坩埚组件的分离装置及其分离方法制造方法及图纸

技术编号:39499348 阅读:12 留言:0更新日期:2023-11-24 11:29
本发明专利技术公开了坩埚组件的分离装置及其分离方法,该坩埚组件的分离装置用于分离坩埚组件,坩埚组件包括坩埚

【技术实现步骤摘要】
坩埚组件的分离装置及其分离方法


[0001]本专利技术涉及光伏
,更具体地,涉及一种坩埚组件的分离装置及其分离方法


技术介绍

[0002]单晶硅的生长技术有两种:区熔法和直拉法

其中,直拉法是目前普遍采用的方法,在直拉法制造单晶硅时,要将多晶硅置于坩埚中,经过高温使其熔化,然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中,通过控制液面的温度,使熔化的籽晶在周围重新结晶,生成排列整齐的单晶硅棒

单晶炉在多晶熔化时与坩埚反应挥发出一氧化硅颗粒,高温状态下一氧化硅颗粒会与石墨加热器

坩埚等配件发生反应,附着在埚邦表面,增加了埚邦清理的难度,降低了埚邦和埚托的寿命

[0003]目前,一种埚邦与坩埚脱离并清理的方法为:采用金属吊装夹具夹取坩埚组件,人工使用钨锤敲击埚邦与坩埚接触的表面,然后采用角磨机和砂纸打磨埚邦

该方法不仅容易损伤埚邦,而且浪费时间,增加了工作人员的负担

[0004]因此,亟需提供一种坩埚组件的分离装置解决上述问题


技术实现思路

[0005]有鉴于此,本专利技术提供了坩埚组件的分离装置,用于解决埚邦易损坏

浪费时间以及工作人员负担重的问题

[0006]第一方面,本申请提供一种坩埚组件的分离装置,用于分离坩埚组件,坩埚组件包括坩埚,坩埚的外侧壁连接有埚邦,坩埚的外底壁连接有埚托,该坩埚组件的分离装置包括基座,基座上设置有相对设置的第一超声装置和承载装置,承载装置用于承载坩埚组件,第一超声装置靠近承载装置一侧位于坩埚内部;
[0007]第一超声装置远离承载装置一侧连接有第一驱动装置,第一驱动装置用于带动第一超声装置围绕第一方向做轴向运动,第一方向为由第一超声装置指向承载装置的方向;
[0008]第一超声装置发出超声波,超声波使坩埚

埚邦和埚托发生不同频率的振动

[0009]可选地,承载装置还用于带动坩埚组件围绕第一方向做轴向运动,承载装置的运动方向与第一驱动装置的运动方向相反

[0010]可选地,承载装置包括转动装置和与转动装置相连接的第二驱动装置,转动装置位于靠近第一超声装置一侧,第二驱动装置位于远离第一超声装置一侧,转动装置与坩埚组件相抵接

[0011]可选地,第一驱动装置靠近承载装置一侧连接有第一滑动装置,第一滑动装置带动第一驱动装置沿第二方向做相对运动,第二方向与第一方向相交,第一滑动装置通过第二滑动装置与基座相连接,第二滑动装置带动第一滑动装置沿第一方向做相对运动

[0012]可选地,还包括第二超声装置,第二超声装置位于第一滑动装置和承载装置之间,第二超声装置包括中空结构,第一超声装置穿过第二超声装置;
[0013]第二超声装置靠近承载装置一侧设置有第一感应装置,第一感应装置远离第二超声装置一侧与第二滑动装置相连接,第二滑动装置带动第一感应装置和第二超声装置沿第一方向做相对运动;
[0014]还包括第二感应装置,第二感应装置沿坩埚组件的周向设置,第二感应装置远离基座的上表面与坩埚组件的上表面齐平;
[0015]第二超声装置

第一感应装置和第二感应装置电连接

[0016]可选地,还包括第三驱动装置,第三驱动装置分别与第一滑动装置和第二滑动装置相连接

[0017]可选地,还包括控制装置,控制装置设置于基座上,控制装置分别与第一驱动装置

第二驱动装置

第二感应装置电连接

[0018]可选地,第一超声装置包括超声波振动棒

[0019]可选地,第一滑动装置和第二滑动装置均包括滑台;第一驱动装置和第二驱动装置均包括电机

[0020]第二方面,本申请提供一种坩埚组件的分离方法,包括以下步骤:
[0021]将坩埚组件从单晶炉中取出,放置于坩埚组件的分离装置中,坩埚组件的分离装置为上述任一项的坩埚组件的分离装置,其中,坩埚组件的埚托与承载装置相抵接;
[0022]第一驱动装置带动第一超声装置围绕第一方向做轴向运动,第一超声装置靠近坩埚一侧与坩埚的内壁不接触;其中,当第一驱动装置运动时,承载装置与第一驱动装置同时运动,或者承载装置处于静止状态,和
/
或,
[0023]第一感应装置沿第一方向靠近坩埚组件运动,在第一感应装置与埚邦相抵接后,第二感应装置控制第二超声装置发出超声波

