技术方案的进一步优选，所述翻转机构包括滑动安装在横槽内滑柱，所述滑柱的表面转动连接有轴套，所述滑柱滑动安装在横槽内，所述推动杆远离盖板一侧外壁固定连接有滑键，且滑键滑动安装在滑槽内，所述轴套的一侧滑动连接有花键，所述花键转动安装在套筒上，且另一端与盖板侧壁固定连接，所述花键的外壁套设有弹簧，且弹簧位于轴套与套筒之间，所述滑柱的底部固定连接有滑杆，且滑杆滑动安装在移动槽，所述滑杆的转动连接有连接杆一，所述连接杆一的另一端转动连接有连接杆二，所述连接杆二的另一端固定连接有转动轴，且转动轴转动安装在底板底部，且转动轴底端固定连接有齿轮
。
[0009]作为本技术方案的进一步优选，所述隔板将箱体的内腔分成预热室与测试室两部分，所述加热组件设置在预热室，所述测试组件设置在测试室内
。
[0010]作为本技术方案的进一步优选，所述箱体的左侧端设置有控制面板，所述箱体的内腔左侧固定连接有残缺齿轮，所述残缺齿轮与齿轮啮合传动
。
[0011]作为本技术方案的进一步优选，所述测试组件包括固定安装在测试室内壁上下端的固定板，上端固定板的表面设置有高透光率玻璃，所述高透光率玻璃的顶部设置有摄影装置，且摄影装置固定安装在测试室内壁顶部，两个所述固定板之间设置有液态氮注入结构，且液态氮注入结构设置在测试室内壁上，所述固定板的左侧两端设置有挡板，且两个挡板通过扭簧转动安装在箱体的左侧端
。
[0012]作为本技术方案的进一步优选，所述加热组件包括固定安装在预热室内壁的加热管，所述加热管的右侧设置有安装在箱体上的风扇，所述加热管的右侧设置有进气通道与排气通道，所述进气通道与排气通道均固定安装在隔板上，且进气通道位于排气通道的上方，所述进气通道的位于加热管与载体组件的位置相互对应
。
[0013]作为本技术方案的进一步优选，所述转动盘的表面两端开设有贯通的通槽，且通槽的位置与载体组件
、
摄影装置的位置相互对应
。
[0014]作为本技术方案的进一步优选，所述间歇组件包括固定安装在箱体内壁的定位板，所述定位板的底部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿定位板延伸至顶部并固定连接有柱销轮，所述柱销轮的表面偏离圆心处位置固定连接有圆销，所述柱销轮的一侧设置有转动柱，所述转动柱的底部转动安装在定位板上，且顶部与转动盘固定连接，所述转动柱的外壁固定连接有槽轮，且槽轮的规格与柱销轮
、
圆销的规格相互适配
。
[0015]与现有技术相比具备以下有益效果：
[0016]通过设置的间歇组件，实现了伺服电机
、
柱销轮
、
圆销
、
转动柱
、
转动盘及槽轮等之间的协同运动，从而实现载体组件与晶圆的间歇性移动和晶圆的测试，提供稳定的运动控制和间歇性的转动效果
。
[0017]通过设置的载体组件，使得各个部件之间的协同作用能够实现对晶圆的顺利转移和测试，通过手动打开盖板，将晶圆放入至网格放置板内，然后使得盖板对装有晶圆的网格放置板进行密封处理，避免外界灰尘落在晶圆上，影响后续测试数据的准确性
。
[0018]通过设置的翻转机构，使得滑键位于滑槽的直槽向弧形槽一侧滑动，并且在直槽与弧形槽的作用下，能够带动滑键进行九十度转动，使得滑键带动轴套
、
花键以及盖板进行九十度转动，从而将盖板从网格放置板顶部打开，使得测试组件能够对位于网格放置板内的晶圆进行测试
。
附图说明
[0019]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0020]图2为本专利技术中测试组件与加热组件的结构示意图；
[0021]图3为图2中
A
处的放大图；
[0022]图4为本专利技术中间歇组件的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术中载体组件的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术中翻转机构的结构示意图
。
[0025]图中：
1、
箱体；
2、
隔板；
3、
测试组件；
4、
加热组件；
5、
转动盘；
6、
间歇组件；
7、
载体组件；
11、
控制面板；
12、
残缺齿轮；
21、
预热室；
22、
测试室；
31、
固定板；
32、
高透光率玻璃；
33、
摄影装置；
34、
液态氮注入结构；
35、
挡板；
41、
加热管；
42、
风扇；
43、
进气通道；
44、
排气通道；
51、
通槽；...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，包括箱体
(1)
与测试组件
(3)
，其特征在于：所述箱体
(1)
的内部固定连接有隔板
(2)
，且测试组件
(3)
设置在隔板
(2)
的左侧，所述隔板
(2)
的右侧设置有加热组件
(4)
，所述箱体
(1)
的左侧设置有转动盘
(5)
，所述转动盘
(5)
的底部设置有间歇组件
(6)
，所述转动盘
(5)
的顶部两侧设置有载体组件
(7)
；所述载体组件
(7)
包括固定安装在转动盘
(5)
顶部一侧的立柱
(71)
，所述立柱
(71)
的顶部固定连接有固定架
(72)
，所述固定架
(72)
的侧壁固定连接有推动杆
(73)
，所述固定架
(72)
的表面设置有网格放置板
(74)
，所述网格放置板
(74)
用于晶圆的放置，且网格放置板
(74)
与通槽
(51)
的位置相互对应，所述固定架
(72)
的顶部一侧设置有盖板
(75)
，且盖板
(75)
的规格与网格放置板
(74)
的规格相互适配，所述盖板
(75)
的一侧设置有套筒件
(76)
，所述套筒件
(76)
内设置有翻转机构
(77)
，且盖板
(75)
设置在翻转机构
(77)
上
。2.
根据权利要求1所述的一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，其特征在于：所述套筒件
(76)
包括固定安装在固定架
(72)
内侧端的底板
(761)
，所述底板
(761)
的表面开设有移动槽
(765)
，所述底板
(761)
的顶部固定连接有套筒
(762)
，所述套筒件
(76)
的内部开设有横槽
(763)
，所述横槽
(763)
的一侧开设有滑槽
(764)
，且滑槽
(764)
与横槽
(763)
连通设置，所述滑槽
(764)
包括直槽与弧形槽，直槽与弧形槽连通设置
。3.
根据权利要求2所述的一种半导体晶圆翘曲形变测试系统，其特征在于：所述翻转机构
(77)
包括滑动安装在横槽
(763)
内滑柱
(771)
，所述滑柱
(771)
的表面转动连接有轴套
(773)
，所述滑柱
(771)
滑动安装在横槽
(763)
内，所述推动杆
(73)
远离盖板
(75)
一侧外壁固定连接有滑键
(772)
，且滑键
(772)
滑动安装在滑槽
(764)
内，所述轴套
(773)
的一侧滑动连接有花键
(774)
，所述花键
(774)
转动安装在套筒
(762)
上，且另一端与盖板
(75)
侧壁固定连接，所述花键
(774)
的外壁套设有弹簧
(779)
，且弹簧
(779)
位于轴套
(773)
与套筒
(762)
之间，所述滑柱
(771)
的底部固定连接有滑杆
(775)
，且滑杆
(775)
滑动安装在移动槽
(765)
，所述滑杆
(775)
的转动连接有连接杆一
(776)
，所述连接杆一
(776)
的另一端转动连接有连接杆二
(777)
，所述连接杆二
(777)
的另一端固定连接有转动轴，且转动轴转动安装在底板<...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱耿森，蔡丽虹，朱和亮，
申请(专利权)人：台舟电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：