[0024]与现有技术相比,本专利技术提供的坩埚组件的分离装置及其分离方法,至少实现了如下的有益效果:
[0025]本专利技术提供的坩埚组件的分离装置及其分离方法,该坩埚组件的分离装置用于分离坩埚组件,坩埚组件包括坩埚,坩埚的外侧壁连接有埚邦,坩埚的外底壁连接有埚托,该坩埚组件的分离装置包括基座,基座上设置有相对设置的第一超声装置和承载装置,承载装置用于承载坩埚组件,第一超声装置靠近承载装置一侧位于坩埚内部,由于将坩埚组件放置于承载装置上并且第一超声装置不与坩埚组件接触即可实现对坩埚组件的分离,因此该坩埚组件的分离装置可以不受坩埚组件尺寸的限制,适用于多种型号的坩埚组件;第一超声装置远离承载装置一侧连接有第一驱动装置,第一驱动装置用于带动第一超声装置围绕第一方向做轴向运动,第一方向为由第一超声装置指向承载装置的方向,第一超声装置发出超声波,超声波使坩埚

埚邦和埚托发生不同频率的振动,以使坩埚被震碎与埚邦分离,坩埚的碎片掉落到埚托内,埚托也会与埚邦分离,从而实现了对坩埚组件的拆装

分离及清理一体化,由于超声波不会损坏埚邦,以及通过全自动控制代替人力,实现了自动化工作,使得整个分离过程快捷

便利

安全,在节约时间的同时降低了工作人员的负担,也节约了生产成本

[0026]当然,实施本专利技术的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果

[0027]通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述,本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚

附图说明
[0028]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本专利技术的实施例,并且连同其说明一起用于解释本专利技术的原理

[0029]图1是本专利技术提供的坩埚组件的分离装置一个方向的结构示意图;
[0030]图2是本专利技术提供的部分坩埚组件的分离装置又一个方向的结构示意图;
[0031]图3是本专利技术提供的坩埚组件的分离装置又一个方向的结构示意图;
[0032]图4是本专利技术提供的坩埚组件的分离装置另一个方向的结构示意图;
[0033]图5是本专利技术提供的一种坩埚组件的分离方法的流程图

具体实施方式
[0本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种坩埚组件的分离装置,用于分离坩埚组件,所述坩埚组件包括坩埚,所述坩埚的外侧壁连接有埚邦,所述坩埚的外底壁连接有埚托,其特征在于,包括基座,所述基座上设置有相对设置的第一超声装置和承载装置,所述承载装置用于承载所述坩埚组件,所述第一超声装置靠近所述承载装置一侧位于所述坩埚内部;所述第一超声装置远离所述承载装置一侧连接有第一驱动装置,所述第一驱动装置用于带动所述第一超声装置围绕第一方向做轴向运动,所述第一方向为由所述第一超声装置指向所述承载装置的方向;所述第一超声装置发出超声波,所述超声波使所述坩埚

所述埚邦和所述埚托发生不同频率的振动
。2.
根据权利要求1所述的坩埚组件的分离装置,其特征在于,所述承载装置还用于带动所述坩埚组件围绕所述第一方向做轴向运动,所述承载装置的运动方向与所述第一驱动装置的运动方向相反
。3.
根据权利要求2所述的坩埚组件的分离装置,其特征在于,所述承载装置包括转动装置和与所述转动装置相连接的第二驱动装置,所述转动装置位于靠近所述第一超声装置一侧,所述第二驱动装置位于远离所述第一超声装置一侧,所述转动装置与所述坩埚组件相抵接
。4.
根据权利要求3所述的坩埚组件的分离装置,其特征在于,所述第一驱动装置靠近所述承载装置一侧连接有第一滑动装置,所述第一滑动装置带动所述第一驱动装置沿第二方向做相对运动,所述第二方向与所述第一方向相交,所述第一滑动装置通过第二滑动装置与所述基座相连接,所述第二滑动装置带动所述第一滑动装置沿所述第一方向做相对运动
。5.
根据权利要求4所述的坩埚组件的分离装置,其特征在于,还包括第二超声装置,所述第二超声装置位于所述第一滑动装置和所述承载装置之间,所述第二超声装置包括中空结构,所述第一超声装置穿过所述第二超声装置;所述第二超声装置靠近所述承载装置一侧设置有第一感应装置,所述第一感应装置远离所述第二超...

【专利技术属性】
技术研发人员:豆欣妍吴俊丰张创黄梦玲
申请(专利权)人:晶科能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